Оконное стекло с солнцезащитными свойствами

Изобретение относится к солнцезащитному оконному стеклу для автомобилей или зданий,содержащему стеклянную подложку и набор слоев с солнцезащитными свойствами, действующий на солнечное излучение таким образом, чтобы обеспечить защиту от солнечного излучения и/ или теплоизоляцию жилища или кабины, причем указанный набор слоев включает в себя слой,селективно поглощающий инфракрасное излучение с длиной волны больше 800 нм, при этом указанный поглощающий слой состоит из оксида титана, замещенного легирующим элементомX, выбранным из Nb или Та, при этом атомное процентное соотношение [X/Ti+X] находится в интервале приблизительно от 4 до 9%, и толщина указанного поглощающего слоя находится в интервале приблизительно от 20 до 100 нм. Изобретение относится к области стеклянных подложек или изделий типа оконного стекла для зданий или автомобилей, имеющих на поверхности покрытия типа тонких слоев, придающие им солнцезащитные свойства. Под оконным стеклом с точки зрения настоящего изобретения подразумевают любое стеклянное изделие, образованное одной или несколькими стеклянными подложками, в частности простые оконные стекла, двойные оконные стекла, тройные оконные стекла и т.д. Под термином "солнцезащитное" с точки зрения настоящего изобретения подразумевают способность оконного стекла ограничивать энергетический поток, в частности инфракрасного излучения (ИК), проходящий через него снаружи внутрь жилища или кабины, все еще сохраняя достаточное светопропускание, то есть, типично, больше 30, даже 40 или даже 50%. Таким образом, такие оконные стекла, снабженные набором тонких слоев, воздействуют на падающее солнечное излучение и дают возможность защиты от солнца и/или теплоизоляции жилища или кабины. Кроме того, эти покрытия должны быть эстетически приятными, то есть они должны показывать колориметрию как в проходящем, так и в отраженном свете, достаточно нейтральную, для того чтобы не причинять беспокойство пользователям, или, альтернативно, слегка синюю или зеленую окраску стекла,в частности, в области строительства. Обычно эти покрытия наносят методами осаждения типа CVD(химического осаждения из паровой фазы), как наиболее простыми, или чаще всего в настоящее время методами осаждения напылением в вакууме, часто называемым в данной области магнетронным напылением, в частности, когда покрытие представляет собой более сложный набор последовательных слоев. Чаще всего наборы тонких слоев, обладающие свойствами контроля солнечного излучения, содержат даже несколько активных слоев. Под активным слоем подразумевают слой, чувствительно воздействующий на поток солнечного излучения, проходящий через указанное оконное стекло. Такой активный слой, известным образом, может работать либо главным образом в режиме отражения инфракрасного излучения, либо главным образом в режиме поглощения инфракрасного излучения. В частности, самые эффективные наборы, поставляемые в продажу в настоящее время, включают в себя по меньшей мере один металлический слой типа серебра, работающий, по существу, в режиме отражения большей части падающего ИК (инфракрасного) излучения. Чаще всего эти наборы относят к имеющим низкую излучательную способность (low-e). Однако, эти слои очень чувствительны к влажности и, следовательно, применяются исключительно в двойных оконных стеклах, на их поверхностях 2 или 3, для того чтобы быть защищенными от влажности. Наборы согласно изобретению не содержат таких слоев типа серебра. Другие металлические слои с солнцезащитной функцией, которые также были описаны в данной области, включают в себя функциональные слои из Nb, Ta или W или нитридов этих металлов, такие как описаны, например, в заявке WO 01/21540. Однако в таких слоях солнечное излучение поглощается, но не селективно, то есть ИК-излучение (то есть длина волны которого находится в диапазоне от 780 до 2500 нм) и видимое излучение не селективно поглощаются равным образом. Такие оконные стекла показывают, таким образом, такие селективности, которые иллюстрируются отношением TL/g, близким к 1(коэффициент светопропускания/коэффициент пропускания солнечной энергии g, как стандартом EN 410(или NF EN410). Как известно, коэффициент светопропускания или светопропускание TL соответствует проценту падающего светового потока, то есть в области длин волн от 380 до 780 нм, проходящего через оконное стекло, для стандартного источника света D65. Как