Фальц Михаэль
Ионный источник.
Номер патента: 64
Опубликовано: 30.04.1998
Авторы: Касинский Николай Константинович, Фальц Михаэль, Вилберг Рудигер, Суприянович Владимир Федорович, Томаль Владимир Степанович
МПК: H01J 27/02, H01T 23/00
Формула / Реферат:
1. Ионный источник, содержащий установленные в корпусе средство для ввода и распределения рабочего газа, катод и анод, источник магнитного поля, расположенный вне разрядной области за анодом, содержащий первый и второй полюсные наконечники, причем крышка корпуса является вторым полюсным наконечником, в котором выполнено выходное отверстие, а в основании корпуса выполнено отверстие для ввода рабочего газа, отличающийся тем, что анод выполнен в...