B81B 7/00 — Микроструктурные системы
Емкостный датчик на основе мэмс для использования в системе сейсмической разведки
Номер патента: 22833
Опубликовано: 31.03.2016
Автор: Паулсон Ханс
МПК: G01V 1/16, G01P 15/00, B81B 7/00...
Метки: сейсмической, мемс, разведки, использования, датчик, основе, емкостный, системе
Формула / Реферат:
1. Устройство для сейсмической разведки, содержащеесейсмический датчик, содержащий акселерометр,причем акселерометр содержитемкостный датчик на основе МЭМС (микроэлектромеханической системы), содержащий чувствительную массу, неподвижные электроды, подвижные электроды, входные клеммы для приема первого сигнала и выходную клемму, электрически соединенную с чувствительной массой, для предоставления второго сигнала, при этом неподвижные электроды...