Комплексный интерфейсный способ и система для автоматического создания и обработки заказов на фотомаски

009013 Ссылки на родственные заявки Заявка на данный патент является частичным продолжением следующих одновременно находящихся на рассмотрении патентных заявок: (1) заявки на патент США 10/852532, поданной 24 мая 2004 г. с названием Автоматизированный производственный процесс и способ для обработки фотомасок, которая является продолжением заявки на патент США 10/099522, поданной 14 марта 2002 г. (в настоящее время патент США 6760640), и (2) заявки на патент США 10/981201, поданной 3 ноября 2004 г. с названием Основанная на удобных для пользователя правилах система и способы для автоматического создания заказов на фотомаски, которая является продолжением заявки на патент США 10/877001,поданной 25 июня 2004 г., которая является частичным продолжением заявки на патент США 10/209254, поданной 30 июля 2002 г. (в настоящее время патент США 6842881). Полное содержание каждой из этих заявок полностью включается в данное описание. Область техники, к которой относится изобретение Данное изобретение относится в целом к комплексному интерфейсному способу и системе для автоматического создания и обработки заказов на фотомаски. В частности, данное изобретение относится к основанной на программном обеспечении прикладной программе, которая создает заказ на фотомаску в заданном формате и затем обрабатывает этот заказ на фотомаску, по существу, в готовый для записи файл пакета заданий и, по существу, готовый к записи файл инспекции, который в свою очередь передается в удаленную систему изготовителя фотомасок для изготовления фотомаски. Уровень техники Фотомаски являются высокоточными пластинами, содержащими микроскопические изображения электронных схем. Фотомаски обычно выполнены из очень плоских кусков кварца или стекла со слоем хрома на одной стороне. В хроме вытравлена часть конструкции электронной схемы. Конструкцию схемы на фотомаске называют также геометрией. Типичная фотомаска, используемая для изготовления полупроводниковых приборов, формируется из чистой или непроявленной фотомаски. Как показано на фиг. 1, типичная чистая фотомаска 10 состоит из трех или четырех слоев. Первый слой 11 является слоем кварца или другого, по существу,прозрачного материала, обычно называемого подложкой. Следующий слой является обычно слоем непрозрачного материала 12, такого как Cr, который часто включает третий слой противоотражательного материала 13, такого как CrO. Противоотражательный слой может быть включен или не включен в любую заданную фотомаску. Верхний слой обычно является слоем светочувствительного резистивного материала 14. Известны и используются также другие типы фотомасок, включая, но не ограничиваясь этим,фазосдвигающие маски, встроенные фазосдвигающие маски с ослаблением (EAPSM) и фазосдвигающие маски с изменяемой апертурой (AAPSM). Эти типы масок с фазовым сдвигом характеризуются конструктивными признаками, включающими непрозрачные зоны и частично прозрачные зоны, с помощью которых сдвигается фаза света, например, приблизительно на 180. Примеры таких фотомасок описаны в патенте США 6682861, в публикации патента США 2004-0185348 А 1, в публикации патента США 2005-0026053 и в публикации патента США 2005-0053847, все фирмы Photronics, Inc., полное содержание которых включается в данное описание. Процесс изготовления фотомаски включает множество стадий и может занимать много времени. При этом для изготовления фотомаски желаемый рисунок непрозрачного материала 12, подлежащий созданию на фотомаске 10, обычно задается электронным файлом данных, загружаемым в систему экспонирования, которая обычно сканирует электронным пучком или лазерным лучом растровым или векторным образом по чистой фотомаске. Пример такой растровой системы экспонирования описан в патенте США 3900737, выданном Колльеру. Каждая отдельная система экспонирования имеет свое собственное программное обеспечение и формат для обработки данных для выдачи команд оборудованию при экспонировании чистой фотомаски. При сканировании электронного пучка или лазерного луча по чистой фотомаске 10 система экспонирования направляет электронный пучок или лазерный луч на адресуемые места на фотомаске в соответствии с электронным файлом данных. Зоны светочувствительного резистивного материала, которые экспонируются электронным пучком или лазерным лучом, становятся растворимыми, в то время как не экспонированные части остаются не растворимыми. Для определения, где электронный пучок или лазерный луч должны экспонировать фоторезист 14 на чистой фотомаске 10, а где нет, необходимо обеспечивать для обрабатывающего оборудования соответствующие команды в виде пакета заданий. Для создания пакета заданий изображения желаемого рисунка разбиваются (или дробятся) на небольшие стандартные формы, например прямоугольники или трапеции. Процесс дробления может занимать очень много времени. После дробления изображение необходимо дополнительно модифицировать, например, при необходимости изменять размеры данных,при необходимости поворачивать данные, дополнять отправными и внутренними опорными метками и т.д. Обычно используется специализированная компьютерная система для выполнения дробления и/или создания пакета заданий. Затем данные пакета заданий необходимо передать в обрабатывающую инструментальную оснастку для обеспечения этой инструментальной оснастки необходимыми командами для экспонирования фотомаски.-1 009013 После сканирования системой экспонирования желаемого изображения на светочувствительный резистивный материал 14, как показано на фиг. 2, растворимый светочувствительный резистивный материал удаляют с помощью средств, хорошо известных из уровня техники, а неэкспонированный, нерастворимый светочувствительный резистивный материал 14' остается сцепленным с непрозрачным материалом 13 и 12. Таким образом, подлежащий формированию рисунок на фотомаске 10 образуется остающимся светочувствительным резистивным материалом 14'. Затем рисунок переносится с оставшегося фоторезистивного материала 14' на фотомаску 10 с помощью известного процесса травления для удаления противоотражательного материала 13 и непрозрачного материала 12 в зонах, которые не покрыты оставшимся фоторезистом 14'. Имеется большое множество процессов травления, известных из уровня техники, включая сухое травление, а также влажное травление, и таким образом используется различное оборудование для выполнения такого травления. После завершения травления оставшийся фоторезистивный материал 14' снимают или удаляют и получают готовую фотомаску, как показано на фиг. 3. В готовой фотомаске рисунок, первоначально задаваемый оставшимся противоотражательным материалом 13' и непрозрачным материалом 12', расположен в зонах, где остается остаточный фоторезист 14' после удаления растворимых материалов на предыдущих стадиях. Для определения наличия каких-либо недопустимых погрешностей в конкретной фотомаске необходимо инспектировать фотомаску. Погрешностью является любой дефект, влияющий на конструкцию схемы. Это включает нежелательные зоны хрома (пятна хрома, выступающие части хрома, мостики из хрома между элементами конструкции схемы), или нежелательные чистые зоны (тонкие отверстия, чистые выступающие части, чистые разрывы). Дефект может приводить к выходу из строя схемы, выполненной с помощью фотомаски. Заказчик в своей спецификации дефектов указывает размер дефектов,которые могут нарушать работу схемы. Все дефекты этого размера и больше должны быть исправлены,или же, если они не могут быть исправлены, маска идет в брак и записывается заново. Для обнаружения дефектов обычно используются автоматические системы инспекции маски, такие как изготавливаемые фирмами KLA-Tencor или Applied Materials. Такие автоматические системы направляют на фотомаску освещающий луч и измеряют интенсивность части светового луча, проходящего через маску и отраженного обратно от фотомаски. Затем измеренную интенсивность света сравнивают с ожидаемой интенсивностью света, и отклонение фиксируется как дефект. Подробное описание системы представлено в патенте США 5563702, выданном фирме KLA-Tencor. После прохождения инспекции готовую маску очищают от загрязнений. Затем на готовую фотомаску может быть нанесена пленка для защиты ее особенно важной зоны рисунка от находящихся в воздухе загрязнений. После нанесения пленки может быть выполнена проверка на дефекты. В некоторых случаях фотомаску разрезают до или после нанесения пленки. Перед выполнением каждой из указанных выше стадий изготовления, изготовитель полупроводниковых приборов (например, заказчик) должен снабдить изготовителя фотомасок данными различного типа, относящимися к подлежащей изготовлению фотомаске. Для этого заказчик обычно предоставляет заказ на фотомаску, который включает информацию различного типа и данные, необходимые для изготовления и обработки фотомаски, включая, например, данные, относящиеся к конструкции фотомаски,используемым материалам, датам поставки, информацию по выставлению счетов и другую информацию,необходимую для обработки заказа и изготовления фотомаски. Давнишней проблемой при изготовлении фотомасок является количество времени, которое необходимо для изготовления фотомаски после получения заказа на фотомаску от заказчика. Это полное время,необходимое для обработки заказа на фотомаску и изготовления фотомаски, может быть длительным, и таким образом общий выход фотомасок не является максимальным. Часть этой проблемы зависит от того, что многие заказчики, которые заказывают фотомаски, часто подают свои заказы в нескольких различных форматах, которые часто не совместимы с компьютерной системой изготовителя фотомаски и/или с оборудованием для их изготовления. В соответствии с этим изготовителю фотомаски часто необходимо переформатировать данные и условия заказа, преобразовывать и/или добавлять их в другой формат, который совместим с компьютерной системой и/или оборудованием для изготовления, что может занимать очень большое количество времени и тем самым удлинять время изготовления фотомаски. В качестве попытки решения этой проблемы в промышленности по изготовлению фотомасок были разработаны различные стандартные форматы заказов на фотомаски, в которых должны выполняться заказы на фотомаски. Например, стандарт SEMI P-10 является одним стандартным форматом, используемым для изготовления фотомасок. Дополнительно к этому, некоторые изготовители полупроводниковых приборов разработали свой собственный формат заказа на фотомаску, в котором должны выполняться заказы на фотомаски, вместо приспособления стандартного формата. Эти стандартные и собственные форматы заказов на фотомаски были созданы для того, чтобы получать от клиентов заказы на фотомаски в унифицированном формате с целью уменьшения полного времени, необходимого для изготовления фотомаски. Хотя использование таких стандартных или собственных форматов заказов на фотомаски является полезным для сокращения времени изготовления фотомасок, многие изготовители полупроводниковых-2 009013 приборов неохотно выполняют свои заказы на фотомаски в таких стандартных и/или собственных форматах по многим причинам. Например, стандартный формат заказа SEMI P-10 является довольно сложным и требует от заказчика для выполнения заказа специальных рабочих знаний, связанных с этим стандартом. Поскольку многие изготовители полупроводниковых приборов не изготавливают фотомаски, то такие изготовители могут не иметь средств, времени и способности для изучения тонкостей такого стандартного формата. Таким образом, изготовители полупроводниковых приборов часто подают изготовителю фотомаски данные заказа на фотомаску в неорганизованном и часто неполном виде. В результате,изготовитель фотомаски должен анализировать эти данные и организовывать их в используемый формат(например, формат SEMI P-10). Кроме того, в тех случаях, когда изготовителю фотомасок предоставляются неполные данные заказа на фотомаску, то этот изготовитель вынужден запрашивать недостающую информацию у заказчика. В результате, часто затрачивается большое количество времени в процессе получения полного и точного заказа на фотомаску, и тем самым намного увеличивается полное время на изготовление фотомаски. Другие пытаются решить эти проблемы с помощью автоматизированных систем. Однако эти системы, известные из уровня техники, имеют несколько недостатков. Например, в прошлом фирма AlignRite Corporation (предшественник фирмы Photronics, Inc.) предпринимала попытки передачи электронных данных с помощью использования системы доставки, основанной на Интернете. Однако хотя фирма AlignRite Corporation была способна быстро доставлять данные фотомаски от заказчика в компьютерную систему изготовителя фотомасок и была способна оценивать точность этих данных в реальном времени, эта известная система не обеспечивала автоматического создания данных заказа на фотомаску в едином стандартном и/или собственном формате. Таким образом,после получения данных от заказчика, стандартные модификации данных необходимо также вводить вручную с помощью операторов. При каждом ручном вводе измененных данных увеличивается риск допущения ошибки человеком и тем самым увеличивается общая длительность обработки заказа. С того времени были раскрыты другие системы, в которых данные изготовления и выставления счетов на оплату загружались через Интернет и проверялись автоматически в онлайновом режиме. Одна такая система описана в РСТ 02/03141, опубликованном 10 января 2002 г. и принадлежащем фирме DuPont Photomask, Inc., которая является также предметом патента США 6622295. В частности, в публикации РСТ фирмы DuPont раскрыта система, в которой данные заказа на фотомаску вводятся в онлайновом режиме заказчиком и передаются изготовителю фотомаски для обработки. В этой системе заказчик получает команды-подсказки на ввод данных заказа на фотомаску. Эти данные передаются изготовителю фотомаски, который в свою очередь проводит диагностическую оценку данных. Если какие-то данные являются неполными или неточными, то система направляет заказчику сообщение об этой погрешности. После этого пользователь должен исправить ошибку. После оценки данных изготовителем (и при необходимости после коррекции), изготовитель фотомаски обрабатывает эти данные и переводит их в стандартный (или собственный) формат, такой как стандартный формат SEMI P-10. Хотя система DuPont полезна для диагностических целей, она является очень громоздкой и обеспечивает пользователю очень небольшую гибкость при формулировании заказа на фотомаску в зависимости от заказчика, данные которого вводятся. Система DuPont не обеспечивает профилирования информации заказчика на основе введенной общей информации. Другим недостатком системы DuPont является то, что заказчик должен повторно вводить специальную информацию, относящуюся к заказу, каждый раз, когда заказчик использует систему, и не может использовать информацию, введенную в предыдущих заказах. Таким образом, использование системы DuPont для создания заказа на фотомаску занимает много времени. Согласно уровню техники после приема заказа на фотомаску от заказчика и перевода в правильный формат, необходимо обрабатывать этот заказ так, чтобы фотомаску можно было записывать с помощью соответствующего производственного оборудования и проверять с помощью соответствующего производственного оборудования. В обычном процессе изготовления фотомаски многие стадии, необходимые для изготовления готовой фотомаски, выполняются вручную или автоматически. В результате, известные из уровня техники способы и системы для выполнения этих стадий являются не эффективными, требуют много времени и в сильной степени зависят от человеческого фактора. В частности, после получения изготовителем от заказчика заказа на фотомаску, операторы должны сортировать полученную информацию и вручную направлять ее на подходящий участок обработки или в соответствующий отдел, для которого предназначена информация. Например, информацию о выставлении счетов необходимо направлять в финансовый отдел, а данные рисунка, необходимые для дробления,следует вводить в компьютер дробления, а остальную информацию пакета заданий необходимо направлять на соответствующий участок обработки. Если информация предоставлена в формате, отличном от формата компьютера изготовителя, то это также распознается вручную, а затем файл преобразуется в соответствующий формат. Если изготовитель фотомаски желает отслеживать прохождение фотомаски через процесс изготовления, то было необходимо по отдельности связываться с каждым участком и узнавать статус фотомаски у оператора. В связи с тем, что для изготовителя полупроводниковых приборов необходимо, чтобы один и тот же рисунок использовался множеством различных машин, оператор должен вручную программировать компьютер дробления для выполнения соответствующих модификаций.