Хоэль Ян-Отто
Способ получения трихлорсилана и кремния, используемого для получения трихлорсилана
Номер патента: 9060
Опубликовано: 26.10.2007
Авторы: Эйе Харальд Арнльот, Реэ Торбьерн, Хоэль Ян-Отто, Ронг Харри Мортен
МПК: C01B 33/107
Метки: получения, способ, кремния, используемого, трихлорсилана
Формула / Реферат:
1. Способ получения трихлорсилана взаимодействием кремния с газообразным HCl при температуре от 250 до 1100шС и абсолютном давлении 0,5-30 атм в реакторе с псевдоожиженным слоем, в реакторе с движущимся слоем или в реакторе с неподвижным слоем, отличающийся тем, что подаваемый в реактор кремний содержит от 30 до 10 000 промиль хрома. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подаваемый в реактор кремний содержит от 50 до 1000 промиль хрома. 3....