C03C 17/09 — осаждением из газовой фазы
Способ нанесения тонкого слоя и получаемый с использованием этого способа продукт
Номер патента: 17494
Опубликовано: 28.12.2012
Авторы: Жи Рене, Биллерт Ульрих, Надо Николя, Харченко Андрий
МПК: C03C 17/36, C03C 17/09, C03C 17/245...
Метки: способ, продукт, получаемый, слоя, способа, использованием, нанесения, этого, тонкого
Формула / Реферат:
1. Способ обработки по меньшей мере одного тонкого сплошного слоя, нанесенного на первую поверхность субстрата, с целью увеличения степени кристалличности упомянутого тонкого слоя, сохраняя его сплошным без осуществления плавления упомянутого тонкого слоя, отличающийся тем, что каждую точку по меньшей мере одного упомянутого тонкого слоя доводят до температуры, равной по меньшей мере 300°С, поддерживая температуру ниже или равной 150°С в любой...