Патенты с меткой «нанолитограф»

Номер патента: 12498

Опубликовано: 30.10.2009

Авторы: Ильянок Александр Михайлович, Тимощенко Игорь Андреевич

МПК: B82B 3/00

Метки: нанолитограф, струйный, способ, сканирующий, работы

Формула / Реферат:

1. Сканирующий струйный нанолитограф, содержащий электрически управляемые узкополосные источники оптического излучения и одно или более сопел для создания управляемой струи из химически и/или физически активного вещества, формирующей рисунок на подложке и/или осуществляющей профильную резку обрабатываемого материала, отличающийся тем, что сопло представляет собой оптический резонатор и выполнено из оптически прозрачного капилляра, в стенки...