Хинкл Джеймс Эрнст

Система и способ удаления пленки с внешних границ поверхностей плоских подложек

Загрузка...

Номер патента: 11698

Опубликовано: 28.04.2009

Автор: Хинкл Джеймс Эрнст

МПК: H01L 23/58

Метки: поверхностей, внешних, плоских, пленки, система, способ, границ, подложек, удаления

Формула / Реферат:

1. Система удаления пленки с множества периферийных участков поверхности практически плоской подложки, содержащая установку подачи, установку вывода, транспортный механизм возвратно-поступательного движения, размещенный между установкой подачи и установкой вывода и сконфигурированный так, чтобы транспортировать подложку из первой конечной позиции рядом с установкой подачи и второй конечной позиции на расстоянии от установки подачи, причем первая...