Джи Джинджиа
Способ химической обработки поверхностей полупроводников и устройство для его выполнения
Номер патента: 18327
Опубликовано: 30.07.2013
Авторы: Джи Джинджиа, Кин Юсен, Ши Женрон
МПК: H01L 21/304
Метки: способ, химической, устройство, обработки, полупроводников, поверхностей, выполнения
Формула / Реферат:
1. Способ химической обработки нижней поверхности полупроводниковой подложки, включающий следующие стадии:размещение полупроводниковой подложки над химическим раствором в химическом резервуаре на поверхности вала, частично погруженного в раствор;подача струи химического раствора на нижнюю поверхность полупроводниковой подложки струйным аппаратом;перемещение подложки над поверхностью жидкости и дальнейшее смачивание нижней поверхности подложки за...