-3 009013 Аналогичным образом, поскольку заданный некоторыми заказчиками формат необходимо модифицировать в соответствии с используемым процессом изготовления фотомаски, то эти модификации данных,вводимые в компьютер дробления, также должны вводиться оператором вручную. Системы согласно уровню техники не обеспечивают возможности автоматического учета и обработки этих изменений. Давнишней проблемой в промышленности для изготовления фотомасок является проблема сокращения времени от приема заказа от заказчика до изготовления и доставки обработанной фотомаски. Одним из путей, используемых в прошлом для решения этой проблемы, является создание промышленных стандартов, таких как стандарт SEMI P-10, который модифицировался и обновлялся в течение многих лет, который устанавливает форму, в которой необходимо предоставлять данные электронным образом изготовителям фотомасок. Хотя эти стандарты являются полезными, они не обеспечивают сами по себе бесшовной автоматизации обработки информации, необходимой для изготовления фотомасок. После завершения указанных выше стадий изготовления, готовую фотомаску посылают заказчику для использования в изготовлении полупроводниковых или других изделий. В частности, фотомаски обычно используются в полупроводниковой промышленности для переноса микроскопических изображений, задающих полупроводниковую схему, на подложку или пластину из кремния или арсенида галлия. Процесс переноса изображения с фотомаски на кремниевую подложку или пластину обычно называют литографией или микролитографией. Обычно, как показано на фиг. 4, процесс изготовления полупроводникового прибора содержит стадии осаждения, фотолитографии и травления. Во время осаждения слой либо электрически изолирующего, либо электрически проводящего материала (такого как металл,поликремний или оксид) наносят на поверхность кремниевой пластины. Затем этот материал покрывают светочувствительным резистом. Затем используют фотомаску наподобие использования фотонегатива для получения фотографии. Фотолитография включает проецирование изображения фотомаски на пластину. Если изображение с фотомаски проецируется несколько раз рядом друг с другом на пластину, то этот прием известен как шаговое мультиплицирование, а фотомаску называют фотооригиналом. Как показано на фиг. 5, для создания изображения 21 на полупроводниковой пластине 20 фотомаску 10 располагают между полупроводниковой пластиной 20, которая включает слой светочувствительного материала, и оптической системой 22. Энергия, создаваемая источником 23 энергии, обычно называемым шаговым мультипликатором, не может проходить через зоны фотомаски 10, где имеется непрозрачный материал. Энергия из шагового мультипликатора 23 проходит через прозрачные части кварцевой подложки 11, не покрытые непрозрачным материалом 12 и противоотражательным материалом 13. Оптическая система 22 проецирует масштабное изображение 24 рисунка непрозрачного материала 12 и 13 на полупроводниковую пластину 20 и вызывает реакцию светочувствительного материала на полупроводниковой пластине. Растворимость светочувствительного материала изменяется в зонах, открытых для энергии. В случае положительного фотолитографического процесса растворимым становится экспонированный светочувствительный материал и его можно удалять. В случае отрицательного фотолитографического процесса экспонированный светочувствительный материал становится нерастворимым и удаляют не экспонированный растворимый светочувствительный материал. После удаления растворимого светочувствительного материала, изображение или рисунок, образованный в нерастворимом светочувствительном материале, переносится на подложку с помощью процесса, хорошо известного из уровня техники и обычно называемого травлением. После травления рисунка на материале подложки, оставшийся резист удаляют с получением готового изделия. Затем на пластину осаждают новый слой материала и резиста и проецируют на него изображение следующей фотомаски. Этот процесс повторяют до завершения схемы. Поскольку в типичном полупроводниковом приборе можно осаждать несколько слоев, то могут быть необходимы несколько различных фотомасок для изготовления даже единственного полупроводникового прибора. В действительности, если изготовителем полупроводниковых приборов используется более одного экземпляра оборудования для изготовления полупроводникового прибора, то может потребоваться более одной фотомаски даже для каждого слоя. Кроме того, поскольку могут использоваться различные типы оборудования для экспонирования фоторезиста на различных производственных линиях, то даже для множества фотомасок с идентичным рисунком могут потребоваться дополнительные изменения размеров, ориентации, масштаба и других атрибутов для учета различий оборудования для изготовления полупроводниковых приборов. Аналогичные регулировки могут быть необходимы для учета различий в литографическом оборудовании изготовителя фотомаски. Эти различия необходимо учитывать в процессе изготовления фотомаски. Сущность изобретения Хотя уровень техники представляет интерес, известные способы и устройства согласно уровню техники имеют несколько ограничений, которые стремится преодолеть данное изобретение. В частности, целью данного изобретения является создание комплексного интерфейсного способа и системы для создания и обработки заказов на фотомаски. Другой целью данного изобретения является создание основанной на правилах системы и способа для автоматического создания заказа на фотомаску в одном или более стандартных и/или собственных форматах, при этом правила можно приспосабливать или модифицировать для соответствия любому числу различных стандартных и/или собственных форматов, известных в настоящее время или разрабо-4 009013 танных позже. Другой целью данного изобретения является создание основанной на правилах системы и способа для автоматического создания заказа на фотомаску в одном или более стандартных и/или собственных форматах, при этом система и способ требуют от пользователя следовать набору правил, связанных со стандартным и/или собственным форматом для заказов на фотомаски. Другой целью данного изобретения является создание основанной на правилах системы и способа для автоматического создания заказа на фотомаску в одном или более стандартных и/или собственных форматах, при этом заказ создается посредством слияния существующего заказа (заказов) на фотомаску и/или шаблонов, содержащих данные фотомаски, в один новый заказ. Другой целью данного изобретения является создание основанной на правилах системы и способа для сокращения времени на создание заказа на фотомаску и ввода данных. Другой целью данного изобретения является создание основанной на правилах системы и способа для увеличения общей производительности выпускаемых фотомасок. Другой целью данного изобретения является создание основанной на правилах системы и способа для уменьшения ошибок транскрипции, связанных с ручным вводом заказов на фотомаски. Другой целью данного изобретения является исключение ручного вмешательства в передачу и обработку данных заказа на фотомаску для изготовления фотомаски. Другой целью данного изобретения является уменьшение подготовительного времени и полного времени обработки от момента времени приема изготовителем фотомаски, необходимой для обработки информации из интерфейсного обработчика фотомаски, до момента времени доставки готовой фотомаски интерфейсному обработчику фотомаски. Другой целью данного изобретения является улучшения точности и эффективности обработки данных фотомаски и передачи для изготовления. Другой целью данного изобретения является устранение недостатков уровня техника. Другие цели следуют из предшествующего описания. Было установлено, что указанные выше и связанные с ними цели данного изобретения достигаются с помощью интерфейсного способа и системы для автоматического создания и обработки по меньшей мере частей заказов на фотомаски, по существу, в готовый для записи формат и, по существу, в готовый для инспекции формат. В частности, данное изобретение относится к способу обработки данных маски посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей, по существу, прозрачные и, по существу, непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски. Этот способ содержит следующие стадии: ввода данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы; ввода требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции; изменения размера данных конструкции для облегчения процесса перемещения, по существу, прозрачных и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для записи формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; проверки целостности раздробленных данных конструкции; слияния двух или более наборов данных, созданных из одного или более следующих типов данных: (i) введенных данных конструкции; (ii) данных конструкции с измененным размером; (iii) раздробленных данных; и (iv) проверенных раздробленных данных; формирования набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски; и передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовления, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. Аналогичным образом, данное изобретение относится к способу обработки данных маски посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей фазосдвигающие и по существу непрозрачные элементы, в формат данных, пригодный для заданной обработки для изготовления фотомаски. Способ содержит стадии ввода данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы; ввода требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции; применения оптической ближней коррекции для облегчения процесса перемещения фазосдвигающих и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для считывания формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; проверки целостности раздробленных данных конструкции; слияния двух или более наборов данных одного или более следующих типов данных: (i) введенных данных конструкции; (ii) данных конструкции с измененным размером; (iii) раздробленных данных; и(iv) проверенных раздробленных данных; формирования набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски; и передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовления, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. Дополнительно к этому, данное изобретение относится к автоматизированной системе для обработ-5 009013 ки данных конструкции посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей, по существу,прозрачные и, по существу, непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски, содержащей читаемый компьютером носитель информации, содержащий команды. Эти команды выполнены с возможностью исполнения в процессоре, способном выполнять следующие стадии: ввода данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы; ввода требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции; изменения размера данных конструкции для облегчения процесса перемещения, по существу, прозрачных и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для записи формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; проверки целостности раздробленных данных конструкции; слияния двух или более наборов данных из одного или более следующих типов данных: (i) введенных данных конструкции; (ii) данных конструкции с измененным размером; (iii) раздробленных данных; и (iv) проверенных раздробленных данных; формирования набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски; и передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовления, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. Кроме того, данное изобретение относится к автоматизированной системе для обработки данных конструкции посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей, по существу, прозрачные и,по существу, непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски. Эта система содержит по меньшей мере один сервер, содержащий память, первый компонент программного обеспечения и второй компонент программного обеспечения для обработки данных маски, при этом данные, относящиеся к конструкции маски, сохраняются в памяти, первый компонент программного обеспечения содержит команды, управляющие вводом пользователем данных требований для обработки заказа на фотомаску, выполненный в соответствии с данными конструкции, второй компонент программного обеспечения содержит команды для синтаксического анализа данных рисунка маски и данных требований в формат, подходящий для изготовления, при этом второй компонент программного обеспечения содержит команды для выполнения следующих задач: (i) изменения размера данных конструкции для облегчения процесса перемещения, по существу, прозрачных и, по существу,непрозрачных элементов в фотомаске; (ii) дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для записи формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; (iii) проверки целостности раздробленных данных конструкции; (iv) слияния двух или более наборов данных из одного или более следующих типов данных: (а) введенных данных конструкции; (b) данных конструкции с измененным размером; (с) раздробленных данных; и (d) проверенных раздробленных данных; (v) формирования набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски; и схемы для передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовления, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. Кроме того, данное изобретение относится к автоматизированной системе для обработки данных конструкции посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей фазосдвигающие и, по существу, непрозрачные элементы, в формат данных, пригодный для заданной обработки для изготовления фотомаски, содержащей читаемый компьютером носитель информации, содержащий команды. Эти команды выполнены с возможностью исполнения в процессоре, способном выполнять следующие стадии: ввода данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы; ввода требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции; применения оптической ближней коррекции для облегчения процесса перемещения фазосдвигающих и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для считывания формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; проверки целостности раздробленных данных конструкции; слияния двух или более наборов данных одного или более следующих типов данных: (i) введенных данных конструкции; (ii) данных конструкции с измененным размером; (iii) раздробленных данных; и (iv) проверенных раздробленных данных; формирования набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски; и передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовления, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. Данное изобретение относится также к автоматизированной системе для обработки данных конструкции посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей фазосдвигающие и, по существу,непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски. Система содержит по меньшей мере один сервер, содержащий память, первый компонент программного обеспечения и второй компонент программного обеспечения для обработки данных маски,при этом данные, относящиеся к конструкции маски, сохраняются в памяти, первый компонент про-6 009013 граммного обеспечения содержит команды, управляющие вводом пользователем данных требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции, второй компонент программного обеспечения содержит команды для синтаксического анализа данных рисунка маски и данных требований в формат, подходящий для изготовления, при этом второй компонент программного обеспечения содержит команды для выполнения следующих задач: (i) изменения размера данных конструкции для облегчения процесса перемещения фазосдвигающих и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; (ii) дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для записи формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; (iii) проверки целостности раздробленных данных конструкции; (iv) слияния двух или более наборов данных из одного или более следующих типов данных: (а) введенных данных конструкции; (b) данных конструкции с измененным размером; (с) раздробленных данных; и (d) проверенных раздробленных данных; (v) формирования набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски; и схемы для передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовления, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. Краткое описание чертежей Указанные выше и связанные с ними цели, признаки и преимущества данного изобретения следуют из приведенного ниже подробного описания предпочтительного, хотя и имеющего иллюстративный характер, варианта выполнения данного изобретения со ссылками на прилагаемые чертежи, на которых изображено фиг. 1 - чистая или непроявленная фотомаска согласно уровню техники; фиг. 2 - фотомаска согласно фиг. 1 после частичной обработки; фиг. 3 - фотомаска согласно фиг. 1 и 2 после полной обработки; фиг. 4 - графическая схема способа использования обработанной фотомаски для изготовления или обработки полупроводниковой пластины; фиг. 5 - процесс изготовления полупроводникового прибора с использованием шагового мультипликатора пластины; фиг. 6 - графическая схема общего процесса создания и обработки заказов на фотомаски согласно данному изобретению; фиг. 7 - система создания заказа на фотомаску согласно одному примеру выполнения изобретения; фиг. 8 - пример графического интерфейса пользователя, используемого в изобретении, для направления ввода пользователем заданных данных; фиг. 9 - блок-схема конфигурации автоматизированной системы изготовления согласно данному изобретению; фиг. 10 - снимок с экрана матрицы данных, осуществляемой в обрабатывающем сервере, согласно данному изобретению; фиг. 11 - снимок с экрана подматрицы данных, связанной гиперсвязью с матрицей данных, согласно фиг. 10, осуществляемой в обрабатывающем сервере, согласно данному изобретению; и фиг. 12 - блок-схема альтернативной многоцелевой конфигурации данного изобретения, показанной на фиг. 9. Подробное описание предпочтительного варианта (вариантов) выполнения Данное изобретение относится к комплексному интерфейсному способу и системе для автоматического создания и обработки заказов на фотомаски. Этот способ и система включает два отдельных, но связанных компонента программного