G01G 3/16 — взвешивание путем измерения изменений частоты колебаний упругого элемента
Микроэлектромеханическое гравиметрическое сенсорное устройство с боковой вибрацией, помещаемое в микрожидкостный канал, для обнаружения биологических клеток и веществ
Номер патента: 21428
Опубликовано: 30.06.2015
Авторы: Кулах Халук, Чифтлик Ата Туна
МПК: G01N 27/00, G01G 3/16, G01N 29/02...
Метки: гравиметрическое, веществ, сенсорное, канал, микроэлектромеханическое, микрожидкостный, помещаемое, вибрацией, биологических, обнаружения, клеток, устройство, боковой
Формула / Реферат:
1. Микроэлектромеханическое гравиметрическое сенсорное устройство с боковой вибрацией, помещаемое в микрожидкостный канал, для обнаружения биологических клеток и веществ путем определения изменения массы, помещенной на его поверхность, представляющее собой микроэлектромеханический резонатор, содержащий чувствительную массу (1), покрытую гидрофобным полимером, гребенчатые электроды (2) для считывания частоты переменного напряжения и активации...