Тиксо Эрик
Электрод для плазменной обработки диэлектрическим барьерным разрядом
Номер патента: 24404
Опубликовано: 30.09.2016
Авторы: Тиксо Эрик, Леклерк Жозеф, Мишель Эрик
МПК: H05H 1/24, H01J 37/32
Метки: электрод, плазменной, барьерным, разрядом, обработки, диэлектрическим
Формула / Реферат:
1. Плоский электрод (1) для плазменной обработки поверхностей диэлектрическим барьерным разрядом (DBD), предназначенный для подачи высокого напряжения и содержащийметаллическую оболочку (8), содержащую активную часть (2), пригодную для параллельного размещения с подлежащей обработке поверхностью (27);лист диэлектрического материала (4), покрывающий наружную сторону активной части (2);полимерный промежуточный слой (6), скрепляющий лист (4)...
Способ и устройство для покрытия поверхности субстрата посредством диэлектрического барьерного разряда
Номер патента: 23480
Опубликовано: 30.06.2016
Авторы: Тиксо Эрик, Леклерк Жозеф, Мишель Эрик
МПК: H05H 1/24
Метки: посредством, субстрата, диэлектрического, способ, барьерного, поверхности, устройство, разряда, покрытия
Формула / Реферат:
1. Устройство для покрытия поверхности субстрата с помощью диэлектрического барьерного разряда, предоставляющего возможность образования нитевидной плазмы, содержащеетехнологическую камеру для заполнения смесью, композиция которой является таковой, что при контакте с плазмой она разлагается на частицы, способные осаждаться в виде пленки большей частью или полностью на субстрат,по меньшей мере два электрода, расположенных в технологической камере...