обеспечения. Первый компонент программного обеспечения согласно данному изобретению используется для создания заказа на фотомаску в заданном формате. Второй компонент программного обеспечения согласно данному изобретению обрабатывает по меньшей мере часть заказа на фотомаску (который был создан с использованием первого компонента программного обеспечения) в, по существу, готовый к записи файл пакета заданий и/или, по существу, готовый к записи файл инспекции, который в свою очередь передается в удаленную систему изготовителя фотомаски для изготовления фотомаски. Эти компоненты программного обеспечения можно устанавливать в виде отдельных программ в компьютерную систему или использовать как единый пакет программного обеспечения, выполняющий множество функций. Общая графическая схема системы и способа согласно данному изобретению показана на фиг. 6, а детали этой системы и способа показаны на фиг. 7-12. Как показано на фиг. 6, данные конструкции фотомаски и данные требований к процессу изготовления получают от одного объекта (например, из компьютерной системы конструктора полупроводникового прибора), желающего заказать фотомаску. Эта компьютерная система конструктора полупроводникового прибора может быть частью или выполнена отдельно от компьютерной сети интерфейсного обработчика. Если она удаленно соединена, то она может быть соединена с помощью соединения FTP (протокол передачи данных), защищенной связи через Интернет или служебной сети передачи данных (как будет описано ниже) или с использованием другой известной или разработанной в будущем технологии. Первый компонент программного обеспечения согласно данному изобретению установлен в компьютерной системе процессора заказа на фотомаску и используется для ввода и обработки данных требований к процессу изготовления в заданном формате (например, SEMI P-10). В предпочтительном варианте вы-7 009013 полнения второй компонент программного обеспечения согласно данному изобретению также установлен в той же системе, что и первый компонент программного обеспечения. В качестве альтернативного решения, второй компонент программного обеспечения может быть установлен в отдельной компьютерной системе, которая связана с первым компонентом в качестве первой компьютерной системы, например, через сеть, служебную сеть передачи данных, как будет описано ниже. Второй компонент программного обеспечения согласно данному изобретению принимает данные конструкции фотомаски, которые уже были введены в систему в виде электронного файла. Затем второй компонент программного обеспечения обрабатывает принятые данные конструкции и данные требований. Для этого второй компонент программного обеспечения (i) изменяет размер данных конструкции для двоичных конструкций фотомаски или выполняет коррекцию оптического приближения данных конструкции для конструкций фазосдвигающей маски; (ii) выполняет дробление данных конструкции;(iii) проверяет целостность раздробленных данных; (iv) выполняет слияние наборов данных, созданных во время обработки данных конструкции и данных требований; и (v) формирует эти совмещенные наборы данных в, по существу, готовые для инспекции и/или, по существу, готовые к записи файлы данных. После завершения этих стадий, сформированные данные передаются с помощью электронного сигнала(например, электронной почты) к изготовителю фотомаски для обработки. В одном варианте выполнения перед завершением этих стадий передается электронный сигнал (например, электронная почта) изготовителю фотомаски с указанием, что заказ на фотомаску введен, и с запросом к изготовителю фотомаски об информации, относящейся к производственному оборудованию и связанной с ним оснастки, используемых для изготовления фотомаски. Изготовитель в свою очередь направляет в систему процессора фотомаски электронный сигнал, предоставляющий эту информацию. Эта информация учитывается при завершении ввода данных для изготовителя. Хотя в предпочтительном варианте выполнения указанные стадии выполняются в показанном на фиг. 6 порядке, следует понимать, что данное изобретение и прилагаемая формула изобретения не ограничиваются этим порядком выполнения стадий, который может быть модифицирован для удовлетворения требований конкретного заказа и процесса изготовления. Перед описанием компонентов программного обеспечения и связанного с ними способа согласно данному изобретению необходимо сначала привести описание типа информации, необходимой для создания заказа на фотомаску и изготовления фотомаски в соответствии с этим заказом. В частности, как указывалось выше, фотомаска обычно необходима для изготовления полупроводниковых и других приборов. Часто перед изготовлением маски объект, желающий иметь фотомаску, должен сначала сконструировать фотомаску, подлежащую изготовлению. Для этого этот объект разрабатывает определенные данные и технические требования, которые должны быть предоставлены изготовителю фотомаски. В частности, этот объект создает в своем компьютере (1) данные рисунка; и (2) другие заданные требования, относящиеся к заданному заданию, которые предоставляются часто в промышленном стандартном формате, таком как стандарт SEMI P-10, но могут быть представлены в других пользовательских форматах. Данные рисунка обычно создаются в виде чертежа и обычно показывают различные формы и линии, подлежащие включению в фотомаску. Однако данные рисунка не обязательно являются полными. Другими словами, данные рисунка не обязательно включают необходимые описания, соответствующие данным рисунка, включая, но не ограничиваясь этим, информацию, такую как критические размеры рисунка, оттенки цвета, используемые в различных зонах рисунка, информацию регистрации, действительное расположение рисунка маски, информацию об экспонировании, информацию об инспекции, чтобы назвать некоторые из них. Вместо этого данные рисунка показывают лишь общую форму рисунка, подлежащего травлению на фотомаске. Данные рисунка можно предоставлять в любом электронном формате, который можно подвергать синтаксическому анализу. В соответствии с этим, дополнительно к представлению данных рисунка, объект, конструирующий фотомаску, должен также предоставить дополнительную необходимую информацию изготовителю с целью выполнения стадий обработки, обычно в виде SEMI Р-10. SEMI P-10 является описанием структуры данных, предназначенной для облегчения передачи данных заказа на фотомаску между программными системами для обеспечения автоматической обработки таких заказов изготовителем фотомаски. Форма SEMI P-10, которая совершенствуется в течение многих лет, включает такую информацию, как например, информация о заказчике, информация о критических размерах, информация об оттенках, информация регистрации, информация о выставлении счетов, коды формата для информации о рисунке,предоставляемой отдельно, размеры и коэффициенты масштаба для готовой фотомаски, масштаб дробления, типы подложки и пленки, чтобы назвать некоторые из них. Стандарт SEMI P-10, также как его предшественники включается в данное описание в качестве идентификации типа информации, которая может быть включена в обмен данными между заказчиком и изготовителем фотомаски. Для простоты обозначения, не относящаяся к рисунку информация, которая представляется электронным способом,называется в данном случае заказом на фотомаску. Однако следует отметить, что данное изобретение не ограничивается текущей версией стандарта SEMI P-10 и может быть легко модифицировано для соответствия любым будущим изменением в этом стандарте. Кроме того, данное изобретение не ограничивается даже стандартными форматами и применимо также к пользовательским форматам, которые также для-8 009013 простоты обозначения обозначаются в данном случае как заказ на фотомаску. Согласно данному изобретению первый компонент программного обеспечения и связанный с ним способ используются для направления пользователя в процессе ввода заказа с целью создания заказа в конкретном формате. В частности, согласно данному изобретению создана основанная на правилах компьютеризированная система и способ для создания заказов на фотомаски в заданном формате, при этом объект, желающий иметь изготовленную фотомаску (называемый в дальнейшем интерфейсный обработчик фотомаски), направляется в процессе ввода данных заказа, необходимых для изготовления фотомаски, так что данные являются полными и точными и отвечают требованиям заданного формата заказа. Примеры интерфейсного обработчика фотомаски включают, но не ограничиваясь этим, конструктора фотомаски,изготовителя полупроводникового прибора, клиента изготовителя фотомаски, чтобы назвать некоторые из них. Для выполнения этих функций в системе и способе используется первый компонент программного обеспечения, который включает комбинацию из одного или более следующих пяти подкомпонентов для создания заказа на фотомаску в желаемом формате: (1) шаблоны, в которые вводятся данные; (2) правила для преобразования введенных в шаблоны данных в заданный стандартный и/или собственный формат;(3) способ использования шаблонов для создания заказа на фотомаску в заданном формате; (4) отдельный набор правил для проверки правильности заказа на фотомаску относительно заданного стандартного формата; и (5) показатели спецификации, которые являются одним или более уникальными атрибутными объектами, связанными с шаблоном фотомаски или с заказом и могут быть переданы с помощью шаблона или заказа. Программное обеспечение осуществляется в системе согласно данному изобретению для связи конкретных шаблонов с конкретными правилами с целью обеспечения ввода интерфейсным обработчиком фотомаски полной и точной информации заказа на фотомаску. Аналогичным образом, программное обеспечение осуществляется в системе согласно данному изобретению для связи конкретных заказов на фотомаски с конкретными правилами с целью обеспечения вводом интерфейсным обработчиком фотомаски полной и точной информации заказа на фотомаску. Показатели спецификации можно рассматривать как опорные данные и применять к шаблону, заказу или шаблону, используемому для создания заказа. Наличие шаблонов и заказов, включающих показатели спецификации в качестве опорных данных,позволяет легко обновлять большое количество шаблонов и/или заказов посредством изменения лишь небольшого числа показателей спецификации. Перед описанием программного обеспечения необходимо сначала привести описание способа, в котором хранятся и организованы шаблоны, заказы и правила. В частности, система включает сервер,включающий по меньшей мере один процессор и один внешний носитель данных, хранящийся в сервере. Правила и шаблоны для облегчения ввода данных заказа на фотомаску и создания заказа хранятся во внешнем носителе данных. Внешний носитель данных может быть носителем информации различных типов, включая, но не ограничиваясь этим, реляционную базу данных, объектно-ориентированный класс,файл XML и другие аналогичные носители информации, известные или разработанные в будущем. За счет сохранения носителя информации вне системы и за счет обеспечения гибкости типа носителя информации, который можно использовать в системе и способе, согласно данному изобретению множество различных пользователей и автоматизированных систем могут динамично пользоваться системой с множеством различных платформ. В предпочтительном варианте выполнения создается набор шаблонов и заказов на основе требований частного стандартного и/или собственного формата заказа на фотомаску. Для этого шаблоны и заказы организованы в виде иерархии компонентов и подкомпонентов, при этом каждый компонент и подкомпонент определяются требованиями частного стандартного и/или собственного формата заказа на фотомаску. Например, частный формат заказа на фотомаску может требовать, чтобы компонент данных маски включал определенные подкомпоненты, такие как название, штриховой код и данные рисунка,чтобы назвать некоторые из них. Каждый из этих подкомпонентов может иметь более детальные подкомпоненты (дочерние компоненты). Например, компонент данных рисунка, который является подкомпонентом данных маски, может иметь набор дочерних компонентов, связанных с ним. В зависимости от требований стандартного и/или собственного формата заказа на фотомаску, эти дочерние компоненты могут также иметь дополнительные подкомпоненты, которые в свою очередь могут иметь свои собственные подкомпоненты, и т.д. Каждый из компонентов и связанных с ними подкомпонентов задаются как набор атрибутов (например, двоичный, цепочка, целое число, данные, булево выражение, список и т.д.). Поскольку используются шаблоны для создания заказов на фотомаски, то правила (подробное описание которых будет приведено ниже), связанные с любым заданным шаблоном, являются поднабором правил, связанных с заказом на фотомаску, который выполняется по шаблону. Согласно данному изобретению шаблоны, заказы, компоненты, подкомпоненты и т.д. можно хранить по отдельности. Это позволяет пользователю не использовать определенные компоненты или подкомпоненты в шаблоне, а использовать эти отдельно хранящиеся компоненты и подкомпоненты в качестве опорных показателей шаблона. В случае создания нового заказа на фотомаску по данному шаблону можно выполнять изменения этих компонентов и под-9 009013 компонентов, при этом можно выполнять изменения лишь отдельно хранящихся показателей спецификации без изменения шаблона. Таблица демонстрирует пример организации компонентов и подкомпонентов шаблонов и заказов в соответствии со стандартным и/или собственным форматом заказа на фотомаску. Таблица В таблице ввод в первый (самый левый) столбец является родительским для ввода во второй столбец (дочерний), а ввод во второй столбец является родительским для ввода в третий столбец и т.д. В качестве альтернативного решения, любые два смежных столбца могут определять компоненты (левый столбец) и подкомпоненты (правый столбец). Как показано в таблице, одни и те же компоненты могут появляться в качестве подкомпонентов для других компонентов. Например, данные критического размера появляются в качестве подкомпонента для данных рисунка в столбце 4 и столбце 5 таблицы. Поскольку каждый компонент и связанные с ним подкомпоненты можно хранить отдельно друг от друга и от заказа или шаблона, то любой из них можно также копировать из одной части заказа в другую часть того же заказа или другого заказа, шаблона, компонента, подкомпонента и т.д. Эта гибкость копирования и вставления компонентов и подкомпонентов позволяет пользователю быстро создавать много заказов на фотомаски без необходимости ввода одной и той же информации заказа. Шаблоны и заказы можно создавать вручную с использованием графического интерфейса пользователя. Шаблоны и заказы можно создавать или модифицировать также автоматически с использованием информации из заказа, внешнего носителя информации, включая, но не ограничиваясь этим, не форматированные текстовые файлы, файлы XML, или данные любого типа из устройства или механизма хранения данных. Например, интерфейсный компьютер обработчика фотомаски может включать такие файлы, базы данных или другую электронную информацию, которая полезна для создания нового шаблона или заказа, или предоставляет информацию для существующего шаблона или заказа. Механизм обработки данных можно использовать для переноса необходимой информации из этих внешних носителей информации в новые или существующие шаблоны или фотомаски. Например, можно использовать программное обеспечение преобразования или распределения для преобразования файлов или баз данных интерфейсного обработчика фотомаски в формат, необходимый для применения. Коммерчески доступным примером такого программного обеспечения является Data Junction, инструмент визуального конструирования для быстрой интеграции и преобразования данных между сотнями прикладных программ и структурированных форматов данных. Однако можно использовать любое подходящее коммерческое или собственное программное обеспечение для выполнения этой задачи. Внешнюю информацию можно вносить в шаблоны или заказы на месте в систему обработки заказов или с помощью существующей внешней сети, такой как глобальная сеть, или местная сеть, или Интернет и т.д. Они могут признаваться- 10009013 также другими известными технологиями, такими как протокол FTP (протокол передачи данных), электронная почта, http, собственные протоколы или любые другие известные протоколы, которые могут быть доступны для передачи информации. При использовании графического интерфейса пользователя,пользователь может получать команды-подсказки на ввод специально пронумерованных данных. На фиг. 8 показан типичный графический интерфейс пользователя, который может использоваться в системе создания заказа на фотомаску. В этом примере показанный на фиг. 8 графический интерфейс пользователя выдает пользователю команды-подсказки на ввод описательной информации, относящейся к подлежащей заказу фотомаске. В этом примере вводится информация, включающая название маски, состояние, тип изделия, чтобы назвать некоторые из них. В некоторых случаях, как, например, с названием маски, информация непосредственно печатается. В других случаях информацию можно выбирать из раскрывающегося меню, например, как в случае категории типа изделия. Шаблоны и заказы можно также создавать и модифицировать автоматически с использованием информации из других, внешних носителей, включая, но не ограничиваясь этим, не форматированные текстовые файлы, файлы XML или другие типы устройств или механизмов для хранения данных. Например,интерфейсный компьютер обработчика фотомаски может включать такие файлы, базы данных или другую электронную информацию, полезные для создания нового шаблона или заказа или предоставляющие недостающую информацию для существующего шаблона или заказа. Аналогичным образом, шаблон заказа, компонент, подкомпонент и т.