Патенты с меткой «дисплеев»
Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев (варианты) и устройство для его реализации
Номер патента: 8187
Опубликовано: 27.04.2007
Авторы: Марышев Сергей Павлович, Хисамов Айрат Хамитович, Ширипов Владимир Яковлевич
МПК: C23C 14/50, H01L 21/3065, C23C 14/46...
Метки: производстве, очистки, устройство, реализации, способ, масок, теневых, дисплеев, варианты
Формула / Реферат:
1. Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев, включающий формирование ионного пучка в вакуумной камере с помощью источника ионов, размещение маски в камере напротив эмиссионной поверхности источника ионов, отличающийся тем, что в вакуумной камере устанавливают охлаждаемый держатель, в котором размещают маску, при этом обрабатываемую поверхность маски, обращенную в сторону эмиссионной поверхности источника ионов, сканируют...