известно, коэффициент пропускания солнечной энергии g равен отношению энергии, проходящей через оконное стекло (то есть входящей в помещение), и падающей солнечной энергии. В частности,это соответствует сумме потока, проходящего непосредственно через оконное стекло, и потока, поглощенного оконным стеклом (включая наборы слоев, возможно, присутствующих на одной из его поверхностей), затем, возможно, переизлучаемого внутрь (помещения). Обычно все световые характеристики, представленные в настоящем описании, получены согласно принципам и методам, описанным в европейском (и французском) стандарте EN 410, относящемся к определению световых и солнечных характеристик оконных стекол, используемых в оконном стекле для строительства. Таким образом, цель настоящего изобретения заключается в создании оконных стекол, содержащих набор слоев, придающих им солнцезащитные свойства, и обладающих высокой селективностью с описанной выше точки зрения, то есть отношением TL/g много больше 1, причем указанный набор обладает большой долговечностью без особых мер предосторожности. Другой целью настоящего изобретения является создание солнцезащитных оконных стекол, набор которых способен, в частности, после термообработки, такой как закалка, сохранять, в частности, в проходящем или в отраженном свете, по существу, нейтральную окраску или сине-зеленую окраску малой интенсивности, такую как желаемая, в частности, в области строительства. Под нейтральной или сине-зеленой окраской, с точки зрения настоящего изобретения, подразумевают в цветовой системе (L, а, b) величины а и b, меньшие или близкие к 10 или отрицательные. Оконное стекло согласно изобретению может, таким образом, благоприятным образом обладать селективностью к излучению, которое через него проходит, способствуя прохождению световых волн, то есть длина волны которых находится в интервале приблизительно от 380 до 780 нм, и селективно погло-1 023332 щая большую часть инфракрасных излучений, то есть длина волны которых больше 780 нм, в частности инфракрасных излучений в ближней области, то есть длина волны которых находится в интервале приблизительно от 780 до 1400 нм. Согласно изобретению, можно таким образом сохранить высокую освещенность комнаты или жилища, защищенных оконным стеклом, все еще минимизируя количество входящего в них тепла. Согласно другому преимуществу настоящего изобретения оконные стекла, снабженные наборами согласно изобретению, являются простыми в изготовлении и равным образом дают возможность существенно уменьшить себестоимость по отношению к другим известным оконным стеклам с солнцезащитными свойствами, в частности оконным стеклам, содержащим набор на основе серебра. Точнее, настоящее изобретение относится к солнцезащитному оконному стеклу, состоящему из стеклянной подложки и набора слоев с солнцезащитными свойствами, причем указанный набор слоев включает в себя слой, селективно поглощающий инфракрасное излучение с длиной волны больше 800 нм, при этом указанный поглощающий слой состоит из оксида титана, замещенного элементом X, выбранным из Nb или Та, при этом атомное процентное соотношение [X/Ti+X] находится в интервале приблизительно от 4 до 9%, и толщина указанного поглощающего слоя находится в интервале от 20 до 200 нм. Согласно предпочтительным способам осуществления настоящего изобретения атомное процентное соотношение [X/Ti+X] находится в интервале приблизительно от 4 до 7%, предпочтительно приблизительно от 5 до 7%, толщина указанного поглощающего слоя находится в интервале от 30 до 100 нм, X представляет собой ниобий. Предпочтительно согласно изобретению солнцезащитное оконное стекло содержит набор, состоящий из последовательности следующих слоев, начиная от поверхности стеклянной подложки:- один или несколько нижних слоев для защиты поглощающего слоя от миграции ионов щелочных металлов из стеклянной подложки с общей геометрической толщиной, находящейся в интервале от 5 до 150 нм,- указанный поглощающий слой, состоящий из оксида титана, замещенного легирующим элементом X, выбранным из Nb или Та, предпочтительно Nb,- один или несколько верхних слоев для защиты поглощающего слоя от кислорода воздуха, в частности, во время термообработки, такой как закалка или обжиг, при этом указанный слой или указанные слои имеют общую геометрическую толщину, находящуюся в интервале от 5 до 150 нм. Предпочтительно нижний и верхний защитные слои или нижние и верхние защитные слои