H01J 27/02 — ионные источники; ионные пушки

Номер патента: 64

Опубликовано: 30.04.1998

Авторы: Фальц Михаэль, Томаль Владимир Степанович, Суприянович Владимир Федорович, Вилберг Рудигер, Касинский Николай Константинович

МПК: H01J 27/02, H01T 23/00

Метки: ионный, источник

Формула / Реферат:

1. Ионный источник, содержащий установленные в корпусе средство для ввода и распределения рабочего газа, катод и анод, источник магнитного поля, расположенный вне разрядной области за анодом, содержащий первый и второй полюсные наконечники, причем крышка корпуса является вторым полюсным наконечником, в котором выполнено выходное отверстие, а в основании корпуса выполнено отверстие для ввода рабочего газа, отличающийся тем, что анод выполнен в...