C23C 16/54 — устройства, специально приспособленные для непрерывного покрытия
Способ и установка для нанесения пленок на основу
Номер патента: 19460
Опубликовано: 31.03.2014
Авторы: Леклерк Жозеф, Мишель Эрик, Тиксон Эрик
МПК: C23C 16/509, C03C 17/00, C23C 16/54...
Метки: способ, нанесения, пленок, основу, установка
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения пленки на одну сторону неорганической основы, отличающийся тем, что он включает следующие операции:основу вводят в или пропускают через реакционную камеру (6, 106, 206), в которой расположены по меньшей мере два электрода (10, 110, 210), по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) расположен между по меньшей мере двумя электродами (10, 110, 210);используют стабилизированный по амплитуде и частоте источник питания...
Способ и установка для нанесения пленок одновременно на обе стороны основы
Номер патента: 19070
Опубликовано: 30.12.2013
Авторы: Леклерк Жозеф, Мишель Эрик, Тиксон Эрик
МПК: C23C 16/509, C23C 16/54, C03C 17/00...
Метки: установка, нанесения, стороны, одновременно, пленок, обе, основы, способ
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения пленки одновременно на обе стороны неорганического субстрата, отличающийся тем, что он содержит следующие операции:субстрат вводят в, или пропускают через реакционную камеру (106, 206), в которой помещают по меньшей мере два электрода (110, 210), на каждой стороне субстрата помещают по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) между по меньшей мере одной стороной субстрата и этими по меньшей мере двумя электродами...
Установка и способ осаждения материала на подложке
Номер патента: 10965
Опубликовано: 30.12.2008
Автор: Нолан Джеймс Ф.
МПК: C23C 16/448, C23C 16/00, C23C 16/455...
Метки: установка, материала, способ, осаждения, подложке
Формула / Реферат:
1. Установка для осаждения материала на подложке, содержащая проницаемый элемент трубчатой формы, снабженный средством нагрева до температуры подачи; трубопровод для подачи транспортирующего газа и материала в полость проницаемого элемента; источник вспомогательного газа с множеством отверстий, размещенный в полости проницаемого элемента и обеспечивающий равномерное распределение паров материала, прошедших через проницаемый элемент; и...