выбирают из нитрида кремния Si3N4, возможно, легированного Al, Zr, В, нитрида алюминия AlN, оксида олова, смешанного оксида цинка - олова SnyZnzOx, диоксида кремния SiO2, нелегированного оксида титанаTiO2, оксинитридов кремния SiOxNy. Согласно возможному и предпочтительному варианту изобретения, в частности, если оконное стекло должно подвергаться термообработке, такой как закалка, набор включает в себя, кроме того, между указанными защитными слоями и поглощающим слоем слой металла, возможно, частично или полностью окисленного и/или азотированного, толщиной меньше 5 нм, предпочтительно толщиной меньше 3 нм или даже меньше 2 нм. Этот тонкий слой будет частично или полностью окисляться или азотироваться и защищать таким образом поглощающий слой, когда верхний(е) слой(и) нанесен(ы), например, реакционным напылением в присутствии азота, как для случая осаждения верхнего защитного слоя из Si3N4, или окисляться во время термообработки типа закалки. Предпочтительно он представляет собой слой на основе металла, такого как ниобий Nb, тантал Та, титан Ti, хром Cr, никель Ni, или сплава по меньшей мере двух из этих металлов, такой как сплав Ni-Cr. Если он предназначен только для того, чтобы выполнить эту роль расходуемого слоя, он может быть предельно тонким, в частности порядка от 0,2 до 1,5, предпочтительно от 0,5 до 1,5 нм, для того чтобы оказать как можно меньшее отрицательное воздействие на набор в отношении светопропускания. Можно также придать ему толщину, которая может достигать 5 нм, если его используют также для регулирования величины светопропускания на желаемом уровне, в частности, если нацелены скорее на изготовление солнцезащитных стекол с уменьшенным TL. Предпочтительно металл выбирают из Ti или сплава NiCr. Согласно варианту, дающему хорошие характеристики, набор содержит последовательность следующих слоев, начиная от поверхности стеклянной подложки: нижний слой с толщиной, находящейся в интервале от 5 до 150 нм, выбранный из нитрида кремнияSi3N4, возможно, легированного Al, Zr, В, нитрида алюминия AlN, оксида олова, смешанного оксида цинка-олова SnyZnzOx, диоксида кремния SiO2, нелегированного оксида титана TiO2, оксинитридов кремния SiOxNy,указанный поглощающий слой, образованный оксидом титана, замещенным Nb, причем атомное процентное соотношение [Nb/Ti+Nb] в указанном поглощающем слое находится в интервале приблизительно от 4 до 7%, и его толщина находится в интервале от 30 до 100 нм,верхний слой с толщиной, находящейся в интервале от 5 до 150 нм, выбранный из нитрида кремния цинка или олова SnyZnzOx, диоксида кремния SiO2, нелегированного оксида титана TiO2, оксинитридов кремния SiOxNy,предпочтительно слой металлического титана, возможно, частично или полностью окисленного и/или азотированного, между указанными защитными слоями и указанным поглощающим слоем толщиной меньше 3 нм. В качестве примера, солнцезащитное оконное стекло согласно изобретению содержит набор, образованный последовательностью следующих слоев, начиная от поверхности стеклянной подложки: слой Si3N4 с толщиной, находящейся в интервале от 5 до 100 нм, в частности от 5 до 70 нм,слой металлического титана, частично или полностью окисленного и/или азотированного, с геометрической толщиной меньше 2 нм,указанный слой, поглощающий инфракрасное излучение, образованный оксидом титана, замещенным Nb, причем атомное процентное соотношение [Nb/Ti+Nb] в указанном поглощающем слое находится в интервале приблизительно от 4 до 7%, и его толщина находится в интервале от 30 до 100 нм,слой металлического титана, частично или полностью окисленного и/или азотированного, с геометрической толщиной меньше 2 нм,слой Si3N4 с толщиной, находящейся в интервале от 5 до 100 нм, в частности от 5 до 70 нм. Изобретение относится также к способу изготовления солнцезащитного оконного стекла, включающему в себя следующие этапы: изготовление стеклянной подложки,нанесение на стеклянную подложку набора слоев методом катодного распыления в вакууме с применением магнетрона,при этом поглощающий слой представляет собой оксид титана, замещенный легирующим элементом X, выбранным из Nb или Та, и получен распылением мишени, состоящей из оксида титана, замещенного легирующим элементом, выбранным из Nb или Та, при этом атомное процентное соотношение[X/Ti+X] находится в интервале приблизительно от 4 до 9% в остаточной атмосфере аргона или смеси аргона и кислорода. Альтернативный способ изготовления солнцезащитного оконного стекла согласно изобретению включает в себя следующие этапы; изготовление стеклянной подложки,нанесение на стеклянную подложку набора слоев методом катодного распыления в вакууме с применением магнетрона,при этом поглощающий слой представляет собой оксид титана, замещенный легирующим элементом X, выбранным из Nb или Та, и получен распылением мишени, состоящей из смеси металлического титана и металла X, выбранного из Nb или Та, при этом атомное процентное соотношение [X/Ti+X] в мишени находится в интервале приблизительно от 4 до 9% в остаточной атмосфере кислорода и аргона. Примеры, следующие ниже, даны в качестве чисто иллюстративных и не ограничивают в никаком из описанных аспектов объем патентной охраны настоящего изобретения. В целях сравнения все наборы примеров, которые следуют ниже, синтезированы на стеклянных подложках, смонтированных в двойное оконное стекло. Все слои наборов были нанесены согласно классическим способам напыления в вакууме магнетронным распылением. В целях прямого сравнения их характеристик все оконные стекла, полученные в примерах, следующих ниже, представляют собой двойные оконные стекла, образованные двумя подложками из стекла Planilux толщиной 6 мм, разделенными слоем газообразного аргона 16 мм(6/16Ar/6). Пример 1. В этом примере согласно изобретению согласно обычным магнетронным методикам на стеклянную подложку типа Planilux наносили набор, состоящий из последовательности следующих слоев: Оконное стекло/Si3N4/Ti/TiO2:Nb/Ti/Si3N4 (40 нм) (1 нм) (50 нм) (1 нм) (40 нм). Слой TiO2 получали методом магнетронного распыления с использованием мишени из TiO2, содержащего 6 ат.% ниобия [(Nb ат/Ti ат+Nb ат)=0,06]. Анализом с использованием микрозонда Кастэнга (называемого также ЕРМА или электронно-зондовым микроанализатором (electron probe microanalyser) иSIMS (масс-спектрометрии с вторичной ионизацией) полученного слоя было установлено, что степень легирования в нем точно соответствует составу мишени. Подложку, снабженную набором слоев, подвергали затем термообработке, заключавшейся в нагреве до 650 С в течение нескольких минут и последующей закалке. Эта обработка является типичной для условий, которым подвергается оконное стекло, если оно должно быть закалено или изогнуто. Подложку устанавливали в двойное оконное стекло с другой подложкой Planilux (6/16Ar/6) таким образом, что набор слоев находился на поверхности 2 комплекта. На этом двойном оконном стекле согласно изобретению измеряли коэффициенты TL и g, чтобы по ним определить селективность. Сравнительный пример 1. В этом примере действовали идентично примеру 1 и получали точно такой же набор, за исключени-3 023332 ем того, что мишень, использовавшаяся для нанесения слоя TiO2, на этот раз не содержала ниобия. На этом двойном оконном стекле измеряли в тех же самых условиях, что перед этим, коэффициенты TL и g, чтобы по ним определить селективность. Сравнительный пример 2. В этом примере использовали двойное оконное стекло (6/16Ar/6), поставляемое в продажу фирмойSaint-Gobain Glass France под маркой Cool Lite KN 164, активный слой которого, то есть слой, воздействующий на солнечное излучение, проходящее через указанное оконное стекло, представлял собой слой серебра толщиной около 10 нм, причем указанный слой серебра находился в наборе слоев, нанесенном на поверхность 2 двойного оконного стекла. На этом коммерческом двойном оконном стекле измеряли в тех же самых условиях, что перед этим,коэффициенты TL и g, чтобы по ним определить селективность. Сравнительный пример 3. В этом примере использовали двойное оконное стекло (6/16Ar/6), поставляемое в продажу фирмойSaint-Gobain Glass France под маркой Cool Lite ST 167, активный слой которого, то есть слой, воздействующий на солнечное излучение, проходящее через указанное оконное стекло, представлял собой слой нитрида ниобия толщиной около 15 нм, причем указанный слой нитрида ниобия находился в наборе слоев, нанесенном на поверхность 2 двойного оконного стекла. На этом коммерческом двойном оконном стекле измеряли в тех же самых условиях, что перед этим,коэффициенты TL и g, чтобы по ним определить селективность. Сравнительный пример 4. В этом примере действовали идентично примеру 1 со следующими изменениями: слой TiO2 получали методом магнетронного распыления с использованием мишени из TiO2, содержащего около 1,7 ат.