Проглер Кристофер Дж.

Комплексный интерфейсный способ и система для автоматического создания и обработки заказов на фотомаски

Загрузка...

Номер патента: 9013

Опубликовано: 26.10.2007

Авторы: Проглер Кристофер Дж., Саттайл Эдвард Дж.

МПК: G03F 9/00, G06F 17/50, G06F 19/00...

Метки: интерфейсный, создания, способ, обработки, комплексный, фотомаски, автоматического, система, заказов

Формула / Реферат:

1. Способ обработки данных маски посредством преобразования данных конструкции в виде файла данных конструкции электронной схемы для использования при изготовлении фотомаски, имеющей прозрачные и непрозрачные элементы, в формат данных, подходящий для заданной обработки для изготовления фотомаски, содержащий стадии ввода данных конструкции с использованием заданной формы данных конструкции электронной схемы; ввода требований для обработки заказа...