Таманян Григорий
Способ осаждения тонких пленок посредством лазерной абляции
Номер патента: 6092
Опубликовано: 25.08.2005
Авторы: Таманян Григорий, Таманян Астжик
МПК: C23C 14/28
Метки: осаждения, способ, тонких, пленок, лазерной, посредством, абляции
Формула / Реферат:
1. Способ осаждения тонкой пленки на подложку, содержащий этапы, на которых осуществляют лазерную абляцию поверхности мишени для создания струи частиц испаряемого вещества, проходящей в направлении распространения от поверхности мишени, причем струя содержит область критической концентрации, помещают подложку в направлении распространения струи так, чтобы частицы испаряемого вещества, содержащиеся в струе, осаждались на подложку, при этом...