Бобе Кароль
Подложка, покрытая слоем диэлектрика, способ и устройство для её изготовления
Номер патента: 12048
Опубликовано: 28.08.2009
Авторы: Маттман Эрик, Фишер Клаус, Жирон Жан-Кристоф, Надо Николя, Руссо Жан-Поль, Хофрихтер Альфред, Лерген Маркус, Бобе Кароль, Янзен Манфред
МПК: C03C 17/22, C23C 14/34, C03C 17/245...
Метки: устройство, подложка, диэлектрика, слоем, покрытая, способ, изготовления
Формула / Реферат:
1. Подложка (1) для остеклений, покрытая по меньшей мере одним тонким слоем диэлектрика, полученным нанесением катодного напыления, реакционноспособным в присутствии кислорода, и облучением по меньшей мере одним пучком ионов (3), происходящим из ионного источника (4) при условиях, приводящих к получению кристаллического слоя, вышеупомянутый слой диэлектрика представляет собой слой из оксида металла или кремния, стехиометрического или...
Подложка, покрытая слоем диэлектрика, и способ и устройство для её изготовления
Номер патента: 11247
Опубликовано: 27.02.2009
Авторы: Бобе Кароль, Маттман Эрик, Надо Николя, Жирон Жан-Кристоф, Янзен Манфред, Фишер Клаус, Руссо Жан-Поль, Лерген Маркус, Хофрихтер Альфред
МПК: C03C 17/36, C03C 17/22, C03C 17/245...
Метки: способ, устройство, подложка, слоем, изготовления, покрытая, диэлектрика
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения покрытия на подложку (1), включающий формирование по меньшей мере одного тонкого слоя диэлектрика на подложку катодным напылением в камере напыления (2) и облучение его по меньшей мере одним пучком ионов (3), отличающийся тем, что пучок ионов в камере напыления формируют при помощи линейного ионного источника, при этом требуемое значение показателя преломления вышеупомянутого слоя диэлектрика задают посредством изменения...