G01N 23/22 — измерением вторичной эмиссии
Способ и устройство анализа материалов с помощью сфокусированного пучка электронов с использованием характеристического рентгеновского излучения и обратноотраженных электронов
Номер патента: 21273
Опубликовано: 29.05.2015
Авторы: Мотль Давид, Докулилова Сильвиэ, Филип Войтех
МПК: G01N 23/22
Метки: рентгеновского, материалов, использованием, анализа, излучения, помощью, способ, устройство, электронов, характеристического, пучка, обратноотраженных, сфокусированного
Формула / Реферат:
1. Способ анализа материалов с помощью сфокусированного электронного пучка при использовании характеристического рентгеновского излучения и обратноотраженных электронов, где сначала при экспертной оценке формируют достаточно большой набор Р химических элементов, которые могут присутствовать в исследуемом образце, и для каждого элемента pi из набора Р определяют интервал Ii энергии рентгеновских фотонов в соответствии с одной эмиссионной линией...