C30B 25/12 — держатели или приемники подложек

Номер патента: 15231

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Соининен Пекка, Снек Сами

МПК: C23C 16/455, C23C 16/00, C23C 16/458...

Метки: атомного, устройство, послойного, осаждения, реактора

Формула / Реферат:

1. Реактор послойного атомного осаждения, содержащий вакуумную камеру (2) и реакционную камеру (4), расположенную внутри вакуумной камеры (2), где реакционная камера (4) снабжена открываемой стенкой (24), загрузочное отверстие (12), образованное в боковой стенке/корпусе (22) или в торцевой стенке (6, 20) вакуумной камеры (2), загрузочное устройство, сообщающееся с загрузочным отверстием, установленное в первой или второй торцевой стенке (6, 20)...