Кобори Такаси
Способ формирования тонкой пленки
Номер патента: 13222
Опубликовано: 30.04.2010
Авторы: Аомине Нобутака, Кобори Такаси, Кугимия Тосихиро, Хаяси Казуси, Аосима Юки
МПК: H01L 21/31, C23C 16/505
Метки: тонкой, формирования, пленки, способ
Формула / Реферат:
1. Способ формирования тонкой пленки в атмосфере с давлением по меньшей мере 900 ГПа, в котором подают реакционный газ и подают электрическое питание на цилиндрический вращающийся электрод, центральная ось вращения которого параллельна подложке, для генерирования плазмы в промежутке между этим вращающимся электродом и подложкой, причем плазма химически активирует подаваемый реакционный газ с образованием тонкой пленки на подложке, при этом зазор...