Способ управления процессом электрохимической обработки

1 Область техники, к которой относится изобретение Настоящее изобретение относится к способу управления процессом электрохимической обработки электропроводной заготовки, как описано в преамбуле п.1. Изобретение также относится к системе для осуществления способа управления процессом электрохимической обработки, как описано в преамбуле п.30. Настоящее изобретение, кроме того, относится к способу электрохимической обработки электропроводной заготовки, как описано в преамбуле п.59. Уровень техники Электрохимическая обработка представляет собой процесс, в котором электропроводная заготовка растворяется в точке расположения электрода, когда подводится электролит и электрический ток. Для этой цели электрод располагается вблизи заготовки и, когда электролит вводится в зазор между заготовкой и электродом, ток пропускается через заготовку и электрод через электролит, при этом заготовка является положительной по отношению к электроду. Ток может подаваться в форме постоянного тока, в то время как поддерживается зазор, достаточный для пополнения электролита в это же время. Этот способ дает возможность получение высокой скорости удаления растворенного материала. Ток может также подводиться в форме импульсов, имеющих заданную амплитуду и длительность, при этом электролит пополняется в интервале между импульсами, осуществляющими обработку. Во время заполнения зазор между заготовкой и электродом постепенно делается большим, чем во время обработки. Малый зазор во время обработки дает возможность обработки с более высокой точностью. Во время приложения тока электрод и заготовка движутся навстречу друг другу с заданной скоростью подачи, в результате чего электрод формирует углубление, или, возможно, отверстие, в заготовке, форма этого углубления или отверстия соответствует форме электрода. Этот процесс может быть использован, например, для изготовления углублений или отверстий сложной формы в твердых металлах или в сплавах из них. Однако, на практике, могут возникнуть нежелательные для процесса условия, которые могут нарушить нормальную работу по обработке. Это может вызываться, например, генерацией искровых разрядов, которые могут происходить в зазоре. Такие искровые разряды могут вызывать повреждения электрода и заготовки. Другое нежелательное для процесса условие представляет собой наличие заполненных газом,пузырьков или пустот в зазоре для обработки,приводя к возникновению непроводящих областей в электролите. Это может вести к нежелательным и непредсказуемым шероховатостям поверхности заготовки. Эти заполненные газом 2 пузырьки могут возникать из-за повышения температуры или понижения давления вдоль канала для протекания жидкости. Если их образование вызывается повышением температуры,например, из-за прохождения тока, происходит кипение. Если их образование происходит из-за понижения давления, говорится, что происходит кавитация. Другим нежелательным для процесса условием является так называемое запирание,которое вызывается максимальной скоростью массового потока, определяемой областью наименьшего зазора. Дополнительным нежелательным для процесса условием является возникновение пассивирующего или непроводящего слоя на поверхности заготовки. Для предотвращения возникновения таких нежелательных для процесса условий, например, из публикации Международного патента номер WO 99/34949, документ D1 в списке упоминаемых документов, который можно найти в конце настоящего описания, известно измерение с помощью антенных средств высокочастотных электромагнитных волн, испускаемых из зазора. Они, как предполагается, являются указаниями на так называемые частичные разряды,которые, как предполагается, являются предшественниками искрового разряда. Однако, измерение электромагнитных волн чувствительно к возмущениям, присутствующим в промышленном окружении. Кроме того, никакой информации относительно наличия других нежелательных для процесса условий, как рассмотрено выше, не может быть извлечено из этой информации. Из публикации Международного патента номер WO 97/03781, документ D2 в списке упоминаемых документов, который может быть найден в конце настоящего описания, является известным анализ спектров сигналов, вызываемых приложенным током, с целью нахождения оптимальных пределов для приложения импульсов противоположной полярности с целью удаления пассивирующих слоев. Для этого, во время исследования, предшествующего обработке заготовки, амплитуда импульсов варьируется, и оптимальные пределы извлекаются из параметров, полученных в результате измерений, таких как появление абсолютного минимума напряжения в зазоре. Однако это исследование делает возможным отслеживать появление пассивации только во время самой обработки. Кроме того, если условия процесса значительно изменяются, например, параметры прикладываемого тока или потока электролита, исследование должно быть повторено. Сущность изобретения Как следствие, среди других вещей, в основу настоящего изобретения положена задача преодоления указанных выше неудобств. В частности, задачей настоящего изобретения является создание способа управления процессом электрохимической обработки, который позво 3 ляет отслеживать одно или несколько условий процесса и устанавливать один или несколько параметров процесса в порядке исключения нежелательных для процесса условий, в частности, поддерживать при этом постоянную ширину зазора. В соответствии с одним из своих аспектов, способ согласно настоящему изобретению характеризуется, как описанный в главной части п.1. Изменение условий процесса вызывает изменение измеряемого напряжения, присутствующего, например, в зазоре между электродом и заготовкой. Путем выбора такого периода измерения, чтобы изменение могло быть детектировано в пределах этого периода измерения,изменение может быть установлено как функция от времени или, кратко, функция формы,определяющая тип изменения в пределах периода измерения. Это функция формы может быть разложена на составляющие частотные компоненты или в частотный спектр. Путем использования информации, присутствующей в этом частотном спектре, указатели, связанные с несколькими условиями процесса, такими, например, как те, которые рассмотрены выше,могут быть получены во время процесса обработки. Обнаружено, что осуществление первого условия для процесса влияет только на конкретную часть спектра, в то время как второе условие для процесса влияет на любую из этих частей другим образом или влияет на другую часть. Поскольку информация может быть получена непрерывным образом, в ответ на нее, и процесс может регулироваться непрерывным образом. Более конкретно, обнаружено, что является преимущественным использование амплитуд частотных компонентов частотного спектра согласно способу по п.2. Следующий преимущественный способ представляет собой использование гармонической частоты спектра волн согласно способу по п.3. Гармонические частоты определяются здесь как целое число, умноженное на основную частоту, которая определяется длительностью периода измерения. Особенно низшие гармонические частоты, видимо, являются пригодными для определения условий процесса. Разложение функции формы в ряд Фурье с помощью хорошо известного преобразования Фурье, согласно способу по п.4, как обнаружено, является полезным в качестве практического математического воплощения. Хотя функция формы может быть разложена по нескольким элементарным функциям, каждая, с конкретной частотой, тригонометрические функции, такие как синус и косинус, видимо, являются наиболее пригодными для использования. Кроме того, замечено, что преобразование измеряемого напряжения из области времен в область частот таким же образом, как это делается с помощью указанного выше преобразования Фурье, не является единственным способом 4 для получения спектрального состава. Спектральная информация может также быть получена путем вычисления автокорреляционной временной функции как функции времени или путем использования соответствующего фильтрования частотных полос. Дополнительный преимущественный способ использует только знаки коэффициентов Фурье, согласно способу по п.5. Абсолютные значения могут изменяться в широкой степени,в то время как знаки, и особенно отношение знаков, как обнаружено, является более стабильным показателем условий процесса. Обнаружено, что первое условие для процесса, относительно низкая плотность тока, может быть связано с отсутствием коэффициентов Фурье, согласно способу по п.6. Следующее условие процесса, указывающее на присутствие заполненных газом пустот в электролите, может быть связано с присутствием коэффициентов Фурье с переменными знаками, согласно способу по п.7. Следующее условие процесса, указывающее на высокую плотность тока, может быть связано с присутствием ряда коэффициентов Фурье с одинаковыми знаками, согласно способу по п.8. Другой преимущественный способ получается путем учета частот, более высоких, чем определенные значения, и отслеживания только их изменений согласно способу по п.9. Это, как обнаружено, является указанием на приближение к условиям процесса, восприимчивым к электрическим разрядам в зазоре. Как обнаружено, особенно полезным является отслеживание скользящего среднего соответствующей амплитуды согласно способу по п.10. Обнаружено, что несколько параметров управления процессом могут быть установлены в ответ на появление изменяющихся ситуаций в процессе, для исключения нежелательных условий процесса. В частности, как обнаружено,является полезным изменение длительности приложения тока согласно способу по п.11. Периодическое приложение тока оказывает воздействие на ограничение нагрева электролита,и, следовательно, изменяет в процессе ситуацию с кипением или кавитацией. Особенно преимущественный способ получается тогда, когда во время периодического приложения тока электрод и заготовка перемещаются друг относительно друга путем гармонических колебаний или повторяющимся негармоническим способом согласно способу по п.12. Это позволяет увеличивать давление электролита в зазоре во время приложения тока. Как следствие, это ограничивает генерацию пузырьков в электролите. Приложение последовательности импульсов тока, когда присутствует малое расстояние между электродом и заготовкой, согласно спо 5 собу по п.13, имеет преимущество дополнительного уменьшения генерации пузырьков. Нежелательное для процесса условие характеризуется генерацией пассивированного слоя на заготовке, например, слоя оксида, который образует барьер между заготовкой и электролитом. Как следствие, преимущественный способ получается путем приложения импульсов тока противоположной полярности согласно способу по п.14. Это вызывает, как известно из документа D2 в списке упоминаемых ссылок,растворение пассивированного слоя. Дополнительная нежелательная ситуация для процесса может быть характеризована как отсутствие точности обработки. Полезным параметром для управления процессом для улучшения точности обработки является добавление пассивирующих импульсов согласно способу по п.15. Следующее нежелательное для процесса условие может возникать из-за отложения загрязняющих материалов на электроде. Это приводит к неточной обработке, поскольку расстояние между электродом и заготовкой может изменяться неопределенным способом, либо локально, либо в целом. В частности, в случае электролита, который используется в течение длительного времени, осаждение растворенных ионов металлов из растворенной заготовки может осуществляться в виде черного слоя по всей области инструмента в виде электрода. Это называется электрохимическим осаждением и может влиять на геометрические размеры. Другим загрязнением является осаждение слоя гидроксида вблизи отверстия для вытекания электролита в зазоре. Это влияет не только на геометрические размеры, но также и на величину потока электролита. Поэтому преимущественным параметром процесса является приложение импульсов для очистки электрода согласно способу по п.16. Следующее конкретное воплощение получается в способе, где заготовка и электрод приводятся в контакт друг с другом в порядке калибровки взаимного расположения. Путем приложения импульсов для очистки электрода непосредственно перед этим действием, согласно способу по п.17, получается точная калибровка. В способе, где электрод и заготовка перемешаются друг относительно друга периодическим образом, и импульсы тока прикладываются, когда расстояние между ними является малым, точность обработки может быть высокой,благодаря возможности получения малых расстояний, но производительность является низкой из-за медленного протекания электролита. Полезным для установки параметра управления процессом является длительность периодов импульсов, согласно способу по п.18. Обнаружено,что уменьшение периода импульса может увеличить величину тока, которая может быть приложена. 