Маттман Эрик
Подложка, покрытая слоем диэлектрика, способ и устройство для её изготовления
Номер патента: 12048
Опубликовано: 28.08.2009
Авторы: Бобе Кароль, Надо Николя, Янзен Манфред, Фишер Клаус, Маттман Эрик, Жирон Жан-Кристоф, Лерген Маркус, Хофрихтер Альфред, Руссо Жан-Поль
МПК: C23C 14/34, C03C 17/22, C03C 17/245...
Метки: устройство, диэлектрика, подложка, покрытая, изготовления, способ, слоем
Формула / Реферат:
1. Подложка (1) для остеклений, покрытая по меньшей мере одним тонким слоем диэлектрика, полученным нанесением катодного напыления, реакционноспособным в присутствии кислорода, и облучением по меньшей мере одним пучком ионов (3), происходящим из ионного источника (4) при условиях, приводящих к получению кристаллического слоя, вышеупомянутый слой диэлектрика представляет собой слой из оксида металла или кремния, стехиометрического или...
Подложка, покрытая слоем диэлектрика, и способ и устройство для её изготовления
Номер патента: 11247
Опубликовано: 27.02.2009
Авторы: Лерген Маркус, Бобе Кароль, Руссо Жан-Поль, Надо Николя, Маттман Эрик, Фишер Клаус, Жирон Жан-Кристоф, Янзен Манфред, Хофрихтер Альфред
МПК: C03C 17/36, C03C 17/22, C03C 17/245...
Метки: подложка, диэлектрика, покрытая, способ, изготовления, устройство, слоем
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения покрытия на подложку (1), включающий формирование по меньшей мере одного тонкого слоя диэлектрика на подложку катодным напылением в камере напыления (2) и облучение его по меньшей мере одним пучком ионов (3), отличающийся тем, что пучок ионов в камере напыления формируют при помощи линейного ионного источника, при этом требуемое значение показателя преломления вышеупомянутого слоя диэлектрика задают посредством изменения...