Патенты с меткой «неосновных»
Поликристаллическая кремниевая пластина p-типа, имеющая большое время жизни неосновных носителей заряда, и способ ее получения
Номер патента: 15668
Опубликовано: 31.10.2011
Авторы: Энебакк Эрик, Тронстад Рагнар, Раабе Бернд, Петер Кристиан
МПК: H01L 31/042, H01L 21/322, H01L 21/223...
Метки: получения, кремниевая, носителей, заряда, неосновных, жизни, способ, поликристаллическая, пластина, p-типа, время, имеющая, большое
Формула / Реферат:
1. Поликристаллическая кремниевая пластина р-типа, имеющая большое время жизни неосновных носителей заряда, отличающаяся тем, что она получена посредством диффузии фосфора и геттерирования фосфором при температуре выше 950°С кремниевой пластины, содержащей 0,2-2,8 млн.д.ат. бора и 0,06-2,8 млн.д.ат. фосфора и/или 0,06-2,8 млн.д.ат. мышьяка.2. Поликристаллическая кремниевая пластина р-типа по п.1, отличающаяся тем, что поликристаллическая...