6 Полезное значение уменьшенного периода импульса получается согласно способу по п.19. Время, необходимое для генерации зародышей,предшествующих образованию газовых пузырьков, таких, например, как газообразного водорода, является практическим критерием для определения уменьшения периода импульса. Это является полезным, когда используются более высокие плотности тока, как правило, приводящие к образованию пузырьков, заполненных газом. При таких исключительно коротких импульсах, не остается времени для образования пузырьков. Хотя конкретные значения могут зависеть от конкретных обстоятельств, первое воплощение настоящего способа использует значения согласно способу по п.20. Важной характеристикой таких исключительно коротких импульсов является крутизна переднего фронта прямоугольного импульса,которая должна иметь значения согласно способу по п.21. В процессе, где периодически прикладываются импульсы электрического тока, промежутки между импульсами предпочтительно должны выбираться согласно способу по п.22, с конкретными значениями согласно способу по п.23. В процессе, где электрод и заготовка движутся друг относительно друга в колебательном движении, и ток прикладывается периодически,когда расстояние между ними обоими является малым, дополнительным преимущественным параметром управления процессом является относительный сдвиг фазы между движением и стартом приложения тока, согласно способу по п.25. В этом же процессе, это также является верным для случая давления в электролите, согласно способу по п.26, и для относительной скорости обработки, согласно способу по п.27. В процессе, когда ток прикладывается в импульсах, обнаружено, что преимущественно нужно брать период импульса, по существу равный периоду измерения, согласно способу по п.28. В таком процессе, условия процесса не являются стабильными за период импульса, что ведет к значительному и информативному изменению значений напряжения в течение периода импульса. В процессе, где ток прикладывается по существу непрерывно, преимущественный способ получается путем селективного выбора периода измерения, согласно способу по п.29. Хотя, как правило, такой процесс должен иметь стабильные условия процесса, и поэтому не может детектироваться никаких значительных изменений измеряемого напряжения, некоторые отклонения от него могут детектироваться, такие как те, которые происходят на старте, или возмущения во время процесса, и/или при достижении конца обработки. 7 Далее, управление некоторыми из рассмотренных ранее параметров управления процесса, видимо, является особенно полезным,либо по одному, либо в сочетании, в порядке исключения нежелательных условий процесса. Дальнейшие преимущественные аспекты настоящего изобретения, относящиеся к системе для электрохимической обработки, заявлены в независимом п.30 и зависимых пп.31-58. Следующие преимущества, относящиеся к способу электрохимической обработки, заявлены в независимом п.59. Перечень фигур чертежей Эти и другие аспекты и преимущества настоящего изобретения станут понятными и будут приведены более подробно далее со ссылками на описание предпочтительных воплощений, и, особенно, со ссылками на прилагаемые фигуры, в которых фиг. 1 иллюстрирует схематически систему для электрохимической обработки, предназначенную для осуществления способа по настоящему изобретению; фиг. 2 демонстрирует схематически схему управления для управления системой на фиг. 1 в соответствии со способом по настоящему изобретению; фиг. 3 демонстрирует воплощение цепи электропитания, предназначенной для использования в управляющей схеме на фиг. 2; фиг. 4 иллюстрирует способ электрохимической обработки; фиг. 5 иллюстрирует другой способ электрохимической обработки; фиг. 6 иллюстрирует следующий способ электрохимической обработки; фиг. 7 демонстрирует характерные примеры напряжений, измеренных в течение заданного периода измерения, вызванных приложением тока к электрохимической ячейке; фиг. 8 демонстрирует первое воплощение способа в соответствии с настоящим изобретением для определения характерного спектра сигналов измеряемого напряжения, такого как представлен на фиг. 7, и извлечение из него спектральной информации; фиг. 9 иллюстрирует способ на фиг. 8; фиг. 10 демонстрирует пример спектральной информации, полученной с помощью способа, описанного со ссылками на фиг. 8 и 9; фиг. 11 демонстрирует первый пример связи конкретных условий процесса со спектральной информацией, в соответствии с воплощением настоящего изобретения; фиг. 12 демонстрирует другое воплощение способа согласно настоящему изобретению для извлечения спектральной информации; фиг. 13 демонстрирует воплощение узла управления для осуществления способа по настоящему изобретению; фиг. 14-18 представляют несколько способов согласно настоящему изобретению для 8 управления процессом электрохимической обработки; фиг. 19 демонстрирует пример коэффициентов Фурье Сk, соответствующих условиям процесса типа I, как функции размера зазора S и минимального приложенного напряжения Umin; фиг. 20 демонстрирует пример коэффициентов Фурье Сk, соответствующих условиям процесса типа II, как функции давления электролита Pin,фиг. 21 демонстрирует пример коэффициентов Фурье Сk, соответствующих условиям процесса типа III, как функции размера зазора S,и фиг. 22 демонстрирует другой пример согласно настоящему изобретению для управления процессом электрохимической обработки. Сведения, подтверждающие возможность осуществления изобретения Фиг. 1 схематически иллюстрирует систему для электрохимической обработки заготовки 1. Заготовка 1 располагается на столике 2, который перемещается со скоростью подачи VI, посредством первых средств 4 позиционирования,по направлению к инструменту в виде электрода 3. Заготовка 1, инструмент в виде электрода 3 и столик 2 являются электропроводными. Инструмент в виде электрода 3 может перемещаться по отношению к заготовке 1 со скоростью подачи электрода V2 посредством вторых средств 5 позиционирования. Вторые средства 5 позиционирования могут вызывать осуществление колебательного движения инструмента в виде электрода 3, такое как гармоническое движение или негармоническое периодическое движение по отношению к заготовке 1. Это может осуществляться посредством,например, привода на основе кривошипа, который приводится в действие посредством мотора или с помощью гидравлических средств. Первые средства 4 позиционирования могут содержать средства для линейного перемещения, содержащие червячный привод. Первые средства 4 позиционирования управляются с помощью первого сигнала S1 управления позиционированием, в то время как вторые средства 5 позиционирования контролируются с помощью второго сигнала S2 управления позиционированием. Заготовка 1 может быть изготовлена, например, из твердого металла, такого как титан,или сплава, например, хромированной стали. Электролит 18, например, водный раствор нитратов щелочных металлов, протекает в зазоре 6 между заготовкой 1 и инструментом в виде электрода 3 и циркулирует при входном давлении Pin и выходном давлении Pout из резервуара, на фигуре не показан, с помощью соответствующих средств 7 для циркулирования, использующих насос. Инструмент в виде электрода 3 и столик 2 присоединены к схеме 8 управления,содержащей источник электропитания, который индуцирует электрический ток между инстру 9 ментом в виде электрода 3 и столиком 2 через электролит 18. Индуцированный электрический ток может быть постоянным или пульсирующим. Нормальная полярность является такой,что столик 2, и как следствие, заготовка 1, является положительной по отношению к инструменту в виде электрода 3. Во время импульсов тока нормальной полярности металл заготовки 1 растворяется в электролите. Положение столика 2 измеряется с помощью средств 9 датчика положения, который подает соответствующий сигнал Z положения в схему 8 управления. Часть системы, представленной на фиг. 1, за исключением схемы 8 управления, далее будет обозначаться как узел 10 электрохимической обработки. Фиг. 2 схематически демонстрирует более подробно воплощение схемы 8 управления на фиг. 1. Схема 8 управления разделяется на узел 11 электропитания, узел 12 управления, средства 13 контроля и средства 14 ручного управления. Узел 11 электропитания генерирует требуемый электрический ток I или напряжение V,которое прикладывается к узлу 10 электрохимической обработки. Узел 11 электропитания может содержать несколько подузлов электропитания, не показанных на фигуре, для генерации либо постоянного тока, либо нескольких типов импульсного тока. Можно заметить, что подузлы электропитания не должны обязательно быть интегрированы в один узел, но могут быть расположены в виде системы работающих совместно независимых подузлов. Узел 12 управления управляет работой узла 11 электропитания с помощью сигналов SEL1, SEL 2, СI1, CI2 управления электропитанием, в соответствии с используемым способом управления и с полученными сигналами Um, Z, Р.измерений от узла 10 электрохимической обработки. Средства 13 контроля могут содержать простые визуальные индикаторы, измерительные устройства или общие средства визуального отображения. Средства 14 ручного управления используются оператором и могут содержать простые средства переключения, а также общую клавиатуру. Далее, можно заметить, что узел 12 управления может состоять, либо частично, либо целиком,из соответствующего аппаратного обеспечения с конкретными функциями или из компьютера общего назначения, где загружена соответствующая программа. Фиг. 3 демонстрирует более подробно воплощение узла 11 электропитания на фиг. 2 для осуществления способа по настоящему изобретению. Узел 11 электропитания содержит источник 15 постоянного тока, который подает постоянный ток, амплитуда которого контролируется сигналом СI1 управления, через интерфейс 16, который может быть образован, например, цифро-аналоговыми преобразователями. Сигнал СI1 управления генерируется узлом 12 управления. Отрицательный выход источни 005146 10 ка 15 тока соединяется с инструментом в виде электрода 3 через необязательную схему 17 измерения тока. Это схема 17 измерения тока, которая может содержать единственное электрическое сопротивление, соединенное последовательно, используется для получения измеряемого напряжения Uml, которое является показателем тока, приложенного к узлу 10 электрохимической обработки. Положительный выход источника 15 постоянного тока присоединен к средствам 19 переключения, которые управляются с помощью селективного сигнала SEL1,генерируемого узлом 12 управления. Напряжение Um2, измеренное между выходными клеммами 20 и 21 источника мощности, измеряется с помощью схемы 22 измерения напряжения. Можно заметить, что узел 17 для измерения тока и/или узел 22 для измерения напряжения могут быть воплощены в виде отдельного измерительного узла 23, расположенного отдельно от узла 11 электропитания, но вблизи узла 10 электрохимической обработки. Узел 11 электропитания дополнительно содержит источник 23 постоянного напряжения для подачи постоянного напряжения к узлу 10 электрохимической обработки. Амплитуда напряжения, генерируемого постоянным источником 23 напряжения, управляется с помощью управляющего сигнала CUI через интерфейс 24. Выходная клемма 23 источника постоянного напряжения соединена со средствами 25 переключения, которые управляются с помощью селективного сигнала SEL2. Сигнал CUI управления и селективный сигнал SEL2 генерируются узлом 12 управления. Как будет объясняться более подробно ниже, дополнительное напряжение, которое может быть противоположной полярности, может быть приложено с преимуществами к узлу 10 электрохимической обработки. Альтернативно, источник 26 импульсного тока присутствует для подачи тока в виде последовательностей импульсов. Источник 26 импульсного тока управляется сигналом CI2 управления через интерфейс 27. Можно