C23C 16/52 — управление или регулирование способа покрытия
Способ и устройство для контроля процесса покрытия методом осаждения
Номер патента: 23563
Опубликовано: 30.06.2016
Авторы: Тикканен Юха, Раяла Маркку
МПК: C03C 17/00, B05D 1/10, B05D 1/02...
Метки: методоm, покрытия, устройство, осаждения, контроля, способ, процесса
Формула / Реферат:
1. Способ контроля процесса покрытия методом осаждения из паровой фазы, при котором осуществляют мониторинг концентрации ультратонких частиц, включающий зарядку частиц и измерение электрического тока, возникающего вследствие движения заряженных частиц, и на основе этого мониторинга регулируют в режиме реального времени по меньшей мере один из параметров процесса, влияющих на образование частиц.2. Способ по п.1, в котором измерение электрического...