д. можно переносить электронным способом, например, с помощью сканера или другой технологии преобразования файлов, так что можно преобразовывать и повторно форматировать ранее существующий заказ, шаблон, компонент или подкомпонент для использования в системе создания заказов на фотомаски. Например, можно использовать программное обеспечение преобразования или распределения для преобразования файлов или баз данных интерфейсного обработчика фотомаски в формат, который необходим для применения. Коммерчески доступным примером такого программного обеспечения является Data Junction, инструмент визуального конструирования для быстрой интеграции и преобразования данных между сотнями прикладных программ и структурированных форматов данных. Однако можно использовать любое подходящее коммерческое или собственное программное обеспечение для выполнения этой задачи. Внешнюю информацию можно вносить в шаблоны или заказы на месте в системе обработки заказов или с помощью существующей внешней сети, такой как глобальная сеть, или местная сеть, или Интернет и т.д. Они могут признаваться также другими известными технологиями, такими как протокол FTP, электронная почта, http, собственные протоколы или любые другие известные протоколы. Все операции, выполняемые человеком с помощью графического интерфейса пользователя, можно также выполнять, по меньшей мере частично, автоматически без прямой информации от человека. Согласно данному изобретению это достигается с помощью технологии сценариев на основе набора команд открытого текста или строки команд. Набор команд открытого текста является языком программирования высокого уровня, который можно интерпретировать в интерфейсе программирования прикладных программ для выдачи команд прикладной программе на выполнение последовательности операций. Например, строка команд, гласящая заменить название устройства А на название устройства В может передаваться пользователем в сеть интерфейсного обработчика фотомаски или же автоматически, как указывалось выше. Когда система принимает эту строку команд, она заменяет название устройства в конкретном шаблоне или заказе на новое название устройства. Естественно, что это является лишь одним примером использования набора команд и не должно ограничивать данное изобретение. Можно создавать пользовательские модули для использования в системе интерфейсного обработчика фотомаски для доступа к этой команде с использованием любого языка программирования, способного создаватьASCII или двоичный файл и выполнять команду операционной системы. Автоматизированное выполнение обеспечивает доступ авторизованных пользователей к любой авторизованной системе через существующее соединение с сетью. Можно использовать обычные меры защиты, такие как брандмауэр, регистрации, пароли и т.д. для защиты конфиденциальности и защиты данных базы данных и системы заказа масок. Таким образом, шаблоны, заказы, компоненты, подкомпонент и т.д. можно создавать и/или модифицировать посредством использования технологии сценариев с помощью строки команд или любой другой среды проектирования. Технология составления сценариев предпочтительно включает программу строки команд, которая принимает в качестве аргумента название сценария, введенное пользователем,которое содержит несколько команд для обработки заказов, шаблонов, компонентов и/или подкомпонентов и т.д. заданным конкретным образом. Некоторые или все функции редактирования, которые доступны пользователю через графический интерфейс пользователя, предпочтительно можно делать доступными в технологии сценариев с помощью команд сценариев. В предпочтительном варианте выполнения команды сценариев можно использовать для таких функций редактирования, как создание новых заказов, редактирование существующих заказов, создание заказов из шаблонов, добавление новых компонентов или подкомпонентов в заказ, шаблон, компоненты или подкомпоненты, модификация компонентов или подкомпонентов, сохранение заказов, создание файлов SEMI P-10 или файлов в другом сравнимом формате или стандарте из заказов, чтобы назвать не- 11009013 которые из них. Дополнительно к этому, технология составления сценариев может обеспечивать запрос данных и выполнять пакетное редактирование множества заказов и шаблонов одновременно. Файл сценариев, используемый в технологии составления сценариев, может быть в виде файла открытого текста, который содержит одну или более команд сценариев. Команда сценария может включать такие функции, как описание переменной, назначение, вызов функции, оператор если для каждого оператора, оператор цикла с условием продолжения, чтобы назвать некоторые из них. Команда описания переменной используется для описания подлежащей использованию переменной перед ее использованием для сохранения величины данных для последующего использования. Команда описания переменной может содержать описание типа данных подлежащей использованию переменной. Тип данных переменной может быть одним из следующих: цепочка, число,булево выражение, дата, список, элемент дерева. Цепочка может представлять последовательность из нуля или более знаков. Число может представлять целое или дробное число любого практического размера, которое может быть положительным, равным нулю или отрицательным. Булево выражение может быть истинным или ложным. Дата может представлять конкретный день и может также включать время дня. Список может представлять список величин данных одного и того же типа. Элемент дерева может представлять объект из иерархического дерева системы заказов на фотомаски, такой как заказ, фотомаска, шаблон или рисунок и т.д. С помощью команды вызова функции можно вызов сделать функцией в библиотеке системы. Функции, которые можно вызывать из библиотеки системы, могут включать функции для общего управления заказами, шаблонами, компонентами и подкомпонентами, функции для обращения с отдельными элементами дерева, функции для обращения с полями частного элемента дерева, функции для обработки величин данных, функции для обработки списков величин и другие функции общего или специального назначения. Примерами вызова функций для общего управления заказами, шаблонами, компонентами и подкомпонентами могут включать, но не ограничиваясь этим, создание заказа (для создания нового пустого заказа), создание заказа из шаблона (для создания нового заказа из заданного шаблона), открытие заказа(для открывания существующего заказа), создание шаблона (для создания нового шаблона), открытие шаблона (для открывания существующего шаблона с целью редактирования), применение расписания дат (для применения существующего заранее расписания дат для запуска заказа или шаблона с заданной даты), сохранение (для сохранения изменений шаблона заказа в базе данных), создание файла SEMI P-10(для создания файла SEMI P-10 из данного заказа), создание и передачу файла SEMI P-10 (для создания файла SEMI P-10 из данного заказа и его передачи с помощью заданного способа передачи, например, с помощью протокола передачи данных через Интернет в заданное место), стирание заказа (для стирания заданного заказа из базы данных), стирание шаблона (для стирания заданного шаблона из базы данных),чтобы назвать некоторые из них. Примеры вызова функций для обработки отдельных элементов дерева могут включать, но не ограничиваясь этим, создание элемента дерева (для создания нового, пустого элемента дерева заданного типа), копирование элемента дерева (для создания точной копии элемента дерева, включая связанные с ним дочерние элементы дерева), поиск элемента дерева (для определения местоположения данного типа в любом месте ниже другого элемента дерева, отвечающего определенным заданным критериям), поиск родителя (для получения родительского элемента дерева для данного элемента дерева), замену в дереве(для замены данной части текста во всех текстовых полях внутри заданных типов, начиная с заданного объекта), чтобы назвать некоторые из них. Примеры вызова функций для обработки полей элемента дерева могут включать, но не ограничиваясь этим, поиск поля (для получения величины поля элемента дерева), установку поля (для установки величины поля элемента дерева), добавление элемента поля (для добавления новой величины в поле элемента дерева, которое значится в списке типов), удаление элемента поля (для удаления элемента из поля элемента дерева, которое значится в списке), чтобы назвать некоторые из них. Примеры вызова функций для обработки значения дат могут включать, но не ограничиваясь этим,создание даты (для создания новой даты с заданным значением), добавление даты (для добавления заданного периода времени к дате), вычитание даты (для вычитания заданного периода времени из даты),чтобы назвать некоторые из них. Примеры вызова функций для обработки списков величин могут включать, но не ограничиваясь этим, добавление элемента списка (для добавления нового элемента в список, при этом новый элемент является элементом того же типа, что и другие элементы в списке), удаление элемента списка (для удаления элемента из списка), содержимое списков (для определения, содержится ли заданная величина в списке), размер списка (для определения числа элементов в списке), чтобы назвать некоторые из них. Примеры общих функций или функций специального назначения могут включать, но не ограничиваясь этим: равно нулю (для определения, является ли величина нулевой величиной), печать (для печати сообщения на экране), чтобы назвать некоторые из них. Любой тип или вид функции, который пользователь может считать желательным, можно включать в качестве функций в библиотеку системы. Список вызовов функций в библиотеке системы можно обновлять или пересматривать в любое время.- 12009013 Команды присвоения присваивают переменной новую величину. Команда оператора если позволяет сценарию принимать решения на основе некоторых критериев. Команда для каждого оператора или для каждого из операторов обеспечивает итерацию в некотором заданном списке. Команда оператора цикла с условием продолжения является обобщенной циклической логической структурой. Команда включения задает, что в данный момент времени необходимо запускать другой сценарий. В принципе, строки команд могут появляться в любой последовательности. Однако обычно последовательность должна следовать логике, поскольку команды обычно выполняются последовательно. Строка команд может быть или же может не быть чувствительной к регистру символов, в зависимости от предпочтений конструктора системы. Строки комментария могут быть включены в виде текста в файл сценариев для улучшения читаемости файла сценариев посредством пояснения на родном языке пользователя (например, английском,русском и т.д.) того, что делается. Обычно, когда строки комментария включены в файл сценариев, то эта информация игнорируется при выполнении файла сценариев. Кроме того, файл сценариев может быть форматирован для обеспечения пользователю возможности включать пробелы или пустые возвраты каретки для облегчения считывания файла без оказания отрицательного влияния на выполнение файла сценариев. После полного или частичного создания, в одном из вариантов выполнения системы согласно изобретению заказы, шаблоны, компоненты и/или подкомпоненты можно передавать или обеспечивать доступ к ним различным пользователям системы или различным системам согласно данному изобретению. Например, один пользователь в интерфейсном процессоре фотомаски может передавать по электронной почте или другим образом шаблон или заказ другому пользователю этого интерфейсного процессора фотомаски или другого интерфейсного процессора фотомаски, так что переданный шаблон или заказ можно использовать для выполнения нового или модифицированного шаблона или заказа. Естественно,что эта передача может происходить с помощью других способов передачи, таких как протокол FTP, или передачи на диске или другом носителе информации. В качестве меры безопасности можно применять коды доступа или другие технологии ограничения доступа к заказам, шаблонам, компонентам и/или подкомпонентам и т.д. для предотвращения несанкционированного доступа и/или модификации. При изготовлении заказа на фотомаску интерфейсные обработчики фотомаски могут не иметь доступа или знать всю необходимую информацию для завершения заказа. В прошлом, отсутствие такой информации приводило к замедлению процесса завершения заказа и требовало ручного сбора требуемой информации из подходящих источников. Согласно одному варианту выполнения данного изобретения такая информация автоматически извлекается, по меньшей мере частично, из других источников, которые имеют необходимую информацию и требуют мало или совсем не требуют ввода со стороны интерфейсного обработчика фотомаски. Например, в случае, когда необходимо ввести информацию в заказ, который управляется первым набором правил, недоступную для интерфейсного обработчика фотомаски, то механизм обработки данных согласно данному изобретению обеспечивает доступ к агентам обслуживания данными, которые обеспечивают возможность поиска необходимой информации. Один пример такого агента обслуживания данными включает ServiceObjekts, который обеспечивает пользователям одновременный доступ к узлам Интернета, базам данных, интрасетям и другим внутренним и внешним ресурсам, как если бы содержимое существовало в одном месте, и к пакетной информации, такой как транспортировочная информация, в формате, доступном с помощью других программ. В этом примере прикладная программа передает запрос на даты агенту обслуживания данными, который выполняют поиск возможностей транспортировки,которые доступны для заказываемой фотомаски. Агент обслуживания данными в свою очередь пересылает запрашиваемую информацию обратно к прикладной программе, которая затем предоставляет информацию интерфейсному обработчику фотомаски с использованием прикладной программы. Агентов обслуживания данными других типов можно привлекать для такой информации, как логистика, материально-производственные запасы, характеристики снабжения, доступность оборудования, время запуска,время инструментальной обработки, уровни загрузки, информация о производительности или любой другой такой информации, которую пожелает интерфейсный обработчик фотомаски с целью подготовки конкретного заказа на фотомаску. Можно создавать также команды сценариев для доступа к данным через агентов обслуживания данными или другим образом. Агент обслуживания данными может быть расположен на месте в компьютере или сети интерфейсного обработчика фотомаски, или же удаленно от системы обработки заказов интерфейсного обработчика фотомаски, и может сам получать доступ к данным из любого числа или типа удаленных компьютерных систем (например, компьютерных систем продавцов услуг логистики, компьютерных систем поставщиков частей, компьютерных систем поставщиков оборудования и т.д.) через интерфейс, известный как прикладной программе, так и агенту обслуживания данными, и может использовать любое количество доступных протоколов, включая, например, SOAP, XML, XML-RPC, ebXML, HTML и т.д. Агент обслуживания данными может выполнять поиск (например, посредством запросов) этих удаленных систем для получения информации, недоступной для интерфейсного обработчика фотомаски, и при получении доступа извлекать эти данные. Не обязательно, агент обслуживания данными при необходимости может- 13009013 быть выполнен с возможностью верификации данных. Механизм поиска агента обслуживания данными может быть выполнен на основе желаемой для пользователя информации (например, логистика, поставки, время обработки и т.д.), основанной на любом числе возможных параметров (например, стоимости,времени, названии интерфейсного обработчика фотомаски, размере маски, оборудовании шагового мультипликатора, подлежащего использованию, и т.д.), предоставляемой системой пользователя. Все операции, выполняемые человеком с помощью графического интерфейса пользователя, можно также выполнять, по меньшей мере частично, автоматически, т.е. без вмешательства человека. Данное изобретение обеспечивает доступ к этой функции с помощью набора команд открытого текста или строки команд. Набор команд открытого текста является языком программирования высокого уровня, который можно интерпретировать в интерфейсе программирования прикладных программ для выполнения последовательности операций. Например, строка команд, гласящая заменить название устройства А на название устройства В может передаваться пользователем в сеть интерфейсного обработчика фотомаски или же автоматически, как указывалось выше. Когда система принимает эту строку команд, она заменяет название устройства в конкретном шаблоне или заказе на новое название устройства. Естественно,что это является лишь одним примером использования набора команд и не должно ограничивать данное изобретение. Можно создавать пользовательские модули для использования в системе, интерфейсного обработчика фотомаски для доступа к этой команде с использованием любого языка программирования,способного создавать ASCII или двоичный файл и выполнять команду операционной системы. Автоматизированное выполнение обеспечивает доступ авторизованных пользователей к любой авторизованной системе через существующее соединение с сетью. Можно использовать обычные меры защиты, такие как брандмауэр, регистрации, пароли и т.