заметить, что подвергаться управлению может не только амплитуда подаваемого тока, но и амплитуда импульса как функция времени. Источник 26 импульсного тока может быть присоединен к узлу 10 электрохимической обработки с помощью средств 28 переключения, которые управляются селективным сигналом SEL3. Можно заметить, что для генерации импульсного тока требуется специальная схема, из-за требований к форме импульса и продолжительности импульса. Хотя примеры будут приведены ниже, типичные периоды импульсов могут быть выражены как 1-100 мс. Наконец, специальный источник 29 импульсного тока присутствует для генерации тока во время исключительно коротких периодов, в пределах от 10 до 100 мкс, с исключительно 11 крутым передним фронтом импульса, приблизительно 0,5 мкс. Специальный источник 29 импульсного тока управляется сигналом CI2 управления через интерфейс 30 и выбирается с помощью селективного сигнала SEL4, который управляет средствами 31 переключения. Кривая I на фиг. 4 представляет изменение размера S(t) зазора 6 между заготовкой 1 и инструментом в виде электрода 3 во время приложения постоянного тока. Кривые II и III на фиг. 4 демонстрируют изменение измеряемого напряжения Um поперек зазора 6 и тока Is, приложенного к зазору 6, соответственно, на практике, во время процесса электрохимической обработки, зазор 6 поддерживается по существу постоянным путем выбора скорости подачи VI столика 2, равной скорости, с которой растворяется металл заготовки 1. Однако, могут происходить небольшие изменения размера S(t), такие, которые указаны, в качестве примера с помощью кривой I. Изменения могут вызываться изменениями условий процесса, такими как изменение характеристик поверхности заготовки 1 или загрязнением инструмента в виде электрода 3 или электролита 18. Эти изменения размераS(t) могут приводить к изменениям измеряемого напряжения Um в течение периода измерения Тm, как показано с помощью кривой III. Например, уменьшение размера S(t) может приводить к уменьшению напряжения Um, из-за меньшего сопротивления, образуемого меньшим количеством электролита 18 в зазоре 6. Кривая I на фиг. 5 представляет изменение размера S(t) зазора 6 между заготовкой 1 и инструментом в виде электрода 3 во время колебательного движения друг относительно друга, с максимальным размером Smax и минимальным размером Smin, и с приложением импульсного тока Is, согласно кривой II. Кривая III представляет измеряемое напряжение Um поперек зазора 6. Если не прикладывается никакого тока Is,отсутствует и напряжение Um. Однако, когда ток Is с амплитудой Isl прикладывается, измеряемое напряжение Um быстро растет. Расстояние S(t) на начальной стадии является сравнительно большим, и поток электролита может быть турбулентным и содержать пузырьки паров и газов. Поэтому сопротивление зазора 6 является относительно высоким, что видно из первого максимума Um2 измеряемого напряжения Um на кривой II. В результате приближения инструмента в виде электрода 3, давление в электролите 18 возрастает, вызывая растворение пузырьков паров и газов, так что электролит 18 в зазоре является гомогенным и однородным, и с помощью малого размера зазора может быть достигнута высокая плотность тока. Как следствие, электрическое сопротивление уменьшается,как видно по появлению локального минимума напряжения Um на кривой II. В результате увеличения расстояния S(t) и возобновления образования пузырьков паров и газов, электрическое 12 сопротивление опять увеличивается, приводя ко второму максимуму Um2 напряжения Um. Прикладываемая электрическая мощность может быть настолько большой, что электролит начинает интенсивно кипеть, что приводит к образованию дополнительных пузырьков в зазоре 6. Это приводит к временному увеличению электрического сопротивления электролита 18, что само по себе проявляется как локальный максимум Um1 напряжения Um. Такой процесс электрохимической обработки, например, описан более подробно в документе D2 из списка упоминаемых документов, которые можно найти в конце настоящего описания, и который является включенным в качестве ссылки. Типичная плотность тока импульсов тока нормальной полярности равна 100 а/см 2, длина периода импульса, 3 мс, и частота колебаний, около 50 Гц. Амплитуда колебаний может составлять 0,2 мм. Кривая I на фиг. 6 представляет изменение размера S(t) зазора 6 между заготовкой 1 и инструментом в виде электрода 3, во время периодического движения друг относительно друга с максимальным размером Smax и минимальным рабочим расстоянием Smin. Перед установлением рабочего расстояния Smin, расстояние S(t) уменьшается до тех пор, пока заготовка 1 и инструмент в виде электрода 3 не придут в контакт друг с другом. Путем отслеживания напряжения Um может быть определено точное нулевое расстояние S(t), и, как следствие, может быть точно установлено рабочее расстояниеSmin. Типичное рабочее расстояние может быть меньшим, чем 50 мкм. После того, как установлено рабочее расстояние Smin, прикладывается последовательность импульсов тока, как иллюстрируется с помощью кривой II на фиг. 6. После приложения этой последовательности импульсов, зазор увеличивается до размера Smax,чтобы сделать возможным обновление электролита, поскольку электролит 18 быстро насыщается из-за недостаточной скорости потока во время обработки. Кривая III на фиг. 6 представляет увеличенный вид изменения напряженияUm, вызванного импульсом тока, в течение периода измерения Тm. Более детальное описание этого процесса электрохимической обработки описывается более подробно в документе D3 из списка упоминаемых документов, который может быть найден в конце настоящего описания,и который включается в качестве ссылки. Как уже иллюстрировалось со ссылками на фиг. 4-6, измеряемое напряжение Um в зазоре,вызванное протеканием тока через зазор, демонстрирует значительные отклонения по отношению к амплитуде Um как функции времениt. Фиг. 7 демонстрирует некоторые характерные примеры измеряемых напряжений Um в течение заданного периода измерения Тm, вызванных приложением тока к электрохимической ячейке. Кривая I иллюстрирует пример, который может 13 осуществиться во время приложения импульсов тока в сочетании с колебательным движением,как иллюстрируется со ссылкой на фиг. 5. Можно заметить, что представлено только напряжение Um в пределах периода измерения Тm,меньшего, чем период импульса, оставляя без внимания менее информативные части измеряемого напряжения. Как правило, один локальный минимум присутствует приблизительно при наименьшем мгновенном размере S(t) зазора 6. В конце напряжение Um увеличивается из-за увеличения размера S(t). Кривая II иллюстрирует пример с различными условиями процесса, характеризуется появлением локального максимума из-за неоднородности электролита, вызывающей генерирование пузырьков изза высокой плотности тока. Кривая III дает пример, иллюстрирующий еще худшие условия процесса, характеризуемые появлением локальных максимумов. В случае приложения импульсов тока при постоянном размере S(t) зазора 6, как иллюстрируется со ссылкой на фиг. 6, возможная длительность импульса может быть характерным указателем условий процесса. Например, кривые IV, V и VI иллюстрируют различные длительности измеряемого напряжения Um. Можно заметить, что соответствующие импульсы тока,которые генерируются с помощью узла 11 электропитания, могут все иметь один и тот же период импульса. Только из-за быстрого увеличения электрического сопротивления во время приложения импульса тока, прилагаемый ток не может поддерживаться в зазоре 6, и измеряемое напряжение Um уменьшается. Кривые VII, VIII, IX иллюстрируют примеры различных значений крутизны переднего фронта измеряемого напряжения Um, когда прикладываются импульсы тока с исключительно короткой длительностью. Например, благоприятные условия процесса могут быть получены с помощью быстрого увеличения измеряемого напряжения Um, поскольку в этом случае остается меньше времени для генерации пузырьков в электролите 18. Кривые X, XI и XII иллюстрируют типичные примеры измеряемого напряжения Um, которое может иметь место, когда прикладывается по существу постоянный ток, как объясняется со ссылкой на фиг. 4. Период Тm измерения выбирается таким образом, что со временем могут детектироваться значительные изменения в условиях процесса. Например, с помощью кривой XI, иллюстрируются стабильные условия процесса, а с помощью кривой XII иллюстрируются изменяющиеся условия процесса, вызванные, например, изменением композиции электролита 18 или изменением потока электролита. Кривая X иллюстрирует условия процесса с увеличением шума измеряемого напряженияUm. Это может быть указателем на условия, 005146 14 близкие к короткому замыканию, вызываемые локальными разрядами. Можно заметить, что приведенные выше примеры являются только иллюстрациями типичных эффектов. Другие эффекты, сами по себе или в сочетании, могут приводить к разнообразным измеряемым формам. Дальше объясняется, как количественно оценивать информацию, содержащуюся в измеряемом напряжении Um, в соответствии с настоящим изобретением, в порядке того, чтобы она использовалась в качестве параметра управления в способе управления процессом электрохимической обработки, либо вручную, либо автоматически. Фиг. 8 демонстрирует первое воплощение такого способа, согласно настоящему изобретению для определения характерного спектра измеряемого напряжения Um, такого как те, которые показаны на фиг. 7. Соответствующие шаги будут объясняться со ссылками на фиг. 9, которая представляет промежуточные результаты количественной оценки. Способ будет объясняться со ссылками на измеряемое напряжениеUm как функцию времени t, как показано на кривой I на фиг. 9. Эта кривая I может быть вызвана импульсом тока, приложенным во время колебательного движения инструмента в виде электрода 3 и заготовки 1 друг относительно друга, согласно процессу электрохимической обработки, как иллюстрируется со ссылкой на фиг. 5. Период Тm измерения выбирается равным периоду импульса, эта информация может быть получена от узла 11 электропитания. Можно заметить, что, хотя изображенные кривые выглядят сплошными, на практике будут использоваться дискретизированные и преобразованные в цифровую форму точки кривых. Предпочтительно, таблица дискретизированных значений Ui (Ti) как функции от моментов времени Ti используется для характеризации измеряемого напряжения Um как функции от времени t. Это осуществляется с помощью стадии 31 дискретизации. Впоследствии, из этой таблицы исключаются значения, соответствующие начальному и конечному участкам измеряемого дискретизированного напряжения Us (t), которые получаются во время переходного процесса в узле 11 электропитания. Это делается на стадии 32 обрезания, где начальный участок Та и конечный участок Те, соответствующие переходному процессу, исключаются из периода Тm измерения с получением корректированного периода Тm' измерения. Информация относительно размера этих участков Те и Та может быть получена либо от узла 11 электропитания, либо может быть получена путем анализа измеряемых образцов. Альтернативно, размер Те и Та может быть определен заранее. Далее, период Тm измерения может быть заранее выбран таким образом, чтобы исключить переходные участки с самого 15 начала. Полученная в результате дискретизированная форма Us(t) после обрезания представлена как кривая II на фиг. 9. Затем на стадии 33 линеаризации линейная функция Ulin(t) получается из образцов Us, определенных таким образом. Линейная функцияUlin(t) характеризуется значениями Ua и Ue измеряемого дискретизированного напряжения Ui в начале и в конце, соответственно, дискретных значений Us, полученных после обрезания, и описывается какUlin(t) = Ua + ( (Ue-Ua)/T)t [1] где Т = Tm'. Кривая III на фиг. 9 представляет пример такой линейной функции Ulin(t). Затем, на стадии 34 вычитания, линейная функция Ulin (t) вычитается из дискретизированной функции Us(t) с получением дифференциальной функции Ud согласно уравнению:[2] Полученная в результате дифференциальная функция Ud (t) представлена как кривая IV на фиг. 9. Затем, на стадии 35 сглаживания гладкая непрерывная функция U (t) формируется с помощью сопряжения дифференциальной функции Ud (t). Это осуществляется путем симметричного отражения дифференциальной функцииUd(t) по отношению к горизонтальным и вертикальным осям, как показано