C23C 14/52 — средства наблюдения за процессом покрытия

Номер патента: 23563

Опубликовано: 30.06.2016

Авторы: Раяла Маркку, Тикканен Юха

МПК: B05D 1/10, C03C 17/00, B05D 1/02...

Метки: осаждения, устройство, способ, контроля, методоm, покрытия, процесса

Формула / Реферат:

1. Способ контроля процесса покрытия методом осаждения из паровой фазы, при котором осуществляют мониторинг концентрации ультратонких частиц, включающий зарядку частиц и измерение электрического тока, возникающего вследствие движения заряженных частиц, и на основе этого мониторинга регулируют в режиме реального времени по меньшей мере один из параметров процесса, влияющих на образование частиц.2. Способ по п.1, в котором измерение электрического...