H01L 21/312 — из органических веществ, например слоев фоторезиста
Способ нанесения полиэтилена на кремний и кремниевый оптический элемент с просветляющим покрытием из полиэтилена, нанесенным указанным способом
Номер патента: 15000
Опубликовано: 29.04.2011
Авторы: Кавеев Андрей Камильевич, Будный Андрей Николаевич
МПК: H01L 31/18, H01L 21/312
Метки: элемент, кремниевый, просветляющим, кремний, нанесенным, покрытием, способом, оптический, способ, указанным, полиэтилена, нанесения
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения полиэтиленового покрытия на кремний, содержащий следующие шаги: соединяют поверхности кремния и полиэтилена; соединенные кремний и полиэтилен нагревают до температуры выше 150°С, после чего соединенные кремний и полиэтилен перемещают в объем с температурой ниже 100°С и охлаждают соединенные кремний и полиэтилен до комнатной температуры.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что полиэтилен нагревают до температуры в диапазоне от...