Докулилова Сильвиэ
Способ и устройство анализа материалов с помощью сфокусированного пучка электронов с использованием характеристического рентгеновского излучения и обратноотраженных электронов
Номер патента: 21273
Опубликовано: 29.05.2015
Авторы: Докулилова Сильвиэ, Мотль Давид, Филип Войтех
МПК: G01N 23/22
Метки: обратноотраженных, устройство, электронов, пучка, способ, характеристического, излучения, использованием, рентгеновского, сфокусированного, материалов, помощью, анализа
Формула / Реферат:
1. Способ анализа материалов с помощью сфокусированного электронного пучка при использовании характеристического рентгеновского излучения и обратноотраженных электронов, где сначала при экспертной оценке формируют достаточно большой набор Р химических элементов, которые могут присутствовать в исследуемом образце, и для каждого элемента pi из набора Р определяют интервал Ii энергии рентгеновских фотонов в соответствии с одной эмиссионной линией...