в виде кривой V на фиг. 9. Полученная гладкая функция U(t) представляет собой периодическую нечетную функцию, которая имеет непрерывную первую производную. Затем на стадии 36 разложения функцияU (t) раскладывается в ряд Фурье с коэффициентами Фурье Сk и с соответствующими амплитудами Аk. Поскольку функция U (t) является нечетной функцией, все коэффициенты при косинусах будут равны нулю. Разложение, таким образом, производится только с помощью коэффициентов при синусах. Типичный результат такого разложения представлен на фиг. 10. Здесь представлены амплитуды Аk соответствующих коэффициентов Фурье Сk. Как повсеместно известно, коэффициенты Фурье Сk представляют собой тригонометрические функции, такие как функции синуса и косинуса, с различными периодами повторения или длины волны. Коэффициент С 0 обозначает только общий постоянный уровень, коэффициенты Сk сk=1,2, обозначают гармоники с номерами k элементарной функции синуса или косинуса с периодом повторения 2 Т (кривая V на фиг. 9). Гармоника с номером k обозначает, в этом отношении, тригонометрическую функцию с периодом повторения, равным 2 Т/k. Однако, как можно заметить, определение нумерации является произвольным. Следующая стадия представляет собой стадию 37 построения осциллирующей функции, где строится функция синуса, которая со 005146 16 ответствует колебательному движению инструмента в виде электрода 3 и заготовки 1 друг относительно друга, согласно процессу, описанному со ссылкой на фиг. 5, с помощью кривой I. Расстояние S(t) в зазоре 6 представляется следующей функцией:S(t) = sin [(t-T/2) + /2] [3] гдепредставляет собой частоту колебаний в рад/с. Кривая VI иллюстрирует эту функциюS(t). Аналогично предыдущей стадии 33 линеаризации строится линейная функция Slin(t), основываясь на размерах Sa и Se из функции S(t) для начала и конца скорректированного периода измерения, как схематически показано с помощью кривой VI на фиг. 9:Slin(t) вычитается из функции S(t) с получением дифференциальной функции Sd(t):Sd(t) = St(t) - Slin(t) [5] Затем, все еще на стадии 37 построения осциллирующей функции, формируется гладкая непрерывная функция S (t) путем сопряжения дифференциальной функции Sd(t). Это делается путем симметричного отражения дифференциальной функции Sd(t) по отношению к горизонтальной и вертикальной оси, как показано с помощью кривой VII на фиг. 9. Полученная в результате гладкая функция S(t) представляет собой периодическую нечетную функцию, которая имеет непрерывную первую производную. Затем, на второй стадии 38 разложения в ряд Фурье, эта функция S (t) раскладывается в ряд Фурье с соответствующими коэффициентами Фурье Сk и амплитудами Аk, опять же,аналогично стадии 36. На стадии 39 вычитания, коэффициенты Сk вычитаются из соответствующих коэффициентов Сk с получением корректированных коэффициентов С'k: С'k = Сk-АСk (k=1,2, . . .) [6] Значения А получают с помощью метода наименьших квадратов путем минимизации функции: Минимум А имеет место, когда Пример полученного ряда скорректированных коэффициентов Сk с амплитудой Ai представлен на фиг. 10. Можно заметить, что приведенное выше разложение измеряемого напряжения Um в пределах периода измерения представляет собой один из нескольких путей для разложения. Таким же образом, может иметь место разложение по функциям косинусов, если четная функция является более пригодной для использования,или оно может иметь место в виде комбинации функций синусов и косинусов. Более того, спо 17 соб согласно настоящему изобретению не ограничивается разложением только по тригонометрическим функциям. Также может иметь место разложение в ряд по другим соответствующим элементарным функциям. Далее, можно заметить, что преобразование измеряемого напряжения из области времен в область частот, как это делается с помощью рассмотренного выше преобразования Фурье, не является единственным способом для получения спектрального состава. Спектральная информация может точно также быть получена с помощью вычисления автокорреляционной функции в области времен или с использованием соответствующих фильтров для полос частот. Можно также заметить, что вычитание линейной функции не является главным для способа по настоящему изобретению, но должно рассматриваться в качестве преимущественного воплощения. То же самое касается вычитания коэффициентов, соответствующих колебательному движению. При этом нужно понимать, что приведенный выше пример разложения иллюстрируется со ссылками на конкретный процесс,включающий импульсный ток вместе с колебательным движением инструмента в виде электрода 3 и заготовки 1. В случае отсутствия относительного движения в период измерения такое вычитание может быть менее преимущественным. С другой стороны, могут присутствовать различные виды перемещений, которые требуют соответствующих корректировок. Все, описанное выше, может быть осуществлено с использованием специального аппаратного обеспечения, компьютера общего назначения, программируемого с помощью соответствующего программного обеспечения, или сочетания их обоих. Для дальнейшего увеличения скорости, поскольку как правило, каждые 20 мс необходимо принимать решение, могут использоваться таблицы значений синусов и косинусов. Количество гармоник может быть ограничено приблизительно до 10, поскольку низкочастотные возмущения могут быть описаны с помощью 10 гармоник с точностью примерно 1%. Табл. 11 иллюстрирует соответствие характерных наборов коэффициентов Фурье Сk соответствующим типам условий процесса. Разумеется, значения ограничиваются используемым процессом электрохимической обработки,таким, как тот, который используется для объяснения способа разложения. Другие процессы будут приводить к другим значениям и к другим типичным типам условий процесса. Этого достаточно для опытного оператора, чтобы определить характерные наборы коэффициентов Фурье Сk и соответствующую связь с условиями процесса, с помощью метода проб и ошибок. Это может зависеть даже от типа обрабатываемой заготовки. 18 Условия процесса типа 1 связываются с отсутствием гармоник 2-10, что указывается с помощью значения '0'. Условия процесса типа 1 характеризуются появлением темно-серой или черной пленки на обрабатываемой поверхности,высокой степенью шероховатости и низкой производительностью, вызываемой низкой плотностью тока. Условия процесса типа 2 связываются с присутствием гармоник с номерами 2 и 4 с отрицательной амплитудой '-1' и гармоники с номером 3 с положительной амплитудой '+1'. Условия процесса типа 2 характеризуются появлением плотного темного массива на поверхности обработки, высокой степенью шероховатости,низкой производительностью, вызываемой кипением электролита или достижением предела растворимости газа в электролите. Условия процесса типа 3 связываются с присутствием гармоник с номерами 2,3,4,5 и 6, с отрицательной амплитудой. Условия процесса типа 3 характеризуются появлением правильной волнообразной поверхности вдоль потока электролита, низкой точностью воспроизведения профиля и высоким потреблением мощности. Неопределенные условия процесса "u" связываются с ситуациями, которые не наблюдались . Необходимо понимать, что данные, приведенные в табл. 10, являются только примером. Количество типов условий процесса может быть расширено, если это необходимо, при этом несколько наборов коэффициентов Фурье может связываться с одним и тем же типом условий процесса. Затем, со ссылками на фиг. 19-21, будут приведены различные примеры коэффициентов Фурье Сk, как функций от изменяющихся параметров управления процессом. Процесс, взятый в качестве примера, представляет собой процесс, использующий колебательные движения и импульсы тока, как описывается со ссылками на фиг. 5. Коэффициенты Фурье Сk и горизонтальная линейка 78, соответственно, представляющие величину и присутствие n-ных гармоник,будут представлены для различных спектров,получаемых с помощью зависимостей измеряемого напряжения Um как функции времени t. Фиг. 19 демонстрирует коэффициенты Фурье Сk как функцию параметров управления процессом для размера зазора S и минимального напряжения, приложенного к зазору Umin. Umin связывается с минимальным напряжением, присутствующим во время приложения импульса. Давление электролита поддерживается постоянным, при величине 300 кПа. Представлены измеряемое напряжение Um и значение Сk для соответствующих коэффициентов Фурье. Кривая I изображает ситуацию с Umin=9,0 В и S=22 мкм, кривая II, с Umin=5,0 В и S=18 мкм, и кривая III, с Umin=4,0 B и S=3 мкм. Плоский сигнал, изображающий Um как функцию времени t, 19 отражается с помощью уменьшения коэффициентов Фурье Сk. Условия процесса типа I, как показано с помощью горизонтальной линейки 78 для кривой I, постепенно переходят в условия процесса без гармоник, как показано с помощью горизонтальной линейки 78 для кривойIII. Фиг. 20 демонстрирует коэффициенты Фурье Сk, прежде всего, как функцию параметра управления процессом для давления электролита Pin, для того же самого процесса, с постоянным минимальным приложенным напряжениемUmin=10,0 В и с приблизительно постоянным размером зазора S. Кривая I изображает ситуацию с Pin=400 кПа и S=30 мкм, кривая II, сPin=100 кПа и S=46 мкм, и кривая III, с Pin=30 кПа и S=36 мкм. Уменьшение давления Pin приводит к появлению локального максимума на кривой зависимости Um. Это отражается с помощью коэффициентов Фурье с различными знаками, приводя к условиям процесса типа 3,как показано с помощью горизонтальной линейки 78 для кривой III. Фиг. 21 демонстрирует коэффициенты Фурье Сk как функцию от размера зазора S для того же самого процесса. Давление электролитаPin поддерживается при 400 кПа, в то время как минимальное приложенное напряжение Umin поддерживается при 10,0 В. Кривая I изображает ситуацию с S=26 мкм, кривая II с S=36 мкм, и кривая III с S=46 мкм. Как можно увидеть, с увеличением размера S, постепенно устанавливаются условия процесса типа 3. Фиг. 12 демонстрирует дополнительное воплощение способа согласно настоящему изобретению для извлечения спектральной информации. Кривая 1 на фиг. 12 демонстрирует пример измеряемого напряжения Um в случае приложения импульсов тока. В этом воплощении информация, содержащаяся в высокочастотной составляющей,анализируется вместо низкочастотной составляющей, которая определяется количеством гармоник вплоть до 10, как описано выше. Высокочастотная составляющая содержит гармоники, значительно более высокие, чем 10. Указанная область 40 указывает на типичные высокочастотные изменения. Кривая II на фиг. 12 демонстрирует измеряемое напряжение UmHF после усиления и прохождения напряжения Um через высокочастотный пропускающий фильтр. Период Тm измерения должен выбираться таким образом, что большие выбросы 41 и 42,присутствующие в начале и в конце измеряемого импульса, должны быть исключены. Эти выбросы вызываются, главным образом, переключающими операциями в схеме электропитания и не являются характеристиками условий процесса. Изображенные кривые I и II могут быть показателями нормальных условий процесса. Однако, кривая III на фиг. 12 соответствует изменению условий процесса, на что указывает воз 005146 20 мущение 43. Кривая IV опять демонстрирует усиленное и прошедшее через высокочастотный пропускающий фильтр измеряемое напряжениеUmHF. Две области должны различаться на этой кривой IV: область 44 с относительно низкими амплитудами и область 45 с относительно высоким амплитудами. Область 44 является указателем так называемого порогового режима перед случайным ЕСМ. Под режимом случайного ЕСМ подразумеваются условия процесса, когда происходят электрические разряды. Установление таких условий процесса должно быть предотвращено, поскольку инструмент в виде электрода или заготовка может быть поврежден. Изменение амплитуды высокочастотной составляющей, на что указывает UmHF, видимо, является хорошим индикатором этого порогового режима перед случайным ЕСМ. Существование такой высокочастотной составляющей может определяться по присутствию и изменению амплитуды высших гармоник,например, более высоких, чем 10, что устанавливается путем разложения измеряемого напряжения Um в ряд Фурье согласно способу,описанному со ссылками на фиг. 8 и 9. Однако,альтернативно, преимущественный способ получается путем, как уже указывалось со ссылками на кривые II и IV на фиг. 12, усиления и пропускания через высокочастотный