Патенты с меткой «электродный»

Номер патента: 10388

Опубликовано: 29.08.2008

Авторы: Суоллоу Фрэнк, Доббин Питер

МПК: H05H 1/24

Метки: узел, плазмы, генерации, электродный

Формула / Реферат:

1. Установка (1) для генерации плазменного тлеющего разряда и/или диэлектрического барьерного разряда, содержащая по меньшей мере одну пару электродов (2), расстояние между которыми является неизменным вдоль всей их поверхности, причем расстояние между электродами обеспечивает возможность формирования плазменной зоны (8) при введении технологического газа и прохождения газообразного, жидкого и/или твердого прекурсора(ов), при этом по меньшей...