Нолан Джеймс Ф.

Номер патента: 10965

Опубликовано: 30.12.2008

Автор: Нолан Джеймс Ф.

МПК: C23C 16/00, C23C 16/455, C23C 16/448...

Метки: способ, подложке, материала, осаждения, установка

Формула / Реферат:

1. Установка для осаждения материала на подложке, содержащая проницаемый элемент трубчатой формы, снабженный средством нагрева до температуры подачи; трубопровод для подачи транспортирующего газа и материала в полость проницаемого элемента; источник вспомогательного газа с множеством отверстий, размещенный в полости проницаемого элемента и обеспечивающий равномерное распределение паров материала, прошедших через проницаемый элемент; и...