Тикканен Юха
Способ и устройство для контроля процесса покрытия методом осаждения
Номер патента: 23563
Опубликовано: 30.06.2016
Авторы: Тикканен Юха, Раяла Маркку
МПК: B05D 1/02, C03C 17/00, B05D 1/10...
Метки: способ, устройство, методоm, покрытия, контроля, осаждения, процесса
Формула / Реферат:
1. Способ контроля процесса покрытия методом осаждения из паровой фазы, при котором осуществляют мониторинг концентрации ультратонких частиц, включающий зарядку частиц и измерение электрического тока, возникающего вследствие движения заряженных частиц, и на основе этого мониторинга регулируют в режиме реального времени по меньшей мере один из параметров процесса, влияющих на образование частиц.2. Способ по п.1, в котором измерение электрического...
Способ измерения частиц и устройство
Номер патента: 18507
Опубликовано: 30.08.2013
Автор: Тикканен Юха
МПК: G01N 15/06, G01N 27/62
Метки: измерения, устройство, частиц, способ
Формула / Реферат:
1. Способ мониторинга концентрации частиц в газе, содержащий этапы, на которых заряжают по меньшей мере часть частиц посредством смешивания по меньшей мере части содержащего частицы газа с другим, по существу, не содержащим частицы и ионизированным газом, и мониторинга электрического заряда, переносимого частицами, при этом способ содержит этапы, на которых выполняют всасывание потока образца из содержащего частицы газа эжектором, где...