Томаль Владимир Степанович

Ионный источник.

Загрузка...

Номер патента: 64

Опубликовано: 30.04.1998

Авторы: Томаль Владимир Степанович, Касинский Николай Константинович, Суприянович Владимир Федорович, Фальц Михаэль, Вилберг Рудигер

МПК: H01T 23/00, H01J 27/02

Метки: ионный, источник

Формула / Реферат:

1. Ионный источник, содержащий установленные в корпусе средство для ввода и распределения рабочего газа, катод и анод, источник магнитного поля, расположенный вне разрядной области за анодом, содержащий первый и второй полюсные наконечники, причем крышка корпуса является вторым полюсным наконечником, в котором выполнено выходное отверстие, а в основании корпуса выполнено отверстие для ввода рабочего газа, отличающийся тем, что анод выполнен в...