Хинкл Джеймс Эрнст
Система и способ удаления пленки с внешних границ поверхностей плоских подложек
Номер патента: 11698
Опубликовано: 28.04.2009
Автор: Хинкл Джеймс Эрнст
МПК: H01L 23/58
Метки: поверхностей, внешних, плоских, пленки, система, способ, границ, подложек, удаления
Формула / Реферат:
1. Система удаления пленки с множества периферийных участков поверхности практически плоской подложки, содержащая установку подачи, установку вывода, транспортный механизм возвратно-поступательного движения, размещенный между установкой подачи и установкой вывода и сконфигурированный так, чтобы транспортировать подложку из первой конечной позиции рядом с установкой подачи и второй конечной позиции на расстоянии от установки подачи, причем первая...