% ниобия,скорость перемещения стеклянной подложки в магнетронной камере регулировали таким образом,чтобы наносимый слой TiO2/Nb имел толщину, равную 300 нм. На этом коммерческом двойном оконном стекле измеряли в тех же самых условиях, что перед этим,коэффициенты TL и g, чтобы по ним определить селективность. Характеристики различных полученных стекол, измеренные согласно стандарту EN410, представлены в табл. 1. Таблица 1 Сравнение данных, представленных в табл. 1, показывает, что слой не легированного TiO2 толщиной 50 нм (сравнительный пример 1), является неселективным и кажется относительно прозрачным как для видимого света, так и для тепла, в частности для тепловых инфракрасных лучей. Введение в этот слой легирующей добавки Nb в значительных концентрациях, порядка 6% согласно изобретению (пример 1), позволяет, однако, сохраняя толщину слоя все такой же малой, существенно увеличить селективность оконного стекла. Уровни селективности, полученные таким образом, являются, таким образом,более близкими к уровням селективности, наблюдаемым для наборов с низкой излучательной способностью на основе слоя серебра (сравнительный пример 2), которые работают не только в режиме поглощения ближнего инфракрасного излучения, но и в режиме его отражения. Такой результат является на этом основании совершенно удивительным. Сравнение примера 1 согласно изобретению и сравнительного примера 3 показывает, что оконные стекла, снабженные активными слоями, работающими в основном за счет поглощения солнечного излучения согласно изобретению, являются намного более селективными, чем другие известные солнцезащитные слои, работающие согласно этому же самому принципу, в частности слои на основе ниобия или нитрида ниобия. Наконец, сравнение примера 1 согласно изобретению и сравнительного примера 4 показывает, что комбинация степени легирования ниобием, близкой к 6%, и малой толщины слоя (50 нм), в конце концов, дает возможность получения набора, селективность которого выше, чем селективность набора, содержащего активный слой, степень легирования которого меньше, но толщина которого в 6 раз больше. Такой результат является неожиданным в той мере, в которой известно, что характеристики отражения инфракрасных лучей слоем прозрачного оксида, такого как TiO2, сильно увеличиваются с его толщиной. Были также измерены цветовые характеристики стекол в системе L, b, а в режиме пропускания,внутреннего отражения (со стороны помещения) и внешнего отражения (с внешней стороны), которые представлены в табл. 2. Таблица 2 Данные, представленные в табл. 2, показывают идеальные цветовые характеристики стекол, снабженных наборами согласно изобретению: параметры а и b согласно примеру 1 всегда отрицательные и относительно незначительные, каково бы ни было положение и угол зрения наблюдателя, как в проходящем, так и в отраженном свете. Такие цветовые характеристики влекут за собой слабоинтенсивную нейтральную или сине-зеленую окраску стекол, такую, которая в настоящее время желательна в области строительства. Согласно другому преимуществу солнцезащитные наборы согласно настоящему изобретению, активный слой которых получен на основе легированного оксида титана и имеет относительно небольшую толщину, то есть несколько десятков нанометров, являются предельно простыми и дешевыми в изготовлении, в частности методом вакуумного напыления катодным распылением, называемым магнетронным: малая толщина слоя оксида титана, в самом деле дает возможность значительного увеличения производительности, так как скорость перемещения подложки в камере напыления непосредственно зависит от желаемой толщины указанного слоя. Кроме того, дополнительные испытания на долговечность показали, что такие слои могут быть беспрепятственно нанесены на поверхность 2 простого оконного стекла без опасности его разрушения при химическом (влажность) или механическом (абразивный износ набора) воздействии. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ 1. Солнцезащитное оконное стекло для автомобилей или зданий, содержащее стеклянную подложку и набор слоев с солнцезащитными свойствами, действующий на солнечное излучение таким образом,чтобы обеспечить защиту от солнечного излучения и/или теплоизоляцию жилища или кабины, причем указанный набор слоев включает в себя слой, селективно поглощающий инфракрасное излучение с длиной волны больше 800 нм, при этом указанный поглощающий слой состоит из оксида титана, замещенного легирующим элементом X, выбранным из Nb или Та, при этом атомное процентное соотношение[X/Ti+X] находится в интервале приблизительно от 4 до 9%, и толщина указанного поглощающего слоя находится в интервале приблизительно от 20 до 100 нм. 2. Солнцезащитное оконное стекло по п.1, в котором атомное процентное соотношение [X/Ti+X] находится в интервале приблизительно от 4 до 7%. 