H01J 3/40 — ловушки для удаления или отклонения нежелательных частиц, например отрицательных ионов, краевых электронов; избирательные устройства по скорости или массе
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от незаряженных микро- и макрочастиц
Номер патента: 16703
Опубликовано: 30.06.2012
Авторы: Вершина Алексей Константинович, Агеев Виталий Александрович
МПК: C23C 14/32, C23C 14/48, H01J 29/84...
Метки: очистки, испарителя, дугового, макрочастиц, незаряженных, плазмы, устройство, микро
Формула / Реферат:
1. Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от незаряженных микро- и макрочастиц, содержащее электродуговой источник эрозионной металлической плазмы, который установлен на входе в плазмовод из немагнитного материала, включающий протяженный криволинейный участок, выполненный в виде четверти тора, и электрически от него изолированный прямолинейный выходной участок, поверх которых размещены катушки магнитной системы, и источник напряжения,...