д. для защиты конфиденциальности и защиты данных базы данных и системы заказа масок. На фиг. 7 показан пример различных возможных вариантов выполнения автоматизированных признаков данного изобретения. Как показано на фиг. 7, интерфейсный обработчик 110 фотомаски имеет в своей компьютерной системе или сети систему 100 обработки заказов согласно данному изобретению. Пользователь этой системы может вводить частичный или полный заказ или шаблон указанным выше образом. Файл 130, расположенный в сети интерфейсного обработчика фотомаски, используется для создания или модификации шаблона или заказа. В случае, когда любая информация, необходимая для завершения заказа, не вводится непосредственно с помощью интерфейсного обработчика фотомаски, такую информацию можно извлекать с помощью системы 100 обработки заказа автоматически из файлов,баз данных или другой электронной информации, доступной в системе интерфейсного обработчика фотомаски; из системы вне интерфейсного обработчика фотомаски, доступ в которую осуществляется дистанционно; непосредственно от одного или более поставщиков или продавцов интерфейсного обработчика фотомаски и/или через систему агента обслуживания данными. Интерфейсный обработчик фотомаски может непосредственно вводить всю информацию, необходимую для завершения заказа, некоторую информацию, необходимую для завершения заказа, при этом остальная информация приходит из других источников, или же инициировать через внешнюю прикладную программу процесс, который автоматически создает полный заказ без доступа к графическому интерфейсу пользователя системы обработки заказа. В варианте выполнения, показанном на фиг. 7, информация, необходимая для завершения заказа, извлекается из системы 120 агента обслуживания данными. Система 120 агента обслуживания данными запрашивает сформированные источники, такие как поставщики данных А и В, которые могут быть, например, поставщиками или продавцами интерфейсного обработчика фотомаски. Система 120 может собирать информацию также от самого интерфейсного обработчика фотомаски. Как показано на фиг. 6, информацию, относящуюся к производственному оборудованию, подлежащему использованию для изготовления фотомаски, можно получать от изготовителя через систему 120 агента обслуживания данными. После извлечения всей необходимой информации и ввода в правильный шаблон, создается документ 140 заказа, который передается к поставщику 150 фотомаски. Выполнение любой задачи автоматизированным способом может включать предупреждающее уведомление о любых сбоях системы или неисправностях процесса на основе набора правил. Уведомления может создавать конечный пользователь, и они могут выполняться в виде электронной почты, сообщений, файлов регистрации или вводов в базу данных. В одном варианте выполнения признак уведомления автоматически создает сообщение, отправляемое в распределительный список с именами людей, которые связаны с заказами на фотомаски. Этот распределительный список может быть создан с помощью любых заданных критериев. После создания сообщения каждое лицо из распределительного списка автоматически получает уведомление, что заказ на фотомаску создан. Такие уведомления могут включать электронную почту, тональную сигнализацию, дежурные сообщения, мобильные телефоны, чтобы назвать некоторые из них. Этот процесс уведомления может быть установлен в любом месте сети интерфейсного обработчика фотомаски или даже сети изготовителя и может инициироваться любой стадией по желанию интерфейсного обработчика фотомаски. Этот пример не следует рассматривать как ограничивающий изобретение, а является лишь иллюстрацией системы уведомления, которая может быть включена в данное изобретение. После уведомления о подготовке нового или модифицированного заказа на фотомаску, данное изо- 14009013 бретение может автоматически направлять заказ изготовителю фотомаски, если нет ошибок, или ожидать разрешения от пользователя системы интерфейсного обработчика фотомаски. Если идентифицируются ошибки, то интерфейсный обработчик фотомаски может вручную редактировать заказ для исправления этих ошибок и продолжать обработку заказа обычным образом. В качестве альтернативного решения может быть предусмотрено автоматическое исправление ошибок. В другом варианте выполнения можно создавать неполный заказ на фотомаску, включающий информацию о конструкции, в формате, который можно передавать в систему обработки изготовителя фотомаски с целью обеспечения возможности проверки изготовителем фотомаски правильности, выполнимости и/или желательности конструкции. Например, интерфейсный обработчик фотомаски может передавать частичный заказ на фотомаску, включающий инструкции на дробление, который затем передается изготовителю фотомаски для проверки правильности, выполнимости и/или желательности предложенной конструкции. Это можно выполнять автоматически, как указывалось выше, или вручную. В случае автоматического выполнения, после приема информации, относящейся к предложенному частичному заказу на фотомаску, система может создавать информацию, необходимую для передачи команд на дробление к поставщику фотомаски для дальнейшего анализа и оценки. После приема информации изготовитель фотомаски может затем предложить также альтернативные конструкции, которые могут быть более целесообразными или желательными с точки зрения изготовителя или т.п. Затем результаты анализа фотомаски изготовителем можно передавать в компьютерную систему интерфейсного обработчика фотомаски для дальнейшего обдумывания интерфейсным обработчиком фотомаски относительно продвижения фотомаски или модификации предложенного заказа. Каждый из шаблонов, заказов, компонентов и подкомпонентов и т.д. предпочтительно хранится в базе данных, однако, может храниться также в других местах. Может быть предусмотрена подсистема поиска, с помощью которой пользователь может выполнять поиск конкретного шаблона, заказа, компонента или подкомпонента и т.д., хранящегося в базе данных или в других местах. Используя подсистему поиска, можно обнаруживать подходящие шаблоны, компоненты или подкомпоненты и т.д., необходимые для создания заказа в конкретном формате заказа. После обнаружения таких шаблонов, компонентов, подкомпонентов и т.д., данные, относящиеся к заказу на фотомаску, вводятся пользователем (обычно интерфейсным обработчиком фотомаски, желающим разместить заказ на фотомаску). Пользователь может также использовать подсистему поиска для обнаружения существующих заказов на фотомаски с целью завершения или облегчения ввода данных или модификации их содержимого, как будет описано ниже. Как указывалось выше, интерфейсный обработчик фотомаски может не иметь достаточных знаний о требованиях конкретного формата заказа на фотомаску и таким образом может не ввести всю необходимую информацию, требуемую таким стандартом для завершения заказа. Дополнительно к этому, интерфейсные обработчики фотомаски могут допускать ошибки при вводе данныхи тем самым предоставлять неточную информацию. В соответствии с этим установлены первый и второй набор правил и они хранятся в системе для обеспечения ввода интерфейсным обработчиком фотомаски полных и правильных данных в шаблоны и заказы, как требует конкретный стандартный формат и/или собственный формат изготовителя фотомаски. В первом предпочтительном варианте выполнения первый и второй набор правил устанавливаются для обеспечения ввода пользователем всех необходимых данных для выдачи готового заказа на фотомаску, в соответствии с требованиями конкретного стандартного формата и/или собственного формата изготовителя фотомаски. Первый и второй наборы правил предпочтительно устанавливаются на основе требований выбранного заказа на фотомаску. Для этого первый набор правил диктует, какие данные должны быть введены, какие могут быть введены и/или могут быть не введены в каждый компонент и подкомпонент шаблона или заказа, как того требует заданный формат заказа на фотомаску. Дополнительно к этому, первый набор правил должен быть выполнен так, чтобы они требовали от пользователя ввода информации в любые другие компоненты, которые требуются (как указано в конкретном стандартном и/или собственном формате изготовителя фотомаски) для завершения заказа на фотомаску. Таким образом, например, как показано в таблице, конкретный стандартный формат заказа может требовать относительно шаблона рисунок, который действителен для всех заказов EAPSM: данные размещения и данные критических размеров должны быть предусмотрены; данные инспекции кристаллов могут быть предусмотрены, и данные кристаллов могут быть не предусмотрены. В соответствии с этим устанавливаются правила и связываются с соответствующими шаблонами (и компонентами, и подкомпонентами), которые требуют, что (1) пользователь должен включить данные расположения и данные критических размеров; (2) пользователь может включить данные инспекции кристаллов; и (3) пользователь может не включать данные инспекции данных кристаллов. В соответствии с этим в данном примере, когда пользователь желает создать заказ на фотомаску EAPSM с использованием системы и способа согласно изобретению, то правила (1) требуют от пользователя ввода данных расположения и данных критических размеров; (2) разрешают (но не требуют) от пользователя ввода данных инспекции кристаллов; и (3) предотвращают ввод пользователем данных инспекции данных кристаллов. Дополнительно к этому, выбранный формат заказа может требовать, чтобы дополнительно к данным рисунка- 15009013 должны быть введены данные регистрации матрицы для завершения заказа на фотомаску. В соответствии с этим, первый набор правил выполнен так, что после завершения ввода пользователем всех данных рисунка, пользователь направляется к шаблону регистрация матрицы и получает команды-подсказки на ввод всех необходимых данных также в этот шаблон (и любые другие соответствующие подкомпоненты этого шаблона). Аналогичным образом, если стандартный и/или собственный формат заказа на фотомаску требует ввода данных в любые другие шаблоны для завершения заказа на фотомаску, то первый набор правил направляет пользователя к другим таким шаблонам после ввода пользователем всех данных в шаблон регистрации матрицы и выдает пользователю команды-подсказки на ввод всех требуемых данных в такой шаблон (шаблоны). После ввода пользователем всех требуемых данных, пользователь получает разрешение на завершение шаблона (т.е. ввода данных в соответствии со вторым набором правил, описание которого будет приведено ниже). Таким образом, очевидно, что первый набор правил согласно данному изобретению обеспечивает ввод пользователем необходимой информации в подходящие шаблоны, как того требует конкретный стандартный и/или собственный формат для создания заказа на фотомаску. Другими словами, правила направляют пользователя в процессе ввода данных заказа на фотомаску с целью обеспечения ввода всей необходимой информации заказа в шаблоны. Дополнительно к этому, система и способ предусматривают также второй набор правил, которые обеспечивают ввод пользователем данных в точном и правильном формате, как задается конкретным стандартным и/или собственным форматом заказа на фотомаску. Как указывалось выше, каждый компонент и подкомпонент шаблона задается набором атрибутов (например, в двоичном виде, в виде цепочки,целого числа, реального числа, булева выражения, даты, списка и т.д.). Таким образом, в предпочтительном варианте выполнения второй набор правил устанавливается для каждого шаблона и заказа, который показывает пользователю, должны, могут и/или не должны иметь данные, вводимые в конкретный шаблон, конкретный атрибут, как того требует конкретный стандартный и/или собственный формат заказа на фотомаску. Например, как показано в таблице, конкретный стандартный и/или собственный формат заказа на фотомаску может требовать, что (1) данные, вводимые в шаблон расположения должны быть целыми числами; (2) данные, вводимые в шаблон названия, могут быть цепочкой; и (3) данные, вводимые в шаблон критических размеров не должны быть цепочкой. В соответствии с этим устанавливаются правила для шаблона расположения, которые (1) требуют от пользователя ввода целого числа в шаблон расположения; (2) позволяют пользователю вводить цепочку в шаблон названия; и (3) запрещают пользователю вводить цепочку в шаблон критических размеров. Таким образом, очевидно, что правила согласно данному изобретению обеспечивают ввод пользователем информации и данных подходящего типа в каждый шаблон, как того требует конкретный стандартный и/или собственный формат заказа на фотомаску для создания заказа на фотомаску. Другими словами, второй набор правил разрешает пользователю вводить лишь данные определенного типа в шаблон, и тем самьм уменьшает возможность наличия ошибок конструкции и/или ошибок ввода данных в процессе размещения заказа на фотомаски. В предпочтительном варианте выполнения указанные первый и второй наборы правил создаются и хранятся по отдельности. Как указывалось выше, правила можно хранить внутри системы или вне системы в любом разном числе динамических форматов (например, в виде базы данных, объектноориентированного класса, файла XML и т.д.), так что систему можно приспосабливать для запуска любого числа платформ, в зависимости от предпочтений пользователя и/или автоматизированной системы. Однако следует отметить, что можно создавать и хранить единственный набор правил, при условии, что такой единственный набор правил обеспечивает ввод пользователем полной информации заказа на фотомаску (как описано применительно к первому набору правил) и точную информацию заказа на фотомаску (как описано применительно ко второму набору правил). Кроме того, первый и второй наборы правил можно аналогичным образом комбинировать в единственный набор правил. Как указывалось выше, данное изобретение включает функцию связи заданных первого и второго наборов правил с заданными шаблонами для обеспечения создания заказа на фотомаску полным и точным образом. В предпочтительном варианте выполнения эта функция обеспечивается в виде основанной на программном обеспечении прикладной программы, установленной в компьютере объекта, желающего разместить заказ на фотомаску, такого как изготовитель полупроводниковых приборов. В отличие от уровня техники, это программное обеспечение не зависит от данного производственного процесса изготовителя фотомаски. Вместо этого программное обеспечение согласно данному изобретению можно применять как автономную защищенную прикладную программу, прикладную программу распределенной сети или основанную на Web-сети прикладную программу для слабых клиентов. Программное обеспечение предпочтительно используется в системе клиент-сервер, при этом графический интерфейс пользователя (например, клиента) соединяется и извлекает данные из базы данных сервера. Во всех случаях, интерфейсный обработчик фотомаски, выполняющий программное обеспечение согласно данному изобретению, не должен получать доступ и/или регистрироваться в какой-либо внешней местной сети изготовителя фотомаски для размещения заказа. Ниже приводится описание способа, с помощью которого программное обеспечение согласно дан- 16009013 ному изобретению связывает заданные правила с заданными шаблонами. В частности, поскольку шаблоны являются иерархическими совокупностями данных, то каждый элемент шаблона интерпретируется с помощью связанного объекта программного обеспечения. В предпочтительном варианте выполнения правила встроены внутрь объектов программного обеспечения и являются ответственными за сбор данных, вводимых в шаблоны. Эти правила являются ограничениями или командами, такими как алгоритм,и обычно относятся к одному или более атрибутам объекта программного обеспечения. В соответствии с этим, с помощью этой системы можно вводить полный и точный заказ на фотомаску, поскольку правила и шаблоны подходящим образом связываются друг с другом. Дополнительно к этому, система предпочтительно выполнена с возможностью обновления при необходимости по отдельности правил и шаблонов. При этом в качестве современного формата заказа на фотомаску известен стандартный формат SEMI P-10. Однако по мере технологического прогресса следует ожидать разработки нового стандартного формата, включающего достижения этого прогресса, который заменит текущий стандартный формат SEMI P-10. Дополнительно к этому, в настоящее время имеется много других международных стандартных форматов заказов, которые используются зарубежными изготовителями фотомасок. Также как в случае формата SEMI P-10, ожидается, что эти международные форматы также изменятся и будут со временем заменены. Таким образом, система согласно данному изобретению предоставляет возможность обновления правил и шаблонов в соответствии с этими изменениями. В частности, первый и второй наборы правил предпочтительно хранятся в виде отдельных файлов для каждого из шаблонов, которые в свою очередь также хранятся в виде отдельных файлов. За счет хранения правил и шаблонов по отдельности, любая модификация одного из них не затрагивает другого. При этом, когда модифицируются правила и шаблоны, то нет необходимости в изменении корреляционного кода с соответствующим элементом, где указывается отсутствие связи с помощью модификации соседних признаков. Дополнительно к этому, за счет отдельного хранения правил и шаблонов,можно исключить возможность возникновения заедания системы (например, когда неожиданные изменения встроенного или находящегося внутри элемента могут приводить к неожиданному отказу). При этом, если бы правила и шаблоны не хранились отдельно, не было бы возможности независимой модификации. Каждый из существующих шаблонов, которых может быть тысячи, если не больше, требовалось