пропускающий фильтр измеряемого напряжения Um. Это может быть осуществлено, например, с помощью простого усилителя и схемы высокочастотного пропускающего фильтра. Типичный коэффициент усиления может быть 100, в то время как граничная частота должна быть более высокой, чем около 20 кГц, в случае периода импульса 3 мс. Можно заметить, что период импульса 3 мс имеет самые низшие гармоники с частотами, находящимися в пределах до 10 кГц. После получения усиленного и прошедшего через высокочастотный пропускающий фильтр напряжения UmHF, как показано на кривой IV фиг. 12, дополнительный преимущественный способ получается путем получения его абсолютной величины AUmHF. Можно заметить, что величины Um или UmHF могут быть дискретизированы и преобразованы в цифровую форму, так что все стадии могут осуществляться в цифровой форме. Например,количество дискретных точек за период измерения Тm может быть выбрано равным 2000. Затем может быть получено скользящее среднееV на фиг. 12 иллюстрирует две возможности,которые могут возникнуть в результате: одна кривая 47 соответствует нормальным условиям процесса ЕСМ, как указывается с помощью кривой II и одной из кривых 46, соответствующей пороговым условиям случайного процесса ЕСМ, соответствующим кривой IV. Появление разности между опорным значением IAUmHF и 21 реальным значением может быть выбрано в качестве индикатора. Фиг. 13 изображает воплощение узла 12 управления на фиг. 2 для осуществления способа по настоящему изобретению. Такой узел 12 управления может быть разделен на два узла: узел 48 оценки и узел 49 регулировки. Узел 48 оценки используется для определения частотных составляющих измеряемого напряженияUm (соответствующего либо Um1, либо Um2) согласно способу настоящего изобретения. Узел 49 регулировки используется для управления процессом электрохимической обработки с использованием результатов узла 48 оценки и сигналов других измерений. Сначала будет объясняться воплощение узла 48 оценок для осуществления способа по настоящему изобретению. Узел 50 дискретизации получает измеряемое напряжение Um1 илиUm2, вызываемое приложением тока к инструменту в виде электрода 3 и к заготовке 1, как демонстрируется со ссылкой на фиг. 3. Узел 50 дискретизации получает сигнал Тm дискретизации, указывающий на период дискретизации. Этот сигнал Тm дискретизации генерируется узлом 49 регулировки и является, в случае импульсного тока, определяемым, в основном, используемым периодом импульса. В случае постоянного тока, могут быть использованы заранее заданные значения. Узел 50 дескритизации выбирает участки измеряемого напряженияUm1 или Um2 в соответствии с сигналом Тm дискретизации. Дискретизированные сигналы затем подаются в низкочастотную определяющую часть,содержащую аналого-цифровой преобразователь 51, узел 52 генерирования функции формы,узел 53 разложения в ряд Фурье и узел 54 присваивания значений. Узел 52 генерирования функции формы генерирует функцию формы,указывающую на дискретизированные значенияUm за период дискретизации, соответствующий периоду Тm измерения. Узел 52 генерирования функции формы дополнительно получает сигнал S2, указывающий на относительное перемещение инструмента в виде электрода 3 и заготовки 1. При этом генерируется функция формы, указывающая на это перемещение. Генерирование обеих функций формы может осуществляться с помощью способа, описанного со ссылками на фиг. 8 и 9. Эти функции формы раскладываются в ряды Фурье с помощью узла 53 разложения в ряд Фурье, способом, который объясняется со ссылками на фиг. 8 и 9. Узел 53 разложения в ряд Фурье посылает соответствующие сигналы коэффициентов Фурье Сk к средствам 13 отслеживания для отображения и в средства 54 присвоения значений. Средства 54 присвоения значений присваивают типичные условия процесса характерным наборам коэффициентов Фурье Сk, способом, который объясняется со ссылка 005146 22 ми на табл. 1. Получаемый в результате сигнал Т представляет тип условий процесса, который выводится на средства 13 отслеживания и узел 4 9 регулировки. Дискретизированные сигналы, генерируемые узлом 50 дискретизации, также подаются в часть, определяющую высокочастотную составляющую, содержащую высокочастотный пропускающий фильтр 55, усилитель 56, узел 57 вычисления абсолютной величины, узел 58 усреднения и узел 59 вычисления разности. Дискретизированные сигналы, подающиеся на высокочастотный пропускающий фильтр 55, могут быть аналоговыми или цифровыми. Как указано выше, высокочастотный пропускающий фильтр 55 должен пропускать изменения измеряемого напряжения Um с частотами, например, от 20 кГц. Следующий далее усилитель 56 используется для усиления относительных изменений напряжения Um. На этой стадии, как можно заметить, вместо использования усиленных и отфильтрованных сигналов, могут быть использованы также и коэффициенты Фурье Сk, например, генерируемые узлом 53 разложения в ряд Фурье, при условии, что этот узел приспособлен для определения амплитуд высших гармоник. Узел 57 вычисления абсолютного значения вычисляет абсолютную величину входного сигнала, в то время как узел 58 усреднения определяет скользящее среднее, обе величины вычисляются в соответствии со способом, который объясняется со ссылками на фиг. 12. Наконец,узел 59 вычисления разницы определяет разницу между полученным результатом и нормальными условиями процесса. Сигнал Ас, представляющий присутствие пороговой ситуации перед началом случайного процесса, подается в узел 49 регулировки. Можно заметить, что некоторые узлы в узле 48 оценки могут быть воплощены в виде отдельных узлов соответствующего аппаратного обеспечения или могут быть стадиями обработки в общей компьютерной программе, загруженной в компьютер общего назначения. Также,могут быть представлены комбинации, например, узел 53 разложения в ряд Фурье может быть осуществлен в виде платы для разложения в ряд, предназначенной для компьютера общего назначения. Далее, часть для определения высокочастотной составляющей может быть воплощена с помощью аналоговых компонентов. Затем, узел 49 регулировки будет объясняться более подробно. Узел 49 регулировки получает, в дополнение к сигналам, уже рассмотренным, среди прочих, вводимые в ручную сигналы управления MAN, сигнал Pout, представляющий давление электролита 18, измеряемый, например, на выходе узла 10 электрохимической обработки, и сигнал Z, представляющий положение заготовки 1. Узел 49 регулировки выдает на выходе селективные сигналы SEL1, 23SEL2 , для подачи тока или напряжения, сигналы СI1, CUI управления для электропитания сигналы S1 и S2 управления для управления скоростью подачи V1 и скоростью электродаV2, соответственно, и сигнал Pin управления для управления давлением электролита, например, давлением на входе узла 10 электрохимической обработки. Далее, работа узла 49 регулировки будет объясняться более подробно, со ссылками на фиг. 14-17, которые демонстрируют несколько способов по настоящему изобретению для управления процессом электрохимической обработки. Сначала сигнал высокочастотной информации Ас и/или сигнал о типе информации Т или сигналы коэффициентов Фурье Сk могут быть использованы только для ограничения диапазона рабочих параметров узла 49 регулировки. Узел 49 регулировки управляет процессом электрохимической обработки в этих пределах. Преимущественный процесс управления для приложения импульсного тока и колебательного движения использует, в качестве одного из параметров управления процессом, давление электролита 18, например, давление Pin на входе узла 10 электрохимической обработки. Когда давление является низким, поток электролита будет недостаточным, в то время как высокое давление может приводить к возникновению локальной кавитации и турбулентности в электролите. Дополнительный преимущественный процесс управления, в случае того же самого процесса, использует в качестве параметра управления процессом сдвиг фазмежду колебательным движением и стартом текущего импульса. Предпочтительно, используются оба параметра управления процессом. ПараметрыPin ипроцесса выбираются таким образом,чтобы оптимизировать величину V1 скорости подачи. Однако, как обнаружено, несколько других преимущественных воплощений настоящего изобретения получаются, когда контролируются другие параметры процесса, такие как время, в течение которого прикладывается ток, то, является ли он импульсным или постоянным, и/или тип и величина относительного движения между инструментом в виде электрода 3 и заготовкой 1. Как обнаружено, нежелательные условия процесса, когда они выявляются с помощью спектральной информации, получаемой из измеряемого напряжения Um в течение периода Тm измерения, могут предотвращаться путем управления этими параметрами процесса. Например, фиг. 14 иллюстрирует первый способ управления, использующий, в качестве первого параметра управления процессом, подачу тока Is непрерывно или периодически, а в качестве второго параметра управления процессом, соответствующий размер S(t) зазора 6. 24 Кривая I на фиг. 14 демонстрирует первую фазу 60 работы, когда обработка осуществляется при первом размере Smax, и вторую фазу 61 работы,когда обработка производится при меньшем размере Smin зазора 6. Во время первой фазы 60 работы ток Is подается непрерывно, а во время второй фазы 61 работы ток Is подается периодически, в виде импульсов, происходящих в заданные периоды, как иллюстрируется с помощью кривой II на фиг. 14. Кривая III изображает напряжение Um как функцию времени t. Во время первой фазы 60 работы, напряжение Um определяется через первые периоды Tm1 измерения, а во время второй фазы 61 работы через вторые периоды Тm2 измерения. Как можно увидеть на кривой III, ее область 62 демонстрирует значительное изменение напряжения Um во время первой фазы. Это указывает на изменение условий процесса, которое отслеживается с помощью узла 48 оценок. Изменение условий процесса может, например, указывать на окончание соответствующего диапазона обработки заготовки 1 с высокой скоростью подачи. Это может быть вызвано достижением конкретной стадии при доведении геометрических размеров заготовки 1, которое ведет к изменению локального размера S(t) зазора 6. Узел 48 оценок определяет соответствующий тип условий процесса,на который узел 49 регулировки реагирует путем приложения тока периодически и при более коротком расстоянии Smin. Это дает возможность продолжения стабильной обработки с улучшенной точностью, хотя с более низкой скоростью подачи заготовки 1. Фиг. 15 иллюстрирует второй способ управления, использующий, в качестве первого параметра управления процесса, подачу тока Is непрерывно или периодически, и в качестве второго параметра управления процессом, либо постоянный размер S(t), либо осциллирующий размер S(t) зазора между инструментом в виде электрода 3 и заготовкой 1. Кривая I на фиг. 15 иллюстрирует первую фазу 63 работы с постоянной подачей тока Is при начальном размереSint, и вторую фазу 64 работы с импульсной подачей тока Is во время колебательного движения. Во время периодов Tm1 измерения, на части 65 кривой III, увеличение измеряемого напряжения Um измеряется с помощью узла 48 оценок, указывая, например, на увеличение электрического сопротивления, вызываемого образованием пузырьков газа в электролите 18. Узел 49 регулировки заставляет узел 11 электропитания подавать ток только в моменты достижения наименьшего размера Smin при колебательном движении. Таким образом, предотвращается образование пузырьков газа из-за увеличения давления электролита в зазоре 6 во время наступления моментов наименьшего размера. Во время наступления моментов наибольших размеров Smax при колебательном движении ток не подается, и жидкость может 25 пополняться. Переход от первой фазы 63 работы ко второй фазе 64 работы делает возможным поддержание стабильных условий процесса. Напряжение Um по-прежнему измеряется в импульсах во время периодов измерения Тm2, в порядке определения пределов параметров управления процессом, таких как сдвиг фаз между моментом наименьшего расстояния и моментом приложения импульса. Фиг. 16 иллюстрирует третий способ управления, использующий, в качестве первого параметра управления процессом, подачу последовательности импульсов тока Is с первой частотой или со второй частотой, как иллюстрируется с помощью кривой II, а в качестве второго параметра управления процессом, расстояние