3. Солнцезащитное оконное стекло по одному из пп.1 или 2, в котором толщина указанного поглощающего слоя находится в интервале от 30 до 100 нм. 4. Солнцезащитное оконное стекло по одному из предыдущих пунктов, в котором X представляет собой ниобий. 5. Солнцезащитное оконное стекло по одному из предыдущих пунктов, в котором набор представляет собой последовательность следующих слоев, начиная от поверхности стеклянной подложки: один или несколько нижних защитных слоев для защиты поглощающего слоя от миграции ионов щелочных металлов из стеклянной подложки с общей геометрической толщиной, находящейся в интервале от 5 до 150 нм,указанный поглощающий слой, состоящий из оксида титана, замещенного легирующим элементомX, выбранным из Nb или Та, предпочтительно Nb,один или несколько верхних защитных слоев для защиты поглощающего слоя от кислорода воздуха, в частности, во время термообработки, такой как закалка или обжиг, при этом указанный слой или указанные слои имеют общую геометрическую толщину, находящуюся в интервале от 5 до 150 нм. 6. Солнцезащитное оконное стекло по предыдущему пункту, в котором нижний и верхний защитные слои или нижние и верхние защитные слои выбраны из нитрида кремния Si3N4, в частности легированного Al, Zr, В, нитрида алюминия AlN, оксида олова, смешанного оксида цинка - олова SnyZnzOx, диоксида кремния SiO2, нелегированного оксида титана TiO2, оксинитридов кремния SiOxNy. 7. Солнцезащитное оконное стекло по одному из пп.5 или 6, в котором набор дополнительно включает в себя между указанными поглощающим слоем и по меньшей мере одним нижним защитным слоем и между указанным поглощающим слоем и по меньшей мере одним верхним защитным слоем слой металла, в частности, частично или полностью окисленного и/или азотированного, толщиной меньше 5 нм,предпочтительно толщиной меньше 3 нм. 8. Солнцезащитное оконное стекло по предыдущему пункту, в котором металл выбран из Ti или сплава NiCr. 9. Солнцезащитное оконное стекло по одному из предыдущих пунктов, в котором набор слоев содержит последовательность следующих слоев, начиная от поверхности стеклянной подложки: нижний защитный слой с толщиной, находящейся в интервале от 5 до 150 нм, выбранный из нитрида кремния Si3N4, в частности легированного Al, Zr, В, нитрида алюминия AlN, оксида олова, смешанного оксида цинка - олова SnyZnzOx, диоксида кремния SiO2, нелегированного оксида титана TiO2, оксинитридов кремния SiOxNy,слой металлического титана, в частности, частично или полностью окисленного и/или азотированного, толщиной меньше 2 нм,указанный поглощающий слой, образованный оксидом титана, замещенным Nb, причем атомное процентное соотношение [Nb/Ti+Nb] в указанном поглощающем слое находится в интервале приблизительно от 4 до 7%, и его толщина находится в интервале от 30 до 100 нм,слой металлического титана, в частности, частично или полностью окисленного и/или азотированного, толщиной меньше 2 нм,верхний защитный слой с толщиной, находящейся в интервале от 5 до 150 нм, выбранный из нитрида кремния Si3N4, возможно, легированного Al, Zr, В, нитрида алюминия AlN, оксида олова, смешанного оксида цинка - олова SnyZn2Ox, диоксида кремния SiO2, нелегированного оксида титана TiO2, оксинитридов кремния SiOxNy. 10. Солнцезащитное оконное стекло по одному из предыдущих пунктов, в котором набор слоев представляет собой последовательность следующих слоев, начиная от поверхности стеклянной подложки: нижний защитный слой Si3N4 с толщиной, находящейся в интервале от 5 до 100 нм,слой металлического титана, частично или полностью окисленного и/или азотированного, с геометрической толщиной меньше 2 нм,указанный слой, поглощающий инфракрасное излучение, образованный оксидом титана, замещенным Nb, причем атомное процентное соотношение [Nb/Ti+Nb] в указанном поглощающем слое находится в интервале приблизительно от 4 до 7%, и его толщина находится в интервале от 30 до 100 нм,слой металлического титана, частично или полностью окисленного и/или азотированного, с геометрической толщиной меньше 2 нм,верхний защитный слой Si3N4 с толщиной, находящейся в интервале от 5 до 100 нм.