C23C 14/28 — с использованием волновой энергии или облучения частицами

Номер патента: 6092

Опубликовано: 25.08.2005

Авторы: Таманян Астжик, Таманян Григорий

МПК: C23C 14/28

Метки: пленок, абляции, осаждения, посредством, лазерной, тонких, способ

Формула / Реферат:

1. Способ осаждения тонкой пленки на подложку, содержащий этапы, на которых осуществляют лазерную абляцию поверхности мишени для создания струи частиц испаряемого вещества, проходящей в направлении распространения от поверхности мишени, причем струя содержит область критической концентрации, помещают подложку в направлении распространения струи так, чтобы частицы испаряемого вещества, содержащиеся в струе, осаждались на подложку, при этом...