S(t), как иллюстрируется с помощью кривойI. Представлены две характерные фазы 66 и 67 работы. Соответствующие расстояния для обработки, как S1, так и S2, получают после приведения заготовки 1 и инструмента в виде электрода 3 в контакт друг с другом. Это делает возможным высокую точность позиционирования. Как иллюстрируется с помощью областей 68, 69 и 70 кривой III на фиг. 16, характерная форма измеряемого напряжения Um изменяется с последующими импульсами, указывая на ухудшение условий процесса. В этом примере изменяется передний фронт импульса. Это может быть указателем того, что уменьшается расстояние обработки. Узел 48 оценок подает эту информацию в узел 49 регулировки, где при этом расстояние обработки уменьшается до меньшего значения S2. Чтобы сделать возможными стабильные условия процесса, частота импульсов увеличивается путем уменьшения длительности импульса. Как обнаружено, сокращение длительности импульса имеет то действие, что оставляет меньше времени для генерирования газа в виде пузырьков, такого как молекулярный газообразный водород, в электролите 18. Предпочтительно, длительность импульса должна быть выбрана достаточно малой, для того, чтобы предотвратить либо формирование зародышей атомарного водорода,которое предшествует образованию молекулярного газообразного водорода, либо формирование молекулярного газообразного водорода самого по себе. В любом воплощении, длительность импульса не должна превосходить время,требуемое для образования молекулярного газообразного водорода. По областям 71 и 72 кривой III, можно увидеть, что может быть сложным приложение достаточной электрической мощности за короткий период импульса, при этом понижается скорость обработки. Однако,как обнаружено, еще большая электрическая мощность может быть приложена, если длительность импульса понижается до исключительно коротких значений, находящихся в пределах от 10 до 300 мкс. Неожиданно обнаружено, что плотность тока может быть увеличена 26 при такой короткой длительности импульса до значений в пределах между 4000 и 6000 А/см 2. Однако, главным для получения этих высоких плотностей тока является исключительно крутой передний фронт импульса со значением в пределах 100-1000 нс. Задний фронт импульса,видимо, является менее важным и должен быть более коротким, чем 5 мкс. Время существования или промежутки между последовательными импульсами должны быть достаточно большими, чтобы дать возможность исчезновения образовавшемуся молекулярному газообразному водороду, как правило, время между импульсами изменяется в пределах 50-500 мкс. Продолжительность группы импульсов изменяется в пределах 20-1000 мкс. Однако, поскольку длительные паузы приводят также и к понижению скорости обработки, паузы не должны быть слишком длинными. В практическом воплощении, отношение между длительностью паузы между импульсами и длительностью импульса должно находиться в пределах между 2 и 10. Длительность промежутка между приложением групп импульсов предпочтительно находится в пределах 20-5 мс. Предпочтительно, приложение импульсов этого рода осуществляется в сочетании с колебательным движением между инструментом в виде электрода 3 и заготовкой 1. Увеличение локального давления в зазоре 6 в момент установления наименьшего размера S(t) зазора 6 является преимущественным при предотвращении образования пузырьков газа. Можно заметить, что при исключительно коротких импульсах допустимые напряженности электрического поля в зазоре могут изменяться в пределах между 2500 В/см и 25000 В/см, при размерах зазора в пределах между 5 и 45 мкм. Можно заметить, что высокое локальное давление также приводит к предотвращению образования пузырьков газа. Хотя давление Pin электролита на входе может быть равно 2 бар,локальное давление может возрастать до 50 бар. В этом случае, кипение может происходить только при гораздо более высоких температурах. Дополнительный физический эффект, получаемый при этих исключительно коротких импульсах, может быть подобен локальному плавлению заготовки. Локальный расплав образуется в малых ионизированных каналах, откуда расплавленный материал затем немедленно диспергируется в электролите. Затем, четвертый способ иллюстрируется со ссылками на фиг. 17. Кривая I демонстрирует изменение размера S(t) как функции времени t. Перед установлением расстояния для обработкиSmin, инструмент в виде электрода 3 приводится в контакт или слегка ударяет по заготовке 1. Кривая II на фиг. 17 иллюстрирует, что прикладывается последовательность импульсов тока для обработки с нормальной полярностью. Как показано с помощью кривой III на фиг. 17, от 27 клонение 73 измеряемого напряжения Um, индуцированного импульсом тока, может указывать, с помощью оценки коэффициентов Фурье,на образование седиментированного слоя на инструменте в виде электрода 3. Инструмент в виде электрода 3 сам по себе может быть изготовлен из металлов, подобных меди, хрому или сплаву хрома-никеля, и тому подобное. Однако металлы, подобные титану, не будут приводить к образованию оксидного слоя. Вероятно, этого также не будет происходить, когда, во время обработки, инструмент в виде электрода 3 поддерживается при отрицательном напряжении по отношению к заготовке 1. Однако, что может происходить, так это притягивание положительно заряженных частиц, таких как остатки кислот, присутствующих в электролите, и образование слоя из них на инструменте в виде электрода 3. Эти частицы не притягиваются сильно к инструменту в виде электрода, благодаря химической реакции, и поэтому могут быть удалены с него путем приложения временного положительного напряжения к инструменту в виде электрода 3. Это осуществляется путем индуцирования импульса 74 тока отрицательной полярности,как иллюстрируется на кривой II. Можно заметить,что такой же результат может получен, альтернативно, путем приложения импульса напряжения с обращенной полярностью. Приложение таких импульсов вызывает уход слабо прикрепленных частиц осадка назад в раствор. Кроме того, остатки металлов в электролите, таких как хром и никель,которые могут быть осаждены на электроде, это известно как эффект электроосаждения, могут быть удалены с помощью указанных выше импульсов для очистки. Приложение импульсов для очистки может быть индуцировано изменением геометрических величин, но также и уменьшением значения потока электролита. Фиг. 22 иллюстрирует следующий преимущественный способ объединения двух видов импульсов напряжения инвертированной полярности вместе с импульсом тока нормальной полярности. Кривая I изображает генерацию последовательности импульсов тока нормальной полярности с амплитудой Ig1, индуцированных управляющим сигналом CI2, как описано со ссылками на фиг. 3. Кривая II изображает генерацию последовательности импульсов напряжения противоположной полярности с первой амплитудой Uc и второй амплитудой Un,индуцированных сигналом CU2 управления, как описано со ссылками на фиг. 3. Импульсы напряжения с амплитудой Un служат для растворения пассивирующего слоя, сформированного на заготовке 1, в соответствии со способом,описанным более подробно в документе D2, в списке упоминаемых документов, который можно найти в конце настоящего описания. Пассивирующий слой формируется в виде черной пленки оксида. Требуемое напряжение для напряжения Un депассивации должно, предпоч 005146 28 тительно, лежать между напряжением Upol поляризации, которое объясняется со ссылками на кривую IV, и напряжением Unmax, при котором электрод начинает растворяться. Это подробно объясняется в документе D2. Импульсы напряжения с амплитудой Uc служат для очистки инструмента в виде электрода 3 способом, который описан со ссылками на фиг. 17. ЗначениеUc предпочтительно является более высоким,чем значение Un, последнее выбирается так,чтобы не растворять инструмент в виде электрода 3. Недостаток более высокого значенияUc, таким образом, представляет собой растворение инструмента в виде электрода 3. Это может быть предотвращено путем использования нерастворимых материалов для электродов, таких как платина, или путем использования пассивирующего электролита, такого как нитрат натрия, в сочетании с электродом из хромированной стали. При этом последнем выборе электролита и материала электрода, значение Uc не должно быть более высоким, 3,6 В, поскольку в противоположном случае функционирование относительно пассивации прекращается, и электрод начнет растворяться. Предпочтительно, это значение поддерживается ниже 2 В. Сколько импульсов для очистки и с какой длительностью должно быть приложено, необходимо определять с помощью проб и ошибок. Например,через каждые 20 с обработки прикладывается один импульс для очистки, длиной в 1 с. КриваяIII демонстрирует общий ток Ig, проходящий через зазор 6 в результате приложения импульсов тока и напряжения. Импульс тока нормальной полярности имеет амплитуду Ig1, импульсы напряжения противоположной полярности индуцируют максимальный ток Ig2 и Ig3. КриваяIV демонстрирует измеряемое напряжение Um в зазоре 6. Импульсы напряжения противоположной полярности имеют амплитуды Um1 и Um2. Напряжение Um, измеряемое непосредственно после окончания импульса тока, в то время как никаких других импульсов не прикладывается,называется напряжением Upol поляризации, и по возможности уменьшается до нуля. Таким образом, преимущественный способ получается путем выбора применения такого параметра управления процессом как импульс для очистки инструмента в виде электрода, если оценка условия процесса такая, как та, что видна по спектральному составу измеряемого напряжения Um, указывает на загрязнение инструмента в виде электрода. Особенно в случае электролита, который используется в течение длительного времени, осаждение растворенных ионов металла из растворенной заготовки может происходить в виде черного слоя по всей поверхности инструмента в виде электрода. Это называется электроосаждением и может влиять на геометрические размеры. Другое загрязнение представляет собой осаждение слоя гидроксидов вблизи отверстия для вытекания электроли 29 та в зазоре. Это влияет не только на геометрические размеры, но также и на скорость потока электролита. Можно заметить, что такой импульс для очистки инструмента в виде электрода может также прикладываться заранее, в заданные моменты времени. Фиг. 18 иллюстрирует следующее преимущественное воплощение, основанное на колебательном движении, как показывает кривая I на фиг. 18. Импульсы 76 тока для обработки прикладываются, как показано на кривой III. Преимущественный параметр управления процессом получают путем приложения так называемых пассивирующих импульсов 77 такой же полярности, но с меньшей амплитудой. Эти импульсы прикладывают, когда размер зазора является большим, с тем, чтобы предотвратить нежелательное влияние на форму. Как объясняется более подробно в документе D3, в списке упоминаемых документов, который можно найти в конце настоящего описания, такие пассивирующие импульсы улучшают точность копирования профиля при обработке, поскольку пассивирующий слой образуется на той поверхности заготовки 1, которая не обрабатывается или обрабатывается меньше. Оценка условий процесса с помощью спектрального состава может вызвать переход от процесса обработки с относительно низкой точностью к высоко прецизионному процессу обработки, и наоборот. Это также может быть индуцировано после извлечения с помощью обработки заданного количества материала из общего количества, который должен быть удален с помощью обработки, например, 80 из общих 120 мкм. Можно заметить, что, хотя показаны несколько источников тока и напряжения, таких как те, которые инкорпорированы в один узел,на практике, источники могут быть размещены отдельно и соединены с помощью соответствующих средств соединения с узлом 10 электрохимической обработки и с узлом 12 управления. Далее, один или несколько источников могут отсутствовать, или один или несколько источников могут быть добавлены, в зависимости от способа по настоящему изобретению. Далее, необходимо заметить, что переход от одного типа процесса электрохимической обработки к другому типу, может производиться либо автоматически, либо вручную. Ручное изменение может заключаться в замене узла 10 электрохимической обработки, узла 11 электропитания или источника тока или напряжения. Хотя настоящее изобретение описывается со ссылками на его предпочтительные воплощения, необходимо понять, что они представляют собой неограничивающие примеры. Таким образом, различные модификации могут стать очевидными специалисту в данной области без отклонения от духа изобретения, как определяется формулой изобретения. Настоящее изобретение может осуществляться посредством как 30 аппаратного, так и программного обеспечения,и поэтому несколько "средств" могут быть представлены с помощью одного и того же аппаратного обеспечения. Кроме того, настоящее изобретение заключается в каждой и любой новой особенности или в сочетании особенностей. Необходимо также заметить, что слово'включает' не исключает присутствия элементов или стадий, иных, чем те, которые перечислены в формуле изобретения. Любая ссылка не означает ограничения рамок формулы изобретения. Список упоминаемых документов:WO 99/51382, 34949, на имя заявителя, (PHN 16835) ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ 1. Способ управления процессом электрохимической обработки электропроводной заготовки путем подачи электрического тока между заготовкой и электропроводным электродом, в то время как электролит подают между заготовкой и электродом, включающий этапы, на которых осуществляют измерение напряжения, вызванного электрическим током, и адаптирование по меньшей мере одного параметра управления процессом в ответ на измеряемое напряжение,отличающийся тем, что определяют распределение гармоник в спектральном составе регистрируемого в пределах заданного периода измерения напряжения в течение процесса электрохимической обработки и определяют информацию, характеризующую распределение гармоник в спектральном составе, регистрируемого в пределах заданного периода измерения напряжения и адаптируют по меньшей мере один параметр управления процессом в соответствии с указанной информацией. