C23C 14/50 — держатели подложек
Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев (варианты) и устройство для его реализации
Номер патента: 8187
Опубликовано: 27.04.2007
Авторы: Марышев Сергей Павлович, Ширипов Владимир Яковлевич, Хисамов Айрат Хамитович
МПК: H01L 21/3065, C23C 14/46, C23C 14/50...
Метки: варианты, устройство, дисплеев, очистки, производстве, способ, реализации, теневых, масок
Формула / Реферат:
1. Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев, включающий формирование ионного пучка в вакуумной камере с помощью источника ионов, размещение маски в камере напротив эмиссионной поверхности источника ионов, отличающийся тем, что в вакуумной камере устанавливают охлаждаемый держатель, в котором размещают маску, при этом обрабатываемую поверхность маски, обращенную в сторону эмиссионной поверхности источника ионов, сканируют...