бы модифицировать по отдельности для включения новых правил. Таким образом, очевидно, что система и способ согласно данному изобретению не ограничиваются каким-либо конкретным стандартным форматом, а могут просто приспосабливаться в соответствии с требованиями любого современного или вновь разработанного стандартного заказа на фотомаски. Аналогичным образом, интерфейсный обработчик фотомаски может изменять свой собственный формат заказа для соответствия любым требованиям, связанным с вновь разрабатываемыми или улучшенными технологиями. Для модификации правил объекты программного обеспечения устанавливаются так, что содержащиеся в них правила могут влиять на один или более их атрибутов, их дочерние или другие правила, содержащиеся в них. Для этого правила устанавливаются так, что правила влияют лишь на определенные заданные атрибуты. Таким образом, поскольку объекты программного обеспечения подобно шаблонам являются иерархическими по природе, то они знают как своих родителей, так и своих дочерей. В соответствии с этим, при любой модификации дочернего объекта он уведомляет своего родителя зоны, правил или атрибутов, затронутых изменением. В результате, любое изменение, выполненное где-нибудь внутри иерархии правил, распространяется на все семейство. В соответствии с этим, правила имеют способность вынуждать добавление или удаление любого дочернего элемента родителя. Таким образом,внутри прикладной программы каждый объект можно по отдельности обновлять или расширять посредством последовательных редакций программного обеспечения. Дополнительно к этому, родители объекта сохраняют стандартную совокупность для каждого типа дочернего элемента, который можно добавить или удалить во время конструирования шаблона. Шаблоны можно также модифицировать в ответ на модификацию стандартного и/или собственного формата заказа на фотомаску, которая требует добавления новых атрибутов и/или подкомпонентов к иерархической структуре заказов или шаблонов. В таких случаях задаются новые соотношения для затронутых компонентов и/или подкомпонентов и динамично добавляются новые правила к схеме существующих правил. Для иллюстрации этих признаков данного изобретения ниже приводится описание следующего примера. Современный стандарт SEMI P-10 требует, чтобы заказ на фотомаску включал, среди прочего,следующее: заказ на маску [ ], комплект маски [ ], определение маски [ ] и определение рисунка [ ]. Таким образом, в соответствии с этим требованием необходимо устанавливать следующие шаблоны: шаблон заказа SEMI, шаблон комплекта SEMI, шаблон маски SEMI и шаблон рисунка SEMI. Дополнительно к этому, необходимо установить первый и второй наборы правил для каждого из этих шаблонов, которые диктуют, должны ли вводиться данные в каждый из шаблонов и тип данных, которые можно вводить в эти шаблоны. Однако в будущем стандарт SEMI P-10 может быть заменен новым стандартом, который требует наличие компонента критического размера. Таким образом, существующие шаблоны (например,шаблон рисунка SEMI) можно модифицировать для включения, например, компонента критического размера для соответствия метрологическому аспекту стандарта SEMI P-10. Дополнительно к этому,- 17009013 можно создать новый шаблон для соответствия любым вновь добавленным аспектам (например, регистрации) нового стандарта SEMI. Аналогичным образом, можно приспособить уже существующие первый и второй наборы правил к изменениям, связанным с модифицированным аспектом компонента критического размера текущего стандарта SEMI P-10. Дополнительно к этому, можно создать новые первый и второй наборы правил для соответствия новому признаку регистрации нового стандарта SEMI. Можно использовать также показатели спецификации в качестве механизма для простого обновления конкретного ввода данных, включенного в большое количество шаблонов, заказов, компонент, подкомпонентов и т.д. В частности, в одном варианте выполнения данного изобретения файл показателей спецификации может включать заданные данные или объекты, которые считаются желательными для будущих обновлений во многих шаблонах, заказах, компонентах, подкомпонентах и т.д. В этом случае различные заказы, шаблоны, компоненты, подкомпоненты и т.д. будут включать ссылку на файл показателей спецификации для заданных данных в нем, вместо хранения заданных данных. Таким образом, эти указанные ссылками заданные данные или объекты можно обновлять в большом количестве заказов,шаблонов, компонентов, подкомпонентов и т.д. посредством обновления лишь файла показателей спецификации, вместо обновления всех заказов, шаблонов, компонентов, подкомпонентов и т.д., ссылающихся на эти заданные данные или объекты. Например, показатель спецификации может включать стандартную ширину линии критических размеров (CD), которая считается приемлемой для конкретного интерфейсного обработчика фотомаски в данное время. По мере развития технологии фотомасок вероятно изменение допустимой ширины линии критических размеров. Вместо выполнения по отдельности обновления каждого заказа, шаблона, компонента, подкомпонента и т.д., которые задают конкретный критический размер, использование показателей спецификации позволяет обновлять лишь файл показателей спецификации, а затем все файлы, относящиеся к этому файлу показателей спецификации, обновляются автоматически. Другие примеры подходящих переменных для обеспечения показателей спецификации в контексте заказа на фотомаску включают допуски на размеры, связанные с атрибутами маски, которые должны выдерживаться изготовителем фотомаски, для обеспечения соответствия маски спецификациям интерфейсного обработчика фотомаски; допустимые нормы дефектов, связанные с атрибутами маски, которые необходимо выдерживать изготовителем фотомаски для соответствия спецификациям интерфейсного обработчика фотомаски; материалы (подложка, пленки), связанные с изготовлением фотомаски, которые должны соответствовать оплаченному уровню качества и ожидаются интерфейсным обработчиком фотомаски; бухгалтерская информация, включая информацию о ценах и выставления счетов и выполнения поставок; служебная информация интерфейсного обработчика фотомаски, такая как контактное имя и номер телефона; класс машин или специальных машин, необходимых для соответствия внутренним требованиям интерфейсного обработчика фотомаски, необходимым для изготовления фотомаски; информация о расположении литографического рисунка, включая, но не ограничиваясь этим, данные оттенка, экспонирование лучом,информацию о расположении в координатах X, Y; информацию о передаче данных, включая, но не ограничиваясь этим, адреса электронной почты, адреса протокола передачи файлов, протокол, идентификатор регистрации и пароль, структуру каталога; и специальная информация продавцов, связанная с сырьевыми материалами, используемыми при изготовлении фотомасок, включая, но, не ограничиваясь этим,подложки, пленки, компакты, резисты и уникальное оборудование, используемое при изготовлении, такое как "Applied Materials Alta 3500" или "KLA Starlight", чтобы назвать некоторые из них. Как указывалось выше, шаблон или заказ состоят из одного или более связанных объектов, таких как компоненты, подкомпоненты, данные и т.д. Например, фотомаска может иметь один или более связанных атрибутных объектов, таких как регистрация, названия, штриховые коды и т.д. В одном варианте выполнения данного изобретения, в котором используются показатели спецификации, может быть предусмотрена служебная программа для обеспечения конечному пользователю возможности создания одного или более уникальных данных или объектов, которые могут быть связаны с шаблоном или заказом. Эти объекты хранятся отдельно от связанных заказов или шаблонов. Кроме того, эти отдельно хранящиеся объекты могут иметь свои собственные наборы правил. Когда создается шаблон или заказ, то конечному пользователю может быть разрешено связывать шаблон или заказ с некоторыми или со всеми объектами, заданными в служебной программе. После создания шаблона, заказа или заказа, созданного из хранящегося шаблона, все объекты информации, хранящиеся в служебной программе, которые были связаны с шаблоном, заказом или шаблоном, использованным для создания шаблона, можно рассматривать как опорные данные и применять к шаблону, заказу или шаблону, использованному для создания шаблона. Опорные объекты информации можно обновлять или удалять на основе ролей и обязанностей, присвоенных конечному пользователю в модуле защиты прикладной программы. Например, менее опытному конечному пользователю может быть запрещена запись поверх опорных данных, хранящихся в служебной программе. С другой стороны, опытный пользователь может получить разрешение модифицировать опорные данные. Другим аспектом данного изобретения является то, что оно обеспечивает возможность создания новых заказов на фотомаски посредством (1) слияния данных в новый заказ из уже существующего шаблона, имеющего содержащиеся в нем данные; (2) слияния данных в новый заказ из уже существующего- 18009013 заказа, имеющего содержащиеся в нем данные; (3) слияния данных в новый заказ из уже существующих шаблонов и заказов; или (4) слияния данных в новый заказ из уже существующих заказов, шаблонов,компонентов и/или подкомпонентов. Для этого при каждом вводе пользователем данных в шаблон или при создании заказа, этот шаблон и/или заказ сохраняются в системе согласно данному изобретению. Кроме того, как указывалось выше, компоненты и подкомпоненты можно сохранять отдельно от заказа или шаблона в системе, согласно данному изобретению. После этого пользователь способен получать доступ к уже существующим шаблонам, заказам, компонентам и/или подкомпонентам, и использовать сохраненные в них данные для создания нового заказа. За счет обеспечения пользователю системы способности слияния данных из уже существующих заказов, шаблонов, компонентов и/или подкомпонентов, процесс ввода данных заказа на фотомаску сильно сокращается, что сокращает общее время, необходимое для изготовления заказа на фотомаску. Ниже приводится описание каждого из четырех способов слияния данных в заказ. В одном варианте выполнения для создания нового заказа из существующего шаблона (шаблонов),пользователь получает команды-подсказки на создание нового, чистого заказа. Затем пользователь получает возможность выбора шаблонов и/или заказов, которые были созданы и сохранены от предыдущего заказа на фотомаску. В зависимости от типа подлежащей изготовлению фотомаски на основе нового заказа, пользователь выбирает и загружает наиболее релевантный шаблон (шаблоны), хранящиеся в реляционной базе данных. Выбранный шаблон отображается для пользователя с ранее введенными данными. Для каждого не нулевого объекта внутри шаблона (например, объекта, содержащего данные) пользователь может либо выбрать ранее введенные данные для нового заказа, либо выполнить запись новых данных поверх этих данных. Дополнительно к этому, если конкретный объект внутри шаблона является нулем (например, он уже пуст), то пользователь может ввести подходящие данные внутрь этого объекта. Затем для этого заказа устанавливаются правила, как указывалось выше, для обеспечения точного и полного ввода данных. После этого программное обеспечение обрабатывает эту информацию и создает новый заказ, основанный на этой информации. Процесс создания нового заказа из уже существующего заказа аналогичен процессу создания нового заказа из уже существующего шаблона. В этом варианте выполнения для создания нового заказа из существующего заказа (заказов) пользователь получает команды-подсказки на создание нового, чистого заказа. Затем пользователь получает возможность выбора шаблонов и/или заказов, которые были созданы и сохранены от предыдущего заказа на фотомаску. В зависимости от типа подлежащей изготовлению фотомаски на основе нового заказа, пользователь выбирает и загружает наиболее релевантный заказ (заказы), хранящиеся в реляционной базе данных. Выбранный заказ отображается для пользователя с ранее введенными данными. Для каждого не нулевого объекта внутри шаблона пользователь может либо выбрать ранее введенные данные для нового заказа, либо выполнить запись новых данных поверх этих данных. Дополнительно к этому, если конкретный объект внутри заказа является нулем, то пользователь может ввести подходящие данные внутрь этого объекта. Затем для этого заказа устанавливаются правила, как указывалось выше, для обеспечения точного и полного ввода данных. После этого программное обеспечение обрабатывает эту информацию и создает новый заказ, основанный на этой информации. В еще одном варианте выполнения для создания нового заказа как из существующего шаблона(шаблонов), так и заказа (заказов) пользователь получает команды-подсказки на создание нового, чистого заказа. Затем пользователь получает возможность выбора шаблонов и/или заказов, которые были созданы и сохранены от предыдущего заказа на фотомаску. В зависимости от типа подлежащей изготовлению фотомаски на основе нового заказа, пользователь выбирает и загружает наиболее релевантный шаблон (шаблоны), хранящиеся в реляционной базе данных. Выбранный шаблон отображается для пользователя с ранее введенными данными. Для каждого не нулевого объекта внутри шаблона пользователь может либо выбрать ранее введенные данные для нового заказа, либо выполнить запись новых данных поверх этих данных. Дополнительно к этому, если конкретный объект внутри шаблона является нулем, то пользователь может ввести подходящие данные внутрь этого объекта. Затем для этого заказа устанавливаются правила, как указывалось выше, для обеспечения точного и полного ввода данных. Дополнительно к этому, ранее сохраненные заказы можно также сливать в тот же заказ. Для этого пользователь может выбрать и загрузить ранее размещенный заказ (заказы), хранящиеся в реляционной базе данных. Выбранный заказ отображается для пользователя с ранее введенными данными. Для каждого не нулевого объекта внутри шаблона (например, объекта, содержащего данные) пользователь может либо выбрать ранее введенные данные для нового заказа, либо выполнить запись новых данных поверх этих данных. Дополнительно к этому, если конкретный объект внутри заказа является нулем, то пользователь может ввести подходящие данные внутрь этого объекта. Затем для этого заказа устанавливаются правила, как указывалось выше, для обеспечения точного и полного ввода данных. После слияния подходящих шаблонов и заказов в новый заказ, программное обеспечение обрабатывает эту информацию и создает новый заказ, основанный на этой информации. Существующие компоненты и/или подкомпоненты предыдущего заказа или шаблона можно также импортировать в новый заказ на фотомаску или шаблон. Например, существующие компоненты и/или подкомпоненты, относящиеся к выставлению счетов и/или адресу поставки, можно применять к заказу- 19009013 или шаблону. Дополнительно к этому, одну или более показателей спецификации, заданных внутри прикладной программы, можно подвергать слиянию в новый заказ или шаблон. После ввода интерфейсным обработчиком фотомаски данных заказа с использованием программного обеспечения согласно первому аспекту данного изобретения и создания данных рисунка фотомаски,вторая прикладная программа программного обеспечения автоматически обрабатывает по меньшей мере часть этой информации в готовый к записи формат и готовый для инспекции формат. В одном варианте выполнения программное обеспечение для выполнения этой функции загружается в компьютерную систему интерфейсного обработчика фотомаски. После этого обработанная информация передается в файл данных во внешней удаленной компьютерной системе изготовителя для изготовления фотомаски. В частности, в одном варианте выполнения компьютерная система интерфейсного обработчика фотомаски включает сервер, в котором установлены как первый, так и второй компоненты программного обеспечения. Данные заказа, созданные интерфейсным обработчиком фотомаски, и данные рисунка, созданные интерфейсным обработчиком фотомаски, передаются в сервер. В предпочтительном варианте выполнения в сервере интерфейсного обработчика фотомаски содержится программное обеспечение синтаксического анализа для осуществления процесса после задания и выполнения двух базовых функций. Во-первых, программное обеспечение синтаксического анализа проверяет файлы, которые только что были переданы в сервер, и копирует их заданным образом (и если оно выполнено с возможностью осуществления этого) для предварительного задания каталогов рабочих данных. Во-вторых, программное обеспечение синтаксического анализа регистрирует все, что она выполняет, в контрольном журнале почтовых сообщений, которые оно затем посылает в любое число предварительно созданных почтовых адресов. Эти почтовые адреса можно программировать с возможностью изменения в зависимости от интерфейсного процессора фотомаски или средства, в котором происходит обработка. Это почтовое сообщение является как подтверждением приема для интерфейсного обработчика фотомаски, так и внутренним уведомлением, что произошла передача данных. В предпочтительном варианте выполнения данные рисунка направляются программным обеспечением синтаксического анализа в объединенный фонд памяти, соединенный с сервером протокола передачи файлов, и хранятся в нем для последующей обработки. В качестве альтернативного решения данные рисунка можно передавать через другие каналы, или они могут сохраняться в сервере протокола передачи файлов. Аналогичным образом, в предпочтительном варианте выполнения заказ направляется программным обеспечением синтаксического анализа в другой компьютерный сервер интерфейсного обработчика фотомаски (обрабатывающий сервер), который соединен непосредственно или дистанционно с помощью сетевого соединения с сервером протокола передачи файлов. В качестве альтернативного решения сервер протокола передачи файлов и обрабатывающий сервер могут быть одним и тем же компьютером. Обрабатывающий сервер содержит программное обеспечение (программное обеспечение SEMI) для обработки заказа, которое автоматически извлекает или синтаксически выделяет данные из заказа, подлежащего обработке и/или форматированию, для использования в оборудовании для изготовления. Эта обработка и/или форматирование могут происходить в том же компьютерном сервере, что и обрабатывающий сервер, или в других компьютерных серверах в сети интерфейсного обработчика фотомаски. В предпочтительном варианте выполнения вначале обработки этих данных программное обеспечение SEMI автоматически уведомляет лиц, которые связаны с изготовлением фотомаски, что заказ на фотомаску введен. Этот признак уведомления может запускаться автоматически, когда принимается спецификация SEMI. В частности, когда он вводится в действие, признак уведомления может автоматически создавать сообщение, отправляемое в распределительный список имен лиц, которые связаны с изготовлением фотомаски, в соответствии со спецификацией SEMI. Этот распределительный список можно создавать с использованием любых заданных критериев. В одном варианте выполнения распределительный список составляется в месте расположения обрабатывающего сервера, в котором установлено программное обеспечение SEMI. Таким образом, например, когда программное обеспечение SEMI установлено в обрабатывающем сервере, расположенном на предприятии в Сингапуре, то распределительный список будет содержать имена лишь лиц, расположенных на этом предприятии. И наоборот, если, например,программное обеспечение SEMI установлено в обрабатывающем сервере, расположенном на предприятии в Германии, то распределительный список будет содержать имена лишь лиц, расположенных на этом предприятии. После создания сообщения каждое лицо в распределительном списке получит уведомление, что заказ на фотомаску принят. Такие уведомления могут включать электронную почту, устройства тональной сигнализации, мобильные телефоны и т.