Насточкин Сергей Михайлович
Способ формирования тонких пленок cigs для солнечных батарей и устройство для его реализации
Номер патента: 20377
Опубликовано: 30.10.2014
Авторы: Хохлов Евгений Александрович, Ширипов Владимир Яковлевич, Насточкин Сергей Михайлович, Марышев Сергей Павлович
МПК: H01L 21/203, H01L 31/18
Метки: пленок, солнечных, тонких, устройство, способ, формирования, реализации, батарей
Формула / Реферат:
1. Способ формирования тонких пленок CIGS для солнечных батарей большого размера путем послойного нанесения в вакууме CIGS-пленки на подложку из листового стекла с предварительно нанесенным на нее слоем токопроводящего молибдена в вакуумном коридоре линии непрерывного действия, отличающийся тем, что материал наносят последовательными слоями методом реактивного распыления в парах элементарного селена с использованием последовательно расположенных...