Вогль Андреас
Приводное устройство микроэлектромеханического типа для перемещения жесткого элемента
Номер патента: 21493
Опубликовано: 30.06.2015
Авторы: Йохансен Иб-Руне, Тюхольдт Фроде, Ванг Даг Торстейн, Вогль Андреас, Бакке Тор
МПК: G02B 5/28, G02B 26/00
Метки: микроэлектромеханического, перемещения, элемента, устройство, жесткого, типа, приводное
Формула / Реферат:
1. Приводное устройство микроэлектромеханического типа для перемещения жесткого элемента, например оптического элемента, содержащее каркас и мембрану, выполненную с возможностью изгиба, соединенную с каркасом и предназначенную для соединения с жестким элементом так, что она, по существу, окружает жесткий элемент и механически соединяет его с каркасом, при этом на указанной мембране между указанными каркасом и местом соединения мембраны с жестким...