д. Этот процесс автоматического уведомления может быть установлен в любом месте сети интерфейсного обработчика фотомаски и запускаться любой стадией обработки по желанию интерфейсного обработчика фотомаски. Этот пример не следует рассматривать как ограничивающий данное изобретение, а лишь как иллюстрирующий тип системы уведомления, которая может быть включена в данное изобретение. Затем обрабатывается спецификация SEMI. Для этого программное обеспечение SEMI может включать признаки, которые автоматически извлекают данные из спецификации SEMI, систематизируют извлеченные данные в соответствии с подлежащими выполнению задачами изготовления, и создают- 20009013 матрицу данных, в которой хранятся систематизированные данные. В предпочтительном варианте выполнения и как показано на фиг. 10, матрица данных включает информацию, идентифицирующую интерфейсный обработчик фотомаски (предприятие), производственные мощности для изготовления пластин интерфейсного обработчика фотомаски ("FAB"), осуществляемую технологию (технология),номер задания, информацию о конструкции фотомаски интерфейсного обработчика фотомаски (устройство), отчет о статусе изготовления фотомаски (статус), и дату заказа (принятый заказ и/или дату приема заказа (прием Р-10). Однако следует отметить, что предпочтительную матрицу данных можно легко модифицировать для добавления, при необходимости, дополнительных описательных категорий или, при желании, показа меньшего числа категорий. Кроме того, матрица данных может также включать более подробные подматрицы данных, которые связаны с любой из указанных выше категорий информации фотомаски. Например, подматрица данных может быть связана гиперсвязью с конкретным номером задачи. Эта подматрица данных может включать информацию, снабженную датой и временем, документирующую каждую стадию, выполняемую при изготовлении фотомаски. Дополнительно к этому, подматрица данных может быть связана гиперсвязью с категорией устройства. В предпочтительном варианте выполнения эта подматрица данных содержит данные, которые извлекаются из заказа и организуются для использования с множеством задач изготовления, которые необходимо выполнять при изготовлении фотомаски. Эти задачи изготовления включают, например, но не ограничиваясь этим, обработку пакета заданий (пакет заданий), обработку спецификации SEMI(SEMI), штриховое кодирование (штриховой код), создание файла регистрации мер ("REG MF2"),задание размеров данных ("Data S/R"), двойную проверку ("Double Chk"). Хотя это не показано, эта подматрица данных может также включать другие задачи изготовления, такие как например, дробление,проверку на координатной сетке, оптическую ближнюю коррекцию и маркировку. Как показано на фиг. 9, обрабатывающее программное обеспечение SEMI организует и обрабатывает извлеченные данные в соответствии с этими подлежащими выполнению задачами изготовления. Дополнительно к этому, эти подматрицы данных могут содержать другую информацию, включая, но не ограничиваясь этим, название кода для подлежащего выполнения на фотомаске рисунка ("Layer"), контрольный инвентарный номер изготовителя ("Plate ), порядок, в котором должна обрабатываться каждая фотомаска в соответствии с предпочтениями интерфейсного обработчика фотомаски ("Pri"), доклад о статусе фотомаски в процессе изготовления ("Layer Status"), и дату приема данных обрабатывающим программным обеспечением SEMI ("Data Rcd"). Ниже приводится описание способа организации данных в этой подматрице данных. Обработка пакета заданий относится к методу, с помощью которого команды передаются и обрабатываются литографическими инструментами (например, электронным пучком и лазерным лучом) и оборудованием инспекции (например, KLA или Orbot). В случае обработки пакета заданий для литографии, некоторые команды, которые должны записывать рисунок на бланк фотомаски, извлекаются из заказа и хранятся в подматрице данных, показанной на фиг. 10. Эти извлеченные команды пакета заданий затем обрабатываются программным обеспечением SEMI для использования в инструментах литографии. Эти команды указывают место на фотомаске, в котором должны быть расположены различные рисунки, а также другие функции, подлежащие выполнению конкретным инструментом, включая, но необязательно ограничиваясь этим, управление экспонированием, масштабирование рисунков и оттенки. В качестве альтернативного решения извлеченные команды пакета заданий можно модифицировать для учета другой информации, относящейся к конкретному интерфейсному обработчику фотомаски, его отделению или внутреннему участку изготовления и т.д., с целью создания подходящих команд для литографических инструментов или другого обрабатывающего оборудования. Например, команды пакета заданий могут быть рутинно модифицированы для конкретного центра изготовления интерфейсного обработчика фотомаски для учета того, что команды, обеспечиваемые таким интерфейсным обработчиком фотомаски,требуют поворота рисунка литографическими инструментами, что может быть занимающим много времени процессом по сравнению с поворотом рисунка при дроблении данных рисунка. Что касается обработки пакета заданий инспекции, то соответствующие спецификации извлекаются из заказа и организуются для использования оборудованием для инспекции. Извлекаемые спецификации для инспекционного оборудования должны быть организованы и форматированы так, чтобы инспекционное оборудование могло инспектировать обрабатываемую фотомаску на предмет дефектов (например,посредством сравнения данных с кристаллом) и загрязнений (т.е. чистоты). Согласование SEMI относится к процессу, с помощью которого заказ, предоставленный интерфейсным обработчиком фотомаски, автоматически модифицируется для включения дополнительных подробностей, повторного форматирования или организации по-другому и/или удаления посторонних подробностей. Для этого обрабатывающее программное обеспечение SEMI включает функции, с помощью которых оно может добавлять различную информацию к заказу. Например, деловые требования интерфейсного обработчика фотомаски, такие как предпочтительный адрес поставки, могут быть автоматически добавлены к заказу и сохраняться в программном обеспечении SEMI, как показано на фиг. 11. Аналогичным образом, к заказу можно добавлять информацию изготовления и сохранять в подматрице- 21009013 данных. Для этого программное обеспечение SEMI запрограммировано для регулирования некоторых данных (например, критические размеры, информация смещения, тип пленки) на основе различных обстоятельств (например, модификаций, основанных на особенностях оборудования изготовителя или специальных требованиях интерфейсного обработчика фотомаски), которые возникают в процессе изготовления и которые не были учтены интерфейсным обработчиком фотомаски или в заказе интерфейсного обработчика фотомаски. Дополнительно к этому, программное обеспечение SEMI автоматически создает команды для подсистемы дробления для дробления данных рисунка. Дробление является хорошо известным процессом, с помощью которого данные рисунка разделяются (т.е. подвергаются дроблению) на формы и сегменты,которые может воспринимать литографический инструмент. В предпочтительном варианте выполнения команды дробления могут создаваться в виде файла "cinc". В одном варианте выполнения используется программное обеспечение автоматизированного преобразования (CATS) для дробления данных рисунка и для их просмотра. CATS является коммерчески доступным программным обеспечением, которое моделирует схемы пакета заданий (например, размещение маски) с целью просмотра данных перед процессом изготовления. Однако следует отметить, что команды дробления можно создавать также с использованием другого программного обеспечения в других форматах. Команды дробления могут храниться в обрабатывающем сервере или в автономном отдельном фонде дисковой памяти. Сервер подсистемы дробления взаимодействует с обрабатывающим сервером или фондом дисковой памяти для считывания команд дробления и дробления данных рисунка. После дробления данных рисунка необходимо проверить целостность раздробленных данных. Процесс проверки включает любые известные или разработанные в будущем технологии, используемые в процессе обработки фотомаски. Кроме того, штриховое кодирование относится к процессу, с помощью которого на фотомаску наносятся штриховые коды. В частности, некоторые интерфейсные обработчики фотомаски могут иметь желание включить в свои фотомаски штриховой код для целей инвентарного отслеживания. Таким образом, когда интерфейсный обработчик фотомаски включает в заказ информацию для таких штриховых кодов, то обрабатывающее программное обеспечение SEMI извлекает эти данные, форматирует их и создает данные рисунка в виде, пригодном для литографических инструментов. Литографические инструменты направляются к данным штрихового кода рисунка с помощью команд литографического пакета заданий для записи штрихового кода на фотомаску. Процесс создания файлов мер регистрации относится к методу, с помощью которого создается файл, который содержит координаты, которые используются инспекционными инструментами для выравнивания фотомаски. Эти координаты можно совместно использовать для экспонирования изображения на полупроводнике. Информацию регистрации можно также использовать в процессе изготовления полупроводникового прибора для выравнивания фотомаски с полупроводниковой пластиной или другими слоями фотомаски. Программное обеспечение SEMI извлекает из заказа соответствующие данные для создания файла мер регистрации и форматирует эти данные для оборудования, которое выполняет процесс регистрационной инспекции. Для этого файлы регистрации могут быть в различных форматах,включая, но не ограничиваясь этим, .MF2 файлы, .MF3 файлы, файлы критических размеров и т.д. Процесс изменения размера данных и реверсирования относится к методу, с помощью которого модифицируется размер и данные оттенков рисунка для облегчения обработки фотомаски в процессе изготовления. Программное обеспечение SEMI извлекает соответствующую команду из заказа и создает команды дробления для операции изменения размера данных. Эти команды обычно хранятся в файле cinc. Статус выполнения этого процесса отслеживается в Data S/R на фиг. 9. В случае конструкции фотомаски в двоичном виде, программное обеспечение SEMI автоматически применяет смещение данных к данным рисунка для обеспечения градуса географической широты для учета перемещения подложки во время процесса изготовления фотомаски. Таким образом, любое перемещение, по существу, прозрачных и, по существу, непрозрачных элементов фотомаски учитывается так,что фотомаска изготавливается в соответствии со спецификациями конструкции. При применении смещения данных следует учитывать факторы, включающие, но не ограничиваясь этим, маркировку управления процессом, предприятие, на котором будет изготавливаться фотомаска (например, предприятие изготовителя фотомаски, предприятие интерфейсного обработчика фотомаски) и условия на этом предприятии, которые могут влиять на изготовление фотомаски (например, изменение размера, сдвиг, специальные оговорки, обновления названия рисунков, компоновка пакета заданий и загрузка названий рисунков в файл SEMI или файл MES). В случае конструкции фотомаски со сдвигом фазы (PSM), программное обеспечение SEMI автоматически применяет оптическую ближнюю коррекцию (ОРС) к данным рисунка для коррекции критического размера и изменений разрешения, которые обычно возникают в фазосдвигающих фотомасках (например, aaPSM, EAPSM) и аналогичных структурах с изменяющимся разрешением. Для этого программное обеспечение согласно данному изобретению применяет оптическую ближнюю коррекцию, которая модифицирует геометрическую форму конструкции маски для учета систематических искажений, вносимых во время изготовления.- 22009013 Дополнительно к этому, процесс маркировки управления изготовлением относится к признаку, который определяет подходящее производственное предприятие, на котором будет обрабатываться конкретный заказ интерфейсного обработчика фотомаски. Например, когда изготовитель фотомаски имеет предприятия в Германии и Сингапуре, то программное обеспечение SEMI анализирует заказ интерфейсного обработчика фотомаски и определяет, будет ли изготавливаться фотомаска в Германии или Сингапуре или в некоторой их комбинации. Признаки маркировки управления изготовлением могут быть установлены для выполнения этого определения на основе различных критериев, включая, но не ограничиваясь этим, литографические инструменты, используемые в каждом филиале изготовителя, предпочтения интерфейсного обработчика фотомаски и рабочую загрузку на каждом предприятии. Признак двойной проверки относится к процессу, который сравнивает точность данных рисунка,которые были изменены в размере, со спецификациями, предоставленными интерфейсным обработчиком фотомаски. Программное обеспечение SEMI извлекает данные из заказа и организует их для считывания оборудованием, которое выполняет этот признак двойной проверки. Проверка на сетке относится к процессу сравнения расположения данных рисунка в пакете заданий с внутренним расположением сетки литографического инструмента. Рисунок считается вне сетки, если конечная координатная точка расположения находится между точками внутренней сетки литографического инструмента. Другим признаком данного изобретения является признак автоматического составления сообщений, который запрограммирован для распознавания и сообщения об ошибках и других событиях (например, что процесс начат или закончен) членам указанного выше распределительного списка. Это признак можно использовать как было описано выше применительно к серверу протокола передачи файлов и обрабатывающему серверу. Дополнительно к этому, электронные диаграммы критических размеров (E-CD Plots) относятся к процессу, с помощью которого электронное изображение данных рисунка на обрабатываемой фотомаске маркируется внутренними опорными метками для процесса управления качеством. Для этого обрабатывающее программное обеспечение SEMI извлекает необходимые команды для диаграмм E-CD из заказа и обычно создает файл cinq для подсистемы дробления для использования при создании файлов диаграмм и сохранения их в фонде дисковой памяти. В зависимости от формата, в котором предоставлен заказ, некоторые или все задачи изготовления могут выполняться или не выполняться. Таким образом, любая из задач изготовления, перечисленных в матрице данных, может быть по выбору исключена. Способ организации данных для каждой из этих функций обработки изменяется в соответствии со спецификацией, предоставленной интерфейсным обработчиком фотомаски. Тем не менее, данные должны быть организованы так, чтобы можно было выполнять каждую из этих функций. Эта система включает также автоматизированную и интерактивную систему мониторинга, которая обеспечивает мгновенную идентификацию и уведомление о статусе любой задачи изготовления, а также об ошибках, обнаруженных при выполнении этих задач. Как показано на фиг. 9 и 10, в предпочтительном варианте выполнения эта интерактивная система мониторинга выполнена в виде Web-сайта в интрасети, к которому можно получить допуск с помощью защитной аутентификации, включая, но не ограничиваясь этим, пароль. В качестве альтернативного решения доступ к этому Web-сайту