Кауппинен Сами
Способ и устройство для нанесения покрытия на стеклянную подложку
Номер патента: 21766
Опубликовано: 31.08.2015
Авторы: Кауппинен Сами, Раяла Маркку
МПК: C03C 17/00, C23C 16/448
Метки: нанесения, подложку, стеклянную, способ, покрытия, устройство
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения покрытия на стеклянную подложку в камере осаждения при нормальном давлении воздуха, при котором стеклянную подложку или поверхность стеклянной подложки нагревают и по меньшей мере один жидкий исходный материал распыляют каплями, образованные капли направляют к поверхности, подлежащей покрытию, и подвергают испарению, по существу, вблизи поверхности, подлежащей покрытию в камере осаждения, таким образом, что компоненты...