Фидлер Марио
Устройство и способ для обработки и/или нанесения покрытия на поверхности подложек методом вакуумного напыления
Номер патента: 23891
Опубликовано: 29.07.2016
Автор: Фидлер Марио
МПК: C23C 14/35, C23C 14/56
Метки: обработки, напыления, методоm, подложек, вакуумного, нанесения, покрытия, устройство, способ, поверхности
Формула / Реферат:
1. Устройство для обработки и/или нанесения покрытия на поверхности подложек методом вакуумного напыления, содержащее вакуумную камеру, в которой установлены несколько держателей (26) подложек, выполненных с возможностью приведения во вращение, по меньшей мере одно экранирующее приспособление (48, 50, 52, 54) и несколько блоков (12, 14, 16) обработки и/или нанесения покрытия, включающих по меньшей мере один из источника испарения, катода,...