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанная информация включает по меньшей мере одну амплитуду, характеризующую по меньшей мере один частотный компонент или по меньшей мере один диапазон частотных компонентов измеряемого напряжения. 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что указанная информация включает амплитуду,характеризующую, по меньшей мере, гармоническую частоту сигнала, состоящего из измеряемого напряжения в пределах заданного периода измерений. 4. Способ по п.3, отличающийся тем, что включает разложение сигнала в пределах заданного периода измерений в ряд Фурье по тригонометрическим функциям, и где указанные ам 31 плитуды соответствуют коэффициентам Фурье Сk указанного ряда. 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что включает определение знаков коэффициентов Фурье Сk первых гармоник указанного ряда Фурье и приписывание конкретных условий процесса по меньшей мере одной конкретной комбинации коэффициентов Фурье, указывающей на отсутствие или присутствие соответствующих гармоник, и, в случае присутствия, относительным знакам соответствующих гармоник. 6. Способ по п.5, отличающийся тем, что включает приписывание первого условия процесса, относительно низкой плотности тока,отсутствию первого по порядку из коэффициентов Фурье Сk. 7. Способ по п.5, отличающийся тем, что включает приписывание второго условия процесса, присутствия заполненных газом пустот в электролите, присутствию второго по порядку из коэффициентов Фурье Сk с обратным по отношению к первому коэффициенту знаком. 8. Способ по п.5, отличающийся тем, что включает приписывание третьего условия процесса, относительно высокой плотности тока,присутствию третьего по порядку из коэффициентов Фурье Сk с одинаковым по отношению к первым коэффициентам знаком. 9. Способ по п.2, отличающийся тем, что указанная информация включает амплитуды,представляющие диапазон частотных компонентов, больших, чем заданная частота, и осуществляют адаптирование по меньшей мере одного параметра управления процессом в случае значительного изменения амплитуды в пределах заданного периода измерения. 10. Способ по п.9, отличающийся тем, что указанная информация включает вычисление скользящего среднего указанной амплитуды по заданному интервалу времени. 11. Способ по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один параметр управления процессом включает замену непрерывного приложения электрического тока на периодическое приложение электрического тока. 12. Способ по п.11, отличающийся тем, что во время непрерывного приложения электрического тока, электрод и заготовку перемещают друг относительно друга с постоянной, по существу, скоростью и во время периодического приложения электрического тока электрод и заготовку перемещают друг относительно друга колебательным образом или периодическим образом, наложенным на линейное перемещение, с приложением тока на самом малом расстоянии друг от друга, обусловленным колебательным или повторяющимся движением. 13. Способ по п.12, отличающийся тем, что последовательность прикладываемых периодически импульсов электрического тока прикладывают тогда, когда относительное расстояние 32 между заготовкой и электродом является малым, во время относительного колебательного или периодического перемещения. 14. Способ по п.1, отличающийся тем, что приложение электрического тока включает периодическое приложение импульсов электрического тока нормальной полярности в виде последовательности импульсов, по меньшей мере один параметр управления процессом управляет приложением, дополнительно, одного или более импульсов электрического тока противоположной полярности. 15. Способ по п.1, отличающийся тем, что приложение электрического тока включает периодическое приложение импульсов электрического тока нормальной полярности в виде последовательности импульсов, по меньшей мере один параметр управления процессом управляет приложением, дополнительно, пассивирующих импульсов электрического тока такой же полярности, но с напряжением, имеющим амплитуду, которая является недостаточной для растворения заготовки и пассивирующей пленки на заготовке. 16. Способ по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один параметр управления процессом управляет периодическим приложением электрического тока для очистки электрода, в одном или нескольких импульсах с противоположной полярностью, вызывая очистку электрода от осажденных загрязнений. 17. Способ по п.16, отличающийся тем, что электрод и заготовку перемещают друг относительно друга в периодическом движении, приложение электрического тока включает периодическое приложение электрических импульсов,когда расстояние между заготовкой и электродом является относительно малым, соответствующее положение электрода и заготовки определяется путем сначала приведения заготовки и электрода в контакт друг с другом и приложения измерительного тока вместо обрабатывающего тока для определения контакта, по меньшей мере один параметр управления процессом управляет приложением одного или нескольких импульсов для очистки электрода перед приведением заготовки и электрода в контакт. 18. Способ по п.1, отличающийся тем, что электрод и заготовку перемещают друг относительно друга в периодическом движении, приложение электрического тока включает периодическое приложение электрических импульсов в виде последовательности импульсов, когда расстояние между заготовкой и электродом является относительно малым, по меньшей мере один параметр управления процессом управляет изменением длительности последовательности импульсов. 19. Способ по п.1, отличающийся тем, что длительность последовательности импульсов ограничивают до значения меньшего, чем время зародышеобразования, требуемое для образования пузырьков газа в электролите. 33 20. Способ по п.19, отличающийся тем, что период импульса является ограниченным значением в пределах между 10 и 100 мкс. 21. Способ по п.20, отличающийся тем, что передний фронт соответствующего импульса имеет значение в пределах между 100 и 1000 нс. 22. Способ по п.19, отличающийся тем, что прикладывают последовательности прилагаемых периодически импульсов электрического тока, паузы между импульсами в последовательности имеют значения, большие, чем время исчезновения, требуемое для исчезновения пузырьков газа, которые образуются в электролите. 23. Способ по п.22, отличающийся тем, что отношение пауза/длительность импульса находится в пределах между 2 и 10. 24. Способ по п.9, отличающийся тем, что по меньшей мере один параметр управления процессом управляет быстрым прерыванием прикладываемого электрического тока. 25. Способ по п.1, отличающийся тем, что электрод и заготовку перемещают друг относительно друга в колебательном движении, электрический ток подают периодически в виде последовательности импульсов, когда расстояние между заготовкой и электродом является относительно малым, по меньшей мере один параметр управления процессом включает относительный сдвиг фаз между колебательным перемещением и началом приложения электрического тока при каждом колебательном движении. 26. Способ по п.1, отличающийся тем, что электрод и заготовку перемещают друг относительно друга в колебательном движении, электрический ток подают периодически в виде последовательности импульсов, когда расстояние между заготовкой и электродом является относительно малым, по меньшей мере один параметр управления процессом включает давление электролита. 27. Способ по п.1, отличающийся тем, что электрод и заготовку перемещают друг относительно друга в колебательном движении, электрический ток подают периодически в виде последовательности импульсов, когда расстояние между заготовкой и электродом является относительно малым, по меньшей мере один параметр управления процессом включает относительную скорость обработки заготовки и электрода, когда их перемещают друг относительно друга. 28. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс электрохимической обработки включает приложение электрического тока в виде последовательности импульсов, где заданный период измерения, по существу, соответствует длительности импульса. 29. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс электрохимической обработки включает приложение электрического тока, по существу, непрерывно во время первого отрезка вре 005146 34 мени, где заданный период измерения является частью указанного первого отрезка времени,при этом изменения условий процесса осуществляют в пределах периода измерения. 30. Система для электрохимической обработки электропроводной заготовки путем подачи электрического тока между заготовкой и электропроводным электродом, в то время как между заготовкой и электродом подается электролит, содержащая электропроводный электрод (3); средства (4, 5) для позиционирования электрода и заготовки (1) в таком пространственном соотношении, чтобы поддерживать зазор между электродом (3) и заготовкой (1); средства (7) подачи электролита в зазор; источник (11) электропитания, который является электрически соединенным с электродом (3) и заготовкой (1), предназначенный для подачи электрического тока между заготовкой (1) и электродом (3), средства (17, 22) для измерения напряжения, электрически соединенные с электродом (3) и заготовкой (1) или со схемой из сопротивлений в линии электропитания между источником (11) электропитания и заготовкой(1) или электродом (3); средства (16, 24, 27, 30) регулировки процесса для регулировки по меньшей мере одного параметра управления процессом в процессе электрохимической обработки; средства (12) управления, соединенные со средствами (17, 22) измерения напряжения и со средствами (16, 24, 27, 30) регулирования процесса,отличающийся тем, что средства (12) управления включают в себя средства (48) анализа для определения распределения гармоник в спектральном составе измеренного напряжения(Um), регистрируемого в пределах заданного периода (Тm, Тm') измерения напряжения, во время процесса электрохимической обработки,причем средства (48) анализа обеспечивают возможность определения информации (Сk, Ас),характеризующей распределение гармоник в спектральном составе напряжения, регистрируемого в пределах заданного периода измерения напряжения, причем средства (12) управления, адаптированы для регулировки по меньшей мере одного сигнала (Pi, S1, S2, SEL1, SEL2,СI1, CU1, ) параметра управления процессом в соответствии с указанной информацией. 