C23C 16/448 — характеризуемые способом, используемым для генерирования реакционноспособных газовых струй, например путем испарения или сублимации промежуточных материалов

Номер патента: 21766

Опубликовано: 31.08.2015

Авторы: Раяла Маркку, Кауппинен Сами

МПК: C23C 16/448, C03C 17/00

Метки: покрытия, устройство, нанесения, подложку, стеклянную, способ

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения покрытия на стеклянную подложку в камере осаждения при нормальном давлении воздуха, при котором стеклянную подложку или поверхность стеклянной подложки нагревают и по меньшей мере один жидкий исходный материал распыляют каплями, образованные капли направляют к поверхности, подлежащей покрытию, и подвергают испарению, по существу, вблизи поверхности, подлежащей покрытию в камере осаждения, таким образом, что компоненты...

Номер патента: 10965

Опубликовано: 30.12.2008

Автор: Нолан Джеймс Ф.

МПК: C23C 16/00, C23C 16/448, C23C 16/455...

Метки: подложке, материала, установка, способ, осаждения

Формула / Реферат:

1. Установка для осаждения материала на подложке, содержащая проницаемый элемент трубчатой формы, снабженный средством нагрева до температуры подачи; трубопровод для подачи транспортирующего газа и материала в полость проницаемого элемента; источник вспомогательного газа с множеством отверстий, размещенный в полости проницаемого элемента и обеспечивающий равномерное распределение паров материала, прошедших через проницаемый элемент; и...