Будный Андрей Николаевич
Способ нанесения полиэтилена на кремний и кремниевый оптический элемент с просветляющим покрытием из полиэтилена, нанесенным указанным способом
Номер патента: 15000
Опубликовано: 29.04.2011
Авторы: Будный Андрей Николаевич, Кавеев Андрей Камильевич
МПК: H01L 21/312, H01L 31/18
Метки: покрытием, оптический, кремний, нанесения, полиэтилена, способ, элемент, способом, нанесенным, кремниевый, указанным, просветляющим
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения полиэтиленового покрытия на кремний, содержащий следующие шаги: соединяют поверхности кремния и полиэтилена; соединенные кремний и полиэтилен нагревают до температуры выше 150°С, после чего соединенные кремний и полиэтилен перемещают в объем с температурой ниже 100°С и охлаждают соединенные кремний и полиэтилен до комнатной температуры.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что полиэтилен нагревают до температуры в диапазоне от...