Жи Рене
Способ нанесения тонкого слоя и получаемый с использованием этого способа продукт
Номер патента: 17494
Опубликовано: 28.12.2012
Авторы: Надо Николя, Харченко Андрий, Жи Рене, Биллерт Ульрих
МПК: C03C 17/245, C03C 17/09, C03C 17/36...
Метки: способа, слоя, способ, использованием, нанесения, тонкого, продукт, этого, получаемый
Формула / Реферат:
1. Способ обработки по меньшей мере одного тонкого сплошного слоя, нанесенного на первую поверхность субстрата, с целью увеличения степени кристалличности упомянутого тонкого слоя, сохраняя его сплошным без осуществления плавления упомянутого тонкого слоя, отличающийся тем, что каждую точку по меньшей мере одного упомянутого тонкого слоя доводят до температуры, равной по меньшей мере 300°С, поддерживая температуру ниже или равной 150°С в любой...