Сатерн Эдвин Меллор
Обработка подложек
Номер патента: 5836
Опубликовано: 30.06.2005
Авторы: Эджлэнд Райан Д., Сатерн Эдвин Меллор
МПК: C07H 21/00, B01J 19/00
Формула / Реферат:
1. Способ обработки подложки, включающий в себя наличие электролита в контакте с подложкой и электродов вблизи указанной подложки и в контакте с указанным электролитом, изменение потенциала по меньшей мере одного первого электрода таким образом, чтобы генерировать активный продукт окисления-восстановления, который модифицирует указанную подложку вблизи первого электрода, генерирование второго продукта окисления-восстановления с помощью второго...