может быть обеспечен через глобальную гипертекстовую систему Интернет и/или другую сеть, посредством аутентификации или без нее. После входа в этот Web-сайт оператор может видеть статус каждой задачи изготовления. Если возникли ошибки, то оператор может остановить конкретную задачу изготовления, исправить ошибку и снова запустить процесс. Дополнительно к этому, в компьютере клиента может быть установлена система осуществления изготовления (MES), которая может быть связана через интерфейс с обрабатывающим сервером. СистемыMES хорошо известны из уровня техники и обеспечивают пользователю системы способность отслеживания процесса изготовления, создания информации выставления счетов и загрузки результатов указанных различных задач изготовления. Данное изобретение можно также использовать для соединения через интерфейс и автоматической передачи предварительно сформированных данных в любую систему MES, которая осуществляет стандартный или пользовательский протокол, включая, но, не ограничиваясь этим, XML, SOAP, ebXML,Rosetta Net или любой подобный протокол. Можно включать другие задачи, хотя они не показаны на фиг. 9, такие как определение процесса,которое является автоматизированным процессом выбора инструмента. В частности, в определении процесса задается конкретный блок или тип обрабатывающего оборудования, подлежащего использованию при изготовлении фотомаски (например, специальный литографический или инспекционный инструмент). Эта информация может задаваться либо интерфейсным обработчиком фотомаски или же в результате выбора сайта для выполнения конкретной задачи. После создания релевантных файлов данных с помощью релевантных признаков второго компонента программного обеспечения согласно данному изобретению в предпочтительном варианте выпол- 23009013 нения эти файлы данных сливаются в единственный файл. По выбору эти файлы можно сохранять в виде отдельных файлов или объединять в виде набора множества файлов. Файл данных должен включать по меньшей мере часть данных заказа и данные рисунка, которые выполнены, по существу, в готовом для записи формате и/или готовом для инспекции формате. Другими словами, файл данных должен быть выполнен в формате, который после приема изготовителем можно вводить в соответствующее оборудование изготовителя, по существу, для записи и инспекции фотомаски в соответствии со спецификациями интерфейсного обработчика фотомаски. Естественно, что может быть необходимо некоторое знание типа оборудования, используемого изготовителем, для обеспечения правильного формата данных для этого оборудования. Таким образом, при необходимости, интерфейсный обработчик фотомаски должен получать требования к оборудованию изготовителя (например, литографическим инструментам, инспекционному оборудованию и т.д.) от изготовителя и включать эту информацию в файл данных. В одном варианте выполнения это можно осуществлять посредством передачи интерфейсным обработчиком фотомаски электронного сигнала (например, электронной почты) изготовителю с указанием, что он вводит заказ,и с запросом информации, относящейся к производственному предприятию и соответствующему инструменту, подлежащему использованию для изготовления фотомаски. Изготовитель в свою очередь передает электронный сигнал интерфейсному обработчику фотомаски с этой информацией. Эти сигналы должны передаваться перед завершением ввода заказа на фотомаску. В одном варианте выполнения эти стадии выполняются с использованием сети обслуживания данными и способа, согласно данному изобретению. После составления файла данных интерфейсный обработчик фотомаски передает этот файл через сетевое соединение во внешнюю, удаленную систему изготовителя для изготовления. В одном варианте выполнения интерфейсный обработчик фотомаски электронно передает эту информацию изготовителю через основанную на TCP/IP сеть (например, Интернет) с использованием протокола передачи файлов(FTP). В данном изобретении можно использовать также другие протоколы, такие как синтаксический анализ соединения электронной почты или посредством загрузки файла из другого носителя информации. После получения системой изготовителя файла, изготовитель приступает к изготовлению фотомаски в соответствии с командами и спецификациями, содержащимися в нем. В некоторых случаях может быть необходимо для изготовителя выполнять некоторое дополнительное формирование этого файла после его приема. После этого фотомаску можно использовать для изготовления полупроводникового прибора с использованием указанных выше известных технологий. После представления и подробного описания предпочтительных вариантов выполнения данного изобретения для специалистов в данной области техники становятся очевидными различные его модификации и улучшения. Например, в предпочтительном варианте выполнения первый и второй компоненты программного обеспечения используются интерфейсным обработчиком фотомаски для ввода заказа на фотомаску и обработки по меньшей мере части этого заказа в, по существу, готовый для записи файл и/или, по существу, готовый для инспекции файл, которые в свою очередь передаются в удаленное предприятие изготовителя. Однако понятно, что данное изобретение можно модифицировать так, что первый компонент программного обеспечения используется интерфейсным процессором фотомаски интерфейсного обработчика фотомаски, при этом интерфейсный обработчик фотомаски передает заказ в процессор фотомаски, который в свою очередь обрабатывает заказ с использованием второго компонента программного обеспечения, согласно данному изобретению. В соответствии с этим, идею и объем данного изобретения следует понимать широко, и они ограничиваются лишь прилагаемой формулой изобретения, а не предшествующим описанием. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ 1. Способ обработки данных маски посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей прозрачные и непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски, содержащий стадии ввода данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы; ввода требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции; изменения размера данных конструкции для облегчения процесса перемещения прозрачных и непрозрачных элементов в фотомаске; дробления по меньшей мере части данных конструкции в готовый для записи формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; проверки целостности раздробленных данных конструкции; слияния двух или более наборов данных, созданных из одного или более следующих типов данных:- 24009013 формирования указанного набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски; и передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовителя, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. 2. Способ по п.1, дополнительно содержащий стадию дробления по меньшей мере части данных конструкции в готовый для инспекции формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски. 3. Способ по п.1, в котором указанная обработка для изготовления фотомаски содержит инспекционный пакет заданий. 4. Способ по п.1, в котором указанная обработка для изготовления фотомаски содержит литографический пакет заданий. 5. Способ по п.1, в котором указанная стадия изменения размера дополнительно содержит стадию маркировки для управления изготовлением. 6. Способ по п.1, в котором указанная стадия изменения размера дополнительно содержит стадию определения предприятия изготовления. 7. Способ по п.1, в котором указанная стадия изменения размера дополнительно содержит стадию определения смещения на основе предприятия изготовления. 8. Способ по п.1, в котором указанная стадия изменения размера дополнительно содержит стадию определения предприятия, изготавливающего фотомаску. 9. Способ по п.1, в котором указанная стадия изменения размера дополнительно содержит стадию формирования данных на основе фотомаски и предприятия клиента. 10. Способ по п.9, в котором указанная стадия формирования дополнительно содержит одну или более следующих стадий: (i) изменение размера данных; (ii) сдвиг данных; (iii) обеспечение специальных комментариев, относящихся к данным; (iv) обновление названия рисунка; (v) создание пакета заданий,загружающего названия рисунков в файл Международной ассоциации производителей полупроводникового оборудования и материалов (SEMI) и (vi) загрузка названий рисунков в файл системы осуществления изготовления (MES). 11. Способ по п.1, дополнительно содержащий стадию обработки по меньшей мере одного пакета заданий. 12. Способ по п.1, дополнительно содержащий стадии, выбранные из группы, состоящей из составления электронных критических размеров; формирования спецификаций SEMI; создания штрихового кода, идентифицирующего подлежащую изготовлению фотомаску; и маркировку указанных данных с идентификацией производственного предприятия, где указанная фотомаска подлежит изготовлению. 13. Способ по п.1, в котором указанная стадия маркировки основана на одном или более следующих критериях: типа литографических инструментов, используемых на производственном предприятии; предпочтения интерфейсного обработчика фотомаски; и рабочая загрузка каждого предприятия. 14. Способ по п.1, в котором указанные требования выполнены в промышленном формате для фотомасок. 15. Способ по п.14, в котором указанный промышленный формат является стандартом SEMI P-10. 16. Способ по п.1, в котором указанные требования выполнены в собственном формате. 17. Способ по п.16, в котором указанный собственный формат основан на системе конструирования интерфейсного обработчика фотомаски. 18. Способ по п.17, в котором указанный собственный формат основан на системе обработки изготовителя фотомаски. 19. Способ по п.1, в котором указанная стадия ввода требований управляется первым компонентом программного обеспечения, который содержит по меньшей мере один подкомпонент, выбранный из группы, состоящей из (1) шаблонов, в которые вводятся данные; (2) правил для преобразования введенных в шаблоны данных в заданный формат; (3) команд на использование шаблонов для создания заказа на фотомаску в заданном формате; (4) отдельного набора правил для проверки достоверности заказа на фотомаску относительно заданного формата; и (5) по меньшей мере одного уникального атрибутного объекта, связанного с шаблоном фотомаски или заказом. 20. Способ обработки данных маски посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей фазосдвигающие и непрозрачные элементы, в формат данных, пригодный для данной обработки для изготовления фотомаски, содержащий стадии ввода данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы; ввода требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции; применения оптической ближней коррекции для облегчения процесса перемещения фазосдвигающих и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для считывания- 25009013 формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; проверки целостности раздробленных данных конструкции; слияния двух или более наборов данных одного или более следующих типов данных: (i) введенных данных конструкции; (ii) данных конструкции с измененным размером; (iii) раздробленных данных и (iv) проверенных раздробленных данных; формирования набора данных для обеспечения совместимости с указанным процессом изготовления маски; и передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовителя, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. 21. Автоматизированная система для обработки данных конструкции посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей, по существу, прозрачные и, по существу, непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски, содержащая читаемый компьютером носитель информации, содержащий команды, при этом команды выполнены с возможностью исполнения в процессоре, способном выполнять следующие стадии: ввод данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы; ввод требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции; изменение размера данных конструкции для облегчения процесса перемещения, по существу, прозрачных и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; дробление по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для записи формат,совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; проверка целостности раздробленных данных конструкции; слияние двух или более наборов данных из одного или более следующих типов данных: (i) введенных данных конструкции; (ii) данных конструкции с измененным размером; (iii) раздробленных данных и (iv) проверенных раздробленных данных; формирование набора данных для обеспечения совместимости с заданным процессом изготовления маски и передача электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовления, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. 22. Автоматизированная система для обработки данных конструкции посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей прозрачные и непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски, содержащая по меньшей мере один сервер, содержащий память, первый компонент программного обеспечения и второй компонент программного обеспечения для обработки данных маски, при этом указанные данные, относящиеся к конструкции маски, сохраняются в указанной памяти,первый компонент программного обеспечения содержит команды, управляющие вводом пользователем данных требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции,второй компонент программного обеспечения содержит команды для синтаксического анализа данных рисунка маски и данных требований в формат, подходящий для изготовления, при этом второй компонент программного обеспечения содержит команды для выполнения следующих задач: (i) изменения размера данных конструкции для облегчения процесса перемещения, по существу, прозрачных и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; (ii) дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для записи формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; (iii) проверки целостности раздробленных данных конструкции; (iv) слияния двух или более наборов данных из одного или более следующих типов данных: (а) введенных данных конструкции; (b) данных конструкции с измененным размером; (с) раздробленных данных; и (d) проверенных раздробленных данных; (v) формирования набора данных для обеспечения совместимости с указанным процессом изготовления маски; и схемы для передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовителя, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. 23. Автоматизированная система для обработки данных конструкции посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей фазосдвигающие и непрозрачные элементы, в формат данных, пригодный для заданной обработки для изготовления фотомаски, содержащая читаемый компьютером носитель информации, содержащий команды, при этом команды выполнены с возможностью исполнения в процессоре, способном выполнять следующие стадии: ввод данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы;- 26009013 ввод требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции; применение оптической ближней коррекции для облегчения процесса перемещения фазосдвигающих и, по существу, непрозрачных элементов в фотомаске; дробление по меньшей мере части данных конструкции в готовый для считывания формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; проверка целостности раздробленных данных конструкции; слияние двух или более наборов данных одного или более следующих типов данных: (i) введенных данных конструкции; (ii) данных конструкции с измененным размером; (iii) раздробленных данных и (iv) проверенных раздробленных данных; формирование набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски и передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовителя, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски. 24. Автоматизированная система для обработки данных конструкции посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей фазосдвигающие и непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски, содержащая по меньшей мере один сервер, содержащий память, первый компонент программного обеспечения и второй компонент программного обеспечения для обработки данных маски, при этом указанные данные, относящиеся к конструкции маски, сохраняются в памяти,первый компонент программного обеспечения содержит команды, управляющие вводом пользователем данных требований для обработки заказа на фотомаску, выполненного в соответствии с данными конструкции,второй компонент программного обеспечения содержит команды для синтаксического анализа данных рисунка маски и данных требований в формат, подходящий для изготовления, при этом второй компонент программного обеспечения содержит команды для выполнения следующих задач: (i) изменения размера данных конструкции для облегчения процесса перемещения фазосдвигающих и, по существу,непрозрачных элементов в фотомаске; (ii) дробления по меньшей мере части данных конструкции, по существу, в готовый для записи формат, совместимый с заданной обработкой для изготовления фотомаски; (iii) проверки целостности раздробленных данных конструкции; (iv) слияния двух или более наборов данных из одного или более следующих типов данных: (а) введенных данных конструкции; (b) данных конструкции с измененным размером; (с) раздробленных данных и (d) проверенных раздробленных данных; (v) формирования набора данных для обеспечения совместимости с процессом изготовления маски; и схемы для передачи электронных сигналов, соответствующих сформированному набору данных, в удаленную систему изготовителя, связанную с заданной обработкой для изготовления фотомаски.