31. Система по п.30, отличающаяся тем,что средства (48) анализа адаптированы для генерации по меньшей мере одного спектрального сигнала, представляющего амплитуду по меньшей мере одного частотного компонента или по меньшей мере одного диапазона частотных компонентов измеряемого напряжения. 32. Система по п.31, отличающаяся тем,что средства (48) анализа включают средства(53) детектирования гармоник для генерации спектрального сигнала (Сk), представляющего, 35 по меньшей мере, гармоническую частоту сигнала, полученного с помощью измеряемого напряжения (Um) в пределах заданного периода(53) для разложения сигнала, раскладывающие сигнал в пределах заданного периода (Тm, Тm') измерения в ряд Фурье, и средства для генерирования спектральных сигналов, представляющих амплитуды коэффициентов Фурье Сk ряда Фурье. 34. Система по п.33, отличающаяся тем,что средства (53) разложения сигнала включают средства для определения знака, предназначенные для определения знака спектральных сигналов, представляющих первые гармоники в указанном ряде Фурье,средства (12) управления включают средства присваивания (54) значений для генерации сигнала конкретного условия процесса в случае конкретной комбинации знаков спектральных сигналов Сk, представляющих первые гармоники, которые подаются в средства (49) управления. 35. Система по п.34, отличающаяся тем,что средства (54) присваивания значений адаптированы для генерации первого сигнала (Т) условия процесса, указывающего на относительно низкую плотность тока, в случае, когда спектральные сигналы демонстрируют отсутствие первых коэффициентов Фурье Сk. 36. Система по п.34, отличающаяся тем,что средства (54) присваивания значений адаптированы для генерации второго сигнала (Т) условия процесса, указывающего на присутствие заполненных газом пустот в электролите, в случае, если спектральные сигналы демонстрируются вторым из последовательных коэффициентов Фурье Сk с относительно измененным знаком. 37. Система по п.34, отличающаяся тем,что средства (54) присваивания значений адаптированы для генерации третьего сигнала (Т) условия процесса, указывающего на присутствие относительно высокой плотности тока, в случае, когда третий из последовательных коэффициентов Фурье Сk имеет одинаковый знак с предыдущими коэффициентами. 38. Система по п.31, отличающаяся тем,что средства (48) анализа включают средства (55) для высокочастотного пропускающего фильтрования, предназначенные для генерации спектральных сигналов, представляющих диапазон частотных компонентов,больших, чем заданная частота,средства (59) детектирования изменений спектрального сигнала для детектирования быстрого изменения генерируемых спектральных сигналов в пределах заданного интервала (Тm) измерения и подачи соответствующего сигнала 36 об изменении спектрального сигнала (Ас) в средства управления,средства (12) управления, адаптированные для регулирования по меньшей мере одного сигнала параметра управления процессом в случае, если подается сигнал об изменении спектрального сигнала (Ас). 39. Система по п.38, отличающаяся тем,что средства (48) анализа содержат средства(58) для усреднения, предназначенные для усреднения амплитуд спектральных сигналов, генерируемых в заданном интервале (Тm) времени. 40. Система по п.32, отличающаяся тем,что источник (11) электропитания включает источник (15, 23) постоянного тока или постоянного напряжения для непрерывного приложения электрического тока, имеются источник (26,29) импульсного тока или импульсного напряжения для периодического приложения электрического тока и средства (19, 25, 28, 31) переключения для переключения между соответствующими источниками. 41. Система по п.40, отличающаяся тем,что средства позиционирования включают первые средства (4) позиционирования для перемещения электрода (3) и заготовки (1) друг относительно друга с постоянной, по существу,скоростью, и вторые средства (5) позиционирования для перемещения электрода (3) и заготовки (1) друг относительно друга колебательным или периодическим образом. 42. Система по п.41, отличающаяся тем,что источник (26, 29) импульсного тока адаптируется для генерации последовательности прикладываемых периодически импульсов, когда относительное расстояние между заготовкой (1) и электродом (3) является малым, во время относительного колебательного или периодического движения. 43. Система по п.30, в которой источник(26, 29) импульсного тока адаптирован для периодического приложения импульсов электрического тока нормальной полярности в виде последовательности импульсов, отличающаяся тем, что источник (26, 29) импульсного тока дополнительно адаптирован для дополнительного приложения одного или нескольких импульсов тока противоположной полярности в ответ по меньшей мере на один сигнал (SEL1,SEL2, СI1, CU1, ) параметра управления процессом. 44. Система по п.30, в которой источник(26, 29) импульсного тока адаптирован для периодического приложения импульсов электрического тока нормальной полярности в виде последовательности импульсов, отличающаяся тем, что источник (26, 29) импульсного тока дополнительно адаптирован для приложения дополнительных электрических пассивирующих импульсов такой же полярности, но с напряже 37 нием, имеющим амплитуду, которая является недостаточной для растворения заготовки (1) и пассивирующей пленки на заготовке (1) в ответ по меньшей мере на один сигнал (SEL1, SEL2,CI1, CU1, ) параметра управления процессом. 45. Система по п.30, отличающаяся тем,что источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для периодического приложения электрического тока, предназначенного для очистки электрода, в одной или нескольких последовательностях импульсов с противоположной полярностью, которые вызывают очистку электрода (3) от осажденных загрязнений в ответ по меньшей мере на один сигнал (SEL1, SEL2, СI1,CU1, ) параметра управления процессом. 46. Система по п.45, в которой средства (4,5) позиционирования адаптированы для перемещения электрода (3) и заготовки (1) друг к другу периодическим образом, источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для периодического приложения импульсов электрического тока, когда расстояние между заготовкой (1) и электродом (3) является относительно малым,узел (12) управления адаптирован для определения соответствующей позиции электрода (3) и заготовки (1) путем сначала приведения заготовки (1) и электрода (3) в соединение друг с другом и приложения измерительного тока вместо тока для обработки для определения соединения, отличающаяся тем, что источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для приложения одного или нескольких импульсов для очистки электродов перед приведением в соединение заготовки (1) и электрода (3). 47. Система по п.45, в которой средства (4,5) позиционирования адаптированы для перемещения электрода (3) и заготовки (1) друг относительно друга в периодическом движении,источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для периодического приложения электрических импульсов в виде последовательностей импульсов, когда расстояние между заготовкой(1) и электродом (3) является относительно малым, отличающаяся тем, что источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для изменения длительности последовательности импульсов в ответ по меньшей мере на один сигнал параметра управления процессом. 48. Система по п.47, отличающаяся тем,что источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для приложения электрических импульсов с длительностью последовательности импульсов, сокращенной до значения, меньшего,чем время зародышеобразования, требуемое для образования пузырьков газа в электролите, такого, например, как образование газообразного водорода. 49. Система по п.48, отличающаяся тем,что период импульса сокращается до значения в пределах между 10 и 100 мкс. 38 50. Система по п.49, где соответствующий период переднего фронта импульса имеет значение в пределах между 100 и 1000 нс. 51. Система по п.48, отличающаяся тем,что источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для генерации последовательностей, прилагаемых периодически импульсов электрического тока, паузы между импульсами в последовательности имеют значение, большее, чем время исчезновения, требуемое для исчезновения пузырьков газа, которые образуются в электролите. 52. Система по п.51, отличающаяся тем,что отношение пауза/длительность импульса находится в пределах между 2 и 10. 53. Система по п.30, отличающаяся тем,что источник (11) для электропитания адаптирован для быстрого прерывания приложения электрического тока в ответ по меньшей мере на один сигнал параметра управления процессом. 54. Система по п.30, в которой средства (4,5) позиционирования адаптированы для перемещения электрода (3) и заготовки (1) друг относительно друга в колебательном движении,источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для периодического приложения электрических импульсов в виде последовательности импульсов, когда расстояние между заготовкой (1) и электродом (3) является относительно малым,отличающаяся тем, что средства (12) управления адаптированы для изменения относительного сдвига фазмежду колебательным перемещением и стартом приложения электрического тока в каждом колебательном движении в ответ по меньшей мере на один сигнал параметра управления процессом. 55. Система по п.30, в которой средства (4,5) позиционирования адаптированы для перемещения электрода (3) и заготовки (1) друг относительно друга в колебательном движении,источник (26, 29) импульсного тока адаптирован для периодического приложения электрических импульсов в виде последовательности импульсов, когда расстояние между заготовкой (1) и электродом (3) является относительно малым,отличающаяся тем, что средства (12) управления адаптированы для изменения давления в электролите (Pel) в ответ по меньшей мере на один сигнал параметра управления процессом. 56. Система по п.30, в которой средства (4, 5) позиционирования адаптированы для перемещения электрода (3) и заготовки (1) друг относительно друга в колебательном движении, источник (26,29) импульсного тока адаптированы для периодического приложения электрических импульсов в виде последовательности импульсов, когда расстояние между заготовкой (1) и электродом (3) является относительно малым, отличающаяся тем,что средства (12) управления адаптированы для изменения относительной скорости обработки,когда заготовка (1) и электрод (3) перемещаются 39 друг к другу в ответ по меньшей мере на один сигнал параметра управления процессом. 57. Система по п.30, в которой источник (11) электропитания адаптирован для приложения импульсов электрического тока в виде последовательности импульсов, отличающаяся тем, что заданный период (Тm, Тm' ) измерения, по существу, соответствует длительности импульса. 58. Система по п.30, в которой источник (11) электропитания адаптирован для приложения электрического тока, по существу, непрерывно во время первого периода времени, отличающаяся тем, что заданный период (Тm, Тm') измерения является частью указанного периода времени, так что изменение условий процесса может быть измерено в пределах периода (Тm, Тm') измерения. 59. Способ электрохимической обработки электропроводной заготовки путем подачи электрического тока между заготовкой и электропроводным электродом, при подаче электролита между заготовкой и электродом, при котором осуществляют удаление материала, причем электрический ток подают непрерывно, в то время как заготовку и электрод перемещают друг относительно 40 друга с постоянной, по существу, скоростью, осуществляют доводку геометрических размеров заготовки, причем электрический ток подают периодически в виде последовательности импульсов, в то время как заготовку и электрод перемещают друг относительно друга в колебательном или повторяющемся движении, электрический ток подают, когда расстояние между заготовкой и электродом является относительно малым, способ дополнительно включает этапы, при которых: измеряют напряжение, индуцированное электрическим током, определяют распределение гармоник в спектральном составе регистрируемого в пределах заданного периода измерения напряжения во время процесса электрохимической обработки, определяют информацию, характеризующую распределение гармоник в указанном спектральном составе регистрируемого в пределах заданного периода измерения напряжения, и адаптируют по меньшей мере один параметр управления процессом в соответствии с указанной информацией.