Хофрихтер Альфред
Подложка, покрытая слоем диэлектрика, способ и устройство для её изготовления
Номер патента: 12048
Опубликовано: 28.08.2009
Авторы: Маттман Эрик, Хофрихтер Альфред, Фишер Клаус, Руссо Жан-Поль, Бобе Кароль, Янзен Манфред, Жирон Жан-Кристоф, Лерген Маркус, Надо Николя
МПК: C03C 17/245, C23C 14/34, C03C 17/22...
Метки: способ, изготовления, диэлектрика, покрытая, слоем, подложка, устройство
Формула / Реферат:
1. Подложка (1) для остеклений, покрытая по меньшей мере одним тонким слоем диэлектрика, полученным нанесением катодного напыления, реакционноспособным в присутствии кислорода, и облучением по меньшей мере одним пучком ионов (3), происходящим из ионного источника (4) при условиях, приводящих к получению кристаллического слоя, вышеупомянутый слой диэлектрика представляет собой слой из оксида металла или кремния, стехиометрического или...
Подложка, покрытая слоем диэлектрика, и способ и устройство для её изготовления
Номер патента: 11247
Опубликовано: 27.02.2009
Авторы: Надо Николя, Маттман Эрик, Фишер Клаус, Жирон Жан-Кристоф, Янзен Манфред, Лерген Маркус, Хофрихтер Альфред, Бобе Кароль, Руссо Жан-Поль
МПК: C03C 17/36, C03C 17/22, C03C 17/245...
Метки: подложка, устройство, покрытая, способ, диэлектрика, изготовления, слоем
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения покрытия на подложку (1), включающий формирование по меньшей мере одного тонкого слоя диэлектрика на подложку катодным напылением в камере напыления (2) и облучение его по меньшей мере одним пучком ионов (3), отличающийся тем, что пучок ионов в камере напыления формируют при помощи линейного ионного источника, при этом требуемое значение показателя преломления вышеупомянутого слоя диэлектрика задают посредством изменения...