C23C 14/58 — последующая обработка
Способ нанесения тонкого слоя на подложку
Номер патента: 22598
Опубликовано: 29.01.2016
Авторы: Надо Николя, Дюрандо Анн, Харченко Андрий
МПК: C23C 14/58, C03C 17/00, C03C 17/245...
Метки: тонкого, нанесения, слоя, способ, подложку
Формула / Реферат:
1. Способ покрытия по меньшей мере части поверхности подложки по меньшей мере одним слоем из оксида металла М, содержащий следующие операции:наносят катодным напылением по меньшей мере на часть поверхности подложки по меньшей мере один материал, выбранный из металла М, нитрида металла М или карбида металла М, для получения на поверхности подложки промежуточного слоя, имеющего физическую толщину меньше